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题名一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究
被引量：7
- 1
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作者
崔崧
高应俊
阮驰
郝爱花
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期769-773,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目 ( 698770 2 3 )
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文摘
从理论和实验两方面入手 ,系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺 ,分析了微透镜阵列的面形结构 ,得到了联系微透镜阵列矢高与制作工艺参量的经验公式 .并且将四片微透镜阵列耦合 ,形成一个深紫外光刻的 1 :1成象的多孔径微小光刻系统 .从几何光学理论出发 ,分析了这个光刻系统综合成象的特点 ,讨论了这种光刻系统的光学性能 。
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关键词
成象式投影光刻系统
微透镜阵列
光刻胶熔融法
离子束刻蚀法
形成原理
制作工艺
超大规模集成电路
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Keywords
Microlens arrays
Melting resist technique
Photolithography
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分类号
TN470.57
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于数字光刻投影系统的快速微加工技术
被引量：8
- 2
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作者
张雅雅
崔建国
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期448-453,共6页
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基金
重庆市自然科学基金项目(cstc2011jjA10018)
重庆理工大学实验技术基金项目(Sk201403)
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文摘
设计一种经济有效的微流体芯片加工方法,可以快速地在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面加工出不同尺寸的微流路。利用商用数字投影仪的成像原理,对其进行简单的改装,得到成缩小像的数字光刻投影系统(DLPS),并利用该系统在PDMS表面加工微流路;同时通过荷叶效应和毛细吸附效应两组实验,对DLPS的加工性能进行了验证和应用。该DLPS可在PDMS表面加工微结构,最小稳定加工精度可达40μm,通过模仿荷叶效应获得的材料表面,其疏水角增加到123°±3°。该DLPS系统可用于快速加工微流体芯片,当流路尺寸要求不是很严格时,低成本和高效率等优点使该系统完全适合在普通实验室开展微流体技术的研究。
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关键词
薄膜光学
微流路
数字光刻投影系统
聚二甲基硅氧烷
荷叶效应
毛细吸附效应
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Keywords
film optics
micro-channel
digital lithography projection system
polydimethylsiloxane
lotus effect
capillary adsorption effect
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名提高微细图形光刻分辨力的相移滤波技术研究
被引量：3
- 3
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作者
陈旭南
石建平
康西巧
罗先刚
秦涛
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期323-326,共4页
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基金
国家自然科学基金 (项目编号 :6 9876 0 41)资助项目
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文摘
详细研究了提高投影成像光刻分辨力的相移滤波技术的基本理论 ,给出了理论模型 ,进行了模拟计算 .对不同掩模图形设计制作的不同优化滤波器进行光刻对比实验并取得实验结果 .研究表明 ,相移滤波能显著提高部分相干成像系统光刻分辨力和增大焦深 ,同时能提高光能利用率 ,有利于提高光刻生产率 ,是一种有效提高光刻分辨力和焦深的波前工程技术 .
