宽波段DMD动态红外景象仿真器投影光学系统设计 被引量：9

1

作者 党东妮 季轶群 沈为民 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第4期1017-1021,共5页

宽波段红外景象仿真器可用于内场评价和验证中波/长波红外双波段成像仪。详细介绍了基于数字微镜器件(DMD)的动态红外景象仿真器的组成和工作原理。重点介绍了覆盖中波和长波红外的宽波段红外投影光学系统的指标要求、设计思想和设计结... 宽波段红外景象仿真器可用于内场评价和验证中波/长波红外双波段成像仪。详细介绍了基于数字微镜器件(DMD)的动态红外景象仿真器的组成和工作原理。重点介绍了覆盖中波和长波红外的宽波段红外投影光学系统的指标要求、设计思想和设计结果。基于离轴三反射镜系统设计的系统,具有无色差、适用波段宽、相对孔径大、结构较紧凑、成像质量好等优点。根据待测设备要求,设计了一款口径100、相对孔径F/2.84、全面视场角4.4°、成像质量接近于衍射极限的宽波段投影光学系统。 展开更多

关键词 数字微镜器件 红外 双波段 投影光学系统 离轴三反射镜系统

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长波红外景象模拟器投影光学系统无热化设计 被引量：2

2

作者 李全勇 李向天 +1 位作者 康玉思 牟达 《兵工自动化》 2013年第12期33-35,共3页

基于数字微镜器件（digital micromirror device,DMD）的红外景象模拟器能够为红外系统性能测试与评估提供先进的手段。根据DMD的工作原理,确定了以分光棱镜来连接照明系统和投影系统的红外景象模拟器总体方案。探讨了红外景象模拟器投... 基于数字微镜器件（digital micromirror device,DMD）的红外景象模拟器能够为红外系统性能测试与评估提供先进的手段。根据DMD的工作原理,确定了以分光棱镜来连接照明系统和投影系统的红外景象模拟器总体方案。探讨了红外景象模拟器投影光学系统的像差特性、光学设计和无热化的设计方法,设计了一套工作在长波红外8~12μm,F#为2.8,视场角为3°的投影光学系统,并对该系统在40~60℃之间进行光学被动式无热化设计。结果表明：该系统在所要求的温度范围内,光学传递函数均接近衍射极限,成像质量满足系统的设计要求,并具有辐射能量损失小、分辨率高、结构紧凑等特点。 展开更多

关键词 红外景象模拟器 投影光学系统 长波红外 光学设计 无热化

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基于DMD的红外双波段景象模拟投影光学系统设计

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作者 林丽娜 宋珊珊 +1 位作者 李鹤 王文生 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2013年第5期16-19,共4页

本文针对动态红外景象模拟的应用需求,设计了基于数字微镜器件(DMD)的共轴红外双波段(中波3～5μm和长波8～12μm)景象模拟投影光学系统。该系统结构简单,仅由4片球面透镜和1个投影棱镜组成,使用Ge、ZnS和ZnSe三种普通红外材料校正红外... 本文针对动态红外景象模拟的应用需求,设计了基于数字微镜器件(DMD)的共轴红外双波段(中波3～5μm和长波8～12μm)景象模拟投影光学系统。该系统结构简单,仅由4片球面透镜和1个投影棱镜组成,使用Ge、ZnS和ZnSe三种普通红外材料校正红外双波段色差。在截止频率17lp/mm、像距5.1mm时,红外中波的调制传递函数(MTF)大于0.7;红外长波MTF大于0.4,接近衍射极限,像质优良,满足红外景象模拟器的总体设计要求。 展开更多

关键词 投影光学系统 红外双波段 共轴 数字微镜器件(DMD)

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基于双DMD的红外场景投影仪光学系统设计 被引量：2

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作者 郑雅卫 胡煜 +6 位作者 郭云强 高教波 王军 李俊娜 吴江辉 刘方 陈青 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第10期1330-1335,共6页

为提高中波红外场景投影仪的帧速和灰度等级,提出了一种基于双数字微反射镜器件(DMD)的光学系统方案。该光学系统包括照明系统和准直投影光学系统,照明系统采用可提供均匀照明的柯勒照明系统,利用2个非球面透镜简化结构,采用3片式全内反... 为提高中波红外场景投影仪的帧速和灰度等级,提出了一种基于双数字微反射镜器件(DMD)的光学系统方案。该光学系统包括照明系统和准直投影光学系统,照明系统采用可提供均匀照明的柯勒照明系统,利用2个非球面透镜简化结构,采用3片式全内反(TIR)棱镜来实现光路的折转衔接以及2个DMD调制的叠加;准直投影光学系统采用二次成像结构,通过合理分配各透镜组光学参数,并采用非球面透镜进行优化设计,得到的光学系统F数为0.94,入瞳距为850 mm,角分辨率为0.19 mrad。投影仪的测试与仿真结果表明此光学系统完全满足红外场景投影仪的使用要求。 展开更多

