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题名基于三片曲面反射镜的离轴投影成像系统
被引量：1
- 1
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作者
孙文军
赵立萍
孙京南
李娟
李孟洋
支洪武
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机构
哈尔滨师范大学光电带隙材料教育部重点实验室
黑龙江省先进功能材料与激发态重点实验室
物理与电子工程学院
牡丹江师范学院物理系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期654-657,共4页
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基金
黑龙江省青年基金(No.QC06C043)
黑龙江省教育厅骨干教师项目(No.1251G031)
+1 种基金
哈师大预研项目(N0.08XYS-01)
黑龙江省研究生创新科研资金项目(No.YJSCX2011-414HLJ)资助
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文摘
采用调制传递函数和波前像差分析方法,设计了基于偶次非球面反射镜和Zernike自由曲面反射镜构成的放大倍数为80,相对孔径为2.8的三个离轴投影成像系统.其中第一片反射镜M1表面为凹面用于减小第二片反射镜的尺寸及获得高的对比度,而第二片反射镜M2和第三片反射镜M3表面为凸面用于校正系统像差及获得更短的投影距离.经软件设计与分析,三系统中基于三片Zernike自由曲面反射镜的成像系统光学性能最好,调制传递函数实现60lp/mm时60%以上,畸变小于2.0%.与其它文献相比,基于三片Zernike自由曲面反射镜系统可以更好地消除像差,缩短系统厚度,增大系统的可视角与相对孔径.
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关键词
离轴投影成像系统
泽尼克多项式曲面
调制传递函数
畸变
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Keywords
Off-axis projection system
Zernike polynomial Surface
Modulation Transfer Function(MTF)
Distortion
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名投影式幻影成像中局域几何畸变的校正方法研究
被引量：6
- 2
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作者
杨朝
杨鹏程
张蒙蒙
肖渊
刘晖
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机构
西安工程大学机电工程学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期110-122,共13页
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基金
陕西省自然科学基础研究计划(No.2019JQ-852)
陕西省教育厅服务地方专项计划(No.19JC019)
西安工程大学研究生创新基金(No.chx2021008)。
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文摘
在幻影成像系统中,投影式成像装置具有制造成本低、成像系统操作便捷的优点,但由于投影光线发散和光源处光束偏轴角的存在,投影图像照射到四棱锥斜面时会发生几何畸变,导致三维模型失真。针对该问题,提出一种投影图像局域几何畸变的校正方法。通过提取投影图片,分析并建立投影图像形状和三维模型失真程度的映射关系,利用透视变换,构建投影图像局部几何畸变的矫正模型,实现三维模型的失真补偿。实验结果证明,校正后图像边长误差从34.4%降低到3.3%,角度误差从18.3%降低到3.3%,验证了该方法的有效性和可行性。
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关键词
幻影成像
图像校正
透视变换
投影式成像系统
几何畸变
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Keywords
Phantom imaging
Image correction
Perspective transformation
Projection imaging system
Geometric distortion
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名太阳模拟器的拉赫不变量传递
被引量：10
- 3
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作者
单秋莎
张国玉
刘石
苏拾
吕文华
贺晓雷
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机构
长春理工大学光电工程学院
中国气象局气象探测中心
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2012年第6期639-645,共7页
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基金
国家公益性行业科技专项资金资助项目(No.GYHY200706003
No.GYHY201006043)
吉林省科技发展计划资助项目(No.20118012)
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文摘
介绍了太阳模拟器的组成及工作原理。在非成像光学的光学扩展量基础上,对照明系统和投影成像系统进行了光学匹配,并从拉赫不变量的角度分析了能量在整个系统中的传递情况,得出椭球聚光镜、光学积分器和准直物镜这三者的相对孔径相互之间的最佳匹配关系,即三者的相互之间的相对孔径值均为1/4时,满足光瞳衔接原理。计算得到了从物面到像面的拉赫不变量为0.45,验证了整个光学系统从物面到像面的拉赫不变量守恒,有效地利用了光学系统的光能。
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关键词
太阳模拟器
拉赫不变量
能量传递
非成像光学
照明系统
投影成像系统
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Keywords
solar simulator
Lagrange invariant
energy transfer
non-imaging optics
illumination system
pro-jection imaging system
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分类号
TM923.323
[电气工程—电力电子与电力传动]
V524.2
[航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
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题名自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘
被引量：6
- 4
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作者
孙彦杰
刘华
李金环
陆子凤
张莹
罗钧
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机构
东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期65-73,共9页
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基金
国家自然科学基金(No.61875036)
吉林省科技发展计划
+2 种基金
吉林省科技发展计划项目(No.20190302049GX)
应用光学国家重点实验室开放基金(No.SKLAO201806)
空间光电测量与感知实验室开放基金课题(No.LabSOMP-2018-05)~~
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文摘
数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯齿由0.14个像素缩小至0～0.01个像素,斜线边缘锯齿由0.338个像素缩小至0.110～0.125个像素,且线长变化范围为-0.153～0.05个像素,线宽变化范围为-0.058～0.153个像素,变形范围不影响10～30μm pcb板的制作精度.该方法可同时提高能量利用率,降低光源成本.