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关键词
相移滤波
投影成像光刻系统
分辨力和焦深
光能利用率
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Keywords
Phaseshifting filter
Projection imaging photolithography
Resolution and focal depth
Light energy availability
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名被动式液体微混合器芯片的研制
被引量：1
- 4
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作者
张雅雅
彭湉
王洪
李桂林
崔建国
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
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出处
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第12期127-132,共6页
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基金
国家科技支撑计划项目(2015BAI01B14)
重庆理工大学实验技术基金项目(Sk201403)
重庆理工大学研究生教育教学改革项目(yjg2013205)
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文摘
微混合器是当今世界微流体领域的研究热点之一,具有极其广阔的应用前景。在微通道内实现液体的高效扩散和混合,进而开展化学和生物分析等反应,对微流体芯片的设计和制造具有重大意义。借助数字光刻投影系统和微波炉改性方法制作了一系列被动式微量液体混合器芯片,通过对比实验分析设计了可在低雷诺数状态下实现两液体快速高效混合功能的被动式微混合器。实验结果显示:在加工的微混合器通道尺寸最小为40μm,雷诺值为0.68时,可实现较好的混合效果。同时,整个微流体加工工艺无需光刻机等昂贵的专业设备,也无需超净间等特殊环境,在普通生化实验室3 h内就能完成微混合芯片的制备。整个混合器的制作成本低、耗时短、操作简单,可作为大多数普通高校实验室开展微流体芯片研究的一种参照和借鉴。
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关键词
微混合器
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
微波改性
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Keywords
micro mixer
PDMS
Digital lithographic projection system
microwave
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名二元计算全息法产生复杂无衍射光束
被引量：3
- 5
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作者
杨婧羽
任志君
黄文俊
许富洋
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机构
浙江师范大学浙江省光信息检测与显示技术研究重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期14-21,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.11674288)。
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文摘
无衍射光束是一种能在自由空间稳定传输的光束。近来,一类具有复杂光学形态的无衍射光束被引入,比如马蒂厄光束、抛物光束、非对称贝塞尔光束等。为了产生具有复杂结构的无衍射光束,需要对光波进行复振幅调制,即同时调制光波的振幅和相位。但目前的商用光学调制元件只能调制光波的振幅或相位。本文基于二元计算全息法,编码二维复透过率函数分布,构建了具有复振幅调制功能的二元实振幅非负计算全息图。利用实验室自主研发的投影成像光刻系统,对银盐干板进行曝光处理,经显影、定影处理,将其加工为相应的振幅掩模板,用来产生精确的具有复杂结构的无衍射光束。以无衍射马蒂厄光束为例,采用罗曼型迂回相位编码方法,在全息图每个抽样单元内开一个矩形通光孔径,通过改变通光孔径的面积来对复值光波的振幅进行编码,通过改变通光孔径中心偏离抽样单元中心的距离,来对复值光波的相位进行编码。最终构建了两种产生马蒂厄光束的典型二元实振幅计算全息图,其像素数高达28 000 pixel×28 000 pixel。之后利用加工好的振幅掩模板,准确、方便、高效地产生了的椭圆系数q=10,拓扑荷数m=0与m=1的第一种偶型马蒂厄光束,其他类型的马蒂厄光束可相应产生,这是一种光束形态多样、光束结构复杂的无衍射光束。实验结果证实,采用罗曼型迂回相位编码方法产生具有复杂结构的无衍射光束,有效避免了实验过程中分离的相位调制元件和振幅调制元件之间的对准误差,二元计算全息编码法是一种能用来调控产生复杂结构无衍射光束的新途径。
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关键词
无衍射光束
二元计算全息
投影成像光刻系统
罗曼型迂回相位编码
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Keywords
nondiffractive beams
binary computer-generated holography
projection imaging lithography system
lohmann-type detour phase coding method
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器
被引量：1
- 6
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作者
冷寒冰
袁伟
崔建国
崔祺铭
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机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
麦吉尔大学生命科学系
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2018年第12期14-18,24,共6页
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基金
国家科技支撑计划项目(2015BA101B14)
重庆理工大学高等教研研究项目(2015YB27)
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文摘
相比于传统的流量传感器,微型流量传感器具有体积小、功耗低、对微小流量测量灵敏度高等特点。文中依据传热学原理设计并研制了一种基于恒加热功率的热损失型微型流量传感器系统,用于微流体的流量测量。文中利用数字光刻投影系统(DLPS)加工制作了加热电极和流路通道的模板,选择ITO导电玻璃制作薄膜加热电极和流路基底,使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作微型流路的通道,同时借助氧等离子体激活实现ITO导电玻璃与PDMS流路通道的不可逆封装键合。该微型流量传感器系统利用STC12C5A系列单片机对硬件电路进行控制及流量测量结果显示,并借助数字注射泵对流量传感器系统进行了测试和验证。该微型流量传感器可实现10～120μL/min的较精确测量。
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关键词
微型流量传感器
ITO导电玻璃
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
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Keywords
micro flow sensor
ITO conductive glass
PDMS
DLPS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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