关键词 准直投影光学系统 照明系统 全内反(TIR)棱镜 二次成像结构

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红外投影系统光学被动无热化设计 被引量：1

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作者 庞广宁 王春艳 +1 位作者 刘欢 杨帆 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2017年第4期38-40,44,共4页

针对红外成像系统的检测和评估需求,基于光学被动消热差原理,设计了一套用于中波红外仿真系统的投影系统。讨论了红外仿真系统所用投影光学系统的设计思想和设计方法,并对最终的成像效果进行了分析。该系统焦距为250mm,F/2.5,视场角为&#... 针对红外成像系统的检测和评估需求,基于光学被动消热差原理,设计了一套用于中波红外仿真系统的投影系统。讨论了红外仿真系统所用投影光学系统的设计思想和设计方法,并对最终的成像效果进行了分析。该系统焦距为250mm,F/2.5,视场角为±2°,总系统长度500mm。依据二次成像系统的设计方法,实现了100%冷光阑效率,且其调制传递函数在17lp/mm处接近于衍射极限,能在-20℃~60℃范围内无需调焦便可保证成像的稳定性,具有分辨率高、均匀性好、可加工性强等优点。 展开更多

关键词 光学设计 二次成像 红外仿真 投影光学系统

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光学投影系统对SPRITE探测器MTF测试的影响

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作者 刘滨 李京洲 +1 位作者 刘玉凤 张保民 《红外技术》 CSCD 北大核心 1999年第6期28-31,37,共5页

ＳＰＲＩＴＥ探测器是一种三引极ｎ型的ＨｇＣｄＴｅ光电导探测器，具有焦平面上的时间延迟积分（ＴＤＩ）功能，用于串扫和串并扫热成像系统。用建立在线性滤波理论基础上的调制传递函数（ＭＴＦ）评价、测试ＳＰＲＩＴＥ探测器的空间... ＳＰＲＩＴＥ探测器是一种三引极ｎ型的ＨｇＣｄＴｅ光电导探测器，具有焦平面上的时间延迟积分（ＴＤＩ）功能，用于串扫和串并扫热成像系统。用建立在线性滤波理论基础上的调制传递函数（ＭＴＦ）评价、测试ＳＰＲＩＴＥ探测器的空间分辨能力，已有不少研究论文报道，但都忽略了测试用光学投影系统对探测器ＭＴＦ测试的影响。除了光学镜头的传递特性外，光学投影系统中所特有的扫描部件的运动效应也在较大程度上影响着探测器ＭＴＦ测试的准确性．本文探讨了运动效应对ＳＰＲＩＴＥ探测器ＭＴＦ测试的影响，并提出了相应的光学投影系统等效ＭＴＦ测试方法． 展开更多

关键词 SPRITE探测器 光学投影系统 MTF测试 运动效应

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大视场可见光目标模拟器光学系统设计 被引量：6

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作者 吕银环 张涛 童广辉 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期85-90,共6页

具有特定视场的动态可见光目标模拟器是可见光成像系统测试与评估的关键设备,该模拟器的准直投影光学系统决定了基于数字微镜阵列(DMD)的动态景象投射器的性能。根据成像系统测试与评估需求,本文对可见光准直投影光学系统进行设计。基... 具有特定视场的动态可见光目标模拟器是可见光成像系统测试与评估的关键设备,该模拟器的准直投影光学系统决定了基于数字微镜阵列(DMD)的动态景象投射器的性能。根据成像系统测试与评估需求,本文对可见光准直投影光学系统进行设计。基于对投影光学系统的参数计算,设计了视场58°的大视场可见光目标模拟器光学系统。将设计结果与成像光学系统进行匹配仿真,获得了良好的配合效果。通过对所研制的系统进行测试,实验结果表明所设计的光学系统完全满足模拟器的要求和对动态场景的仿真需求。 展开更多

关键词 目标模拟器 DMD 景象仿真系统 准直投影光学系统

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光学投影系统设计及智能图像处理系统

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作者 李淑英 崔鸿烈 《航空制造技术》 2011年第10期72-74,共3页

介绍了一种我公司生产的高精度、全自动刀具预调仪系列,光学投影系统的设计。通过高效步进电机自动移动来实现各轴高精度定位,借助一个Easy-WebSet软件测量程序,采用电子CCD摄像智能图像处理系统,可自动捕捉刀刃并测量,保证μ级精度。

关键词 光学投影系统 CCD摄像头

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高精度动态测角仪的光学及照明系统设计 被引量：1

9

作者 刘宏伟 程仕东 +1 位作者 王淦泉 裴云天 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期27-31,共5页

根据测量风云四号气象卫星多通道扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度是否达到1〞的要求,设计了一种新型的高精度动态测角仪,该测角仪利用了扫描成像辐射计的可见光通道,通过光学成像分析像点位置及相互关系的方法来评价扫描镜的运动... 根据测量风云四号气象卫星多通道扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度是否达到1〞的要求,设计了一种新型的高精度动态测角仪,该测角仪利用了扫描成像辐射计的可见光通道,通过光学成像分析像点位置及相互关系的方法来评价扫描镜的运动精度。本文介绍了该测角仪的投影光学系统、照明系统设计过程并通过实验验证各部分达到了预定的性能要求。 展开更多