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关键词
数字微镜阵列
扫描光刻
自由曲面光学透镜
成像线性错位
图形边缘
投影成像系统
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Keywords
Digital micro-mirror device
Scanning lithography
Free surface optical lens
Linear dislocation
Lithography graphic edge
Projection imaging system
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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题名提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究
被引量：3
- 5
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作者
陈旭南
石建平
康西巧
罗先刚
秦涛
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期323-326,共4页
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基金
国家自然科学基金 (项目编号 :6 9876 0 41)资助项目
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文摘
详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论 ,给出了理论模型 ,进行了模拟计算 .对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果 .研究表明 ,相移滤波能显著提高部分相干成像系统光刻分辨力和增大焦深 ,同时能提高光能利用率 ,有利于提高光刻生产率 ,是一种有效提高光刻分辨力和焦深的波前工程技术 .
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关键词
相移滤波
投影成像光刻系统
分辨力和焦深
光能利用率
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Keywords
Phaseshifting filter
Projection imaging photolithography
Resolution and focal depth
Light energy availability
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名二元计算全息法产生复杂无衍射光束
被引量：3
- 6
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作者
杨婧羽
任志君
黄文俊
许富洋
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机构
浙江师范大学浙江省光信息检测与显示技术研究重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期14-21,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.11674288)。
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文摘
无衍射光束是一种能在自由空间稳定传输的光束。近来,一类具有复杂光学形态的无衍射光束被引入,比如马蒂厄光束、抛物光束、非对称贝塞尔光束等。为了产生具有复杂结构的无衍射光束,需要对光波进行复振幅调制,即同时调制光波的振幅和相位。但目前的商用光学调制元件只能调制光波的振幅或相位。本文基于二元计算全息法,编码二维复透过率函数分布,构建了具有复振幅调制功能的二元实振幅非负计算全息图。利用实验室自主研发的投影成像光刻系统,对银盐干板进行曝光处理,经显影、定影处理,将其加工为相应的振幅掩模板,用来产生精确的具有复杂结构的无衍射光束。以无衍射马蒂厄光束为例,采用罗曼型迂回相位编码方法,在全息图每个抽样单元内开一个矩形通光孔径,通过改变通光孔径的面积来对复值光波的振幅进行编码,通过改变通光孔径中心偏离抽样单元中心的距离,来对复值光波的相位进行编码。最终构建了两种产生马蒂厄光束的典型二元实振幅计算全息图,其像素数高达28 000 pixel×28 000 pixel。之后利用加工好的振幅掩模板,准确、方便、高效地产生了的椭圆系数q=10,拓扑荷数m=0与m=1的第一种偶型马蒂厄光束,其他类型的马蒂厄光束可相应产生,这是一种光束形态多样、光束结构复杂的无衍射光束。实验结果证实,采用罗曼型迂回相位编码方法产生具有复杂结构的无衍射光束,有效避免了实验过程中分离的相位调制元件和振幅调制元件之间的对准误差,二元计算全息编码法是一种能用来调控产生复杂结构无衍射光束的新途径。
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关键词
无衍射光束
二元计算全息
投影成像光刻系统
罗曼型迂回相位编码
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Keywords
nondiffractive beams
binary computer-generated holography
projection imaging lithography system
lohmann-type detour phase coding method
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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