关键词 动态测角仪 投影光学系统 照明系统 成像辐射计

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风云四号辐射计的高精度动态测角系统 被引量：3

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作者 程仕东 刘宏伟 +1 位作者 裴云天 王淦泉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第1期89-91,96,共4页

为了测试风云四号气象卫星扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度,设计了一种高精度动态测角仪。该测角仪利用了扫描成像辐射计的可见光通道,采用622nm的LED可见光,经过菲涅耳透镜投射到目标板上,然后充满投影光学系统的入瞳,利用光学... 为了测试风云四号气象卫星扫描成像辐射计的扫描镜的动态运动精度,设计了一种高精度动态测角仪。该测角仪利用了扫描成像辐射计的可见光通道,采用622nm的LED可见光,经过菲涅耳透镜投射到目标板上,然后充满投影光学系统的入瞳,利用光学成像分析像点位置及相互关系的方法来评价扫描镜的运动精度。介绍了该测角仪的投影光学系统、照明系统和系统总体的设计。 展开更多

关键词 辐射计 投影光学系统 照明系统 菲涅耳透镜 测角仪

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下一代光刻技术研究开发情况 被引量：1

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作者 刘明 陈宝钦 《中国集成电路》 2003年第2期91-92,共2页

一、前言在微电子制造技术中,最为关键的是用于电路版图图形生成和复制的光刻技术,光刻技术的研究与开发在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。目前国际微电子领域最引人关注的热点就是即将到来的光刻技术变革。这一变... 一、前言在微电子制造技术中,最为关键的是用于电路版图图形生成和复制的光刻技术,光刻技术的研究与开发在每一代集成电路技术的更新中都扮演着技术先导的角色。目前国际微电子领域最引人关注的热点就是即将到来的光刻技术变革。这一变革将对整个微电子制造技术的发展产生深远的影响。由于分辨率增强技术的发展,光学光刻的极限分辨率可以达到光源波长的1/2。因此,193nm 展开更多

关键词 光刻技术 极紫外投影光刻 下一代光刻 投影光学系统 微电子 激光等离子体光源

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大型显示装置

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作者 金正琴 《液晶与显示》 CAS CSCD 1990年第6期42-45,共4页

1.引言目前已有各种大型显示装置。它们有静止方式(机械的切换显示画面)和动态方式(用电的方式切换分割成矩阵状的显示画面)。为了显示图像信息,进一步开发了使用各种电子显示器件的显示方式。其中电子大型显示装置有:广告用显示板,电... 1.引言目前已有各种大型显示装置。它们有静止方式(机械的切换显示画面)和动态方式(用电的方式切换分割成矩阵状的显示画面)。为了显示图像信息,进一步开发了使用各种电子显示器件的显示方式。其中电子大型显示装置有:广告用显示板,电光氦氖灯、车站的路标、广场和运动场的信息显示板。随着图像信息化的进展,它们正普及到一切产业部门。大型显示装置应具有:视角宽、观看人数多、远距离观看的特点。为了满足这些特点,作为大型显示装置应考虑如下性能:显示画面的大小、亮度、颜色再现性、响应性、 展开更多

关键词 显示装置 显示板 显示器件 投影光学系统 动态方式 显示图像 显示方式 等离子显示屏 液晶显示 图像投影

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用于0．35微米生产的宽视场远紫外片子步进机

13

作者 童志义 《电子工业专用设备》 1996年第2期38-47,共10页

目前，器件生产厂家和光刻设备制造厂家正在准备进行０．３５μｍ电路的生产。很明显，光学片子步进机仍然是主要的生产设备，但对ｉ线和远紫外片子步进机的选择至今还存在着争议。本文介绍了在开发生产远紫外片子步进机中取得的一些进... 目前，器件生产厂家和光刻设备制造厂家正在准备进行０．３５μｍ电路的生产。很明显，光学片子步进机仍然是主要的生产设备，但对ｉ线和远紫外片子步进机的选择至今还存在着争议。本文介绍了在开发生产远紫外片子步进机中取得的一些进展。作为１９９０年在ＳＰＩＥ会议上讨论过的采用ＴＴＬ对准系统及自动准分子激光波长控制的早期远紫外片子步进机的替代产品，一种新型的远紫外步进机最近已开发成功。该机采用一种新型的２４８ｎｍ波长的镜头，其像场直径为ф２９．７ｍｍ，数值孔径为０．５。该机主体类似于本公司１９９１年开始生产的宽视场ｉ线步进机，其关键的设计参数和结果本文将给以介绍。其中包括在正性和负性抗蚀剂中０．２５μｍ以下的成像性能和基于ＴＴＬ对准系统原理的高精度套刻，同时给出了与ｉ线步进机混合曝光的匹配性能。 展开更多

关键词 光刻 光学投影系统 片子步进机

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