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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
被引量：
1
1
作者
刘军
李海华
王庆康
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期1675-1679,共5页
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法...
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.
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关键词
扭臂式静电驱动微执行器
力矩法
Pull-in电压
力电耦合分析方法
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职称材料
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析
被引量：
1
2
作者
孙东明
董玮
+3 位作者
玄伟
刘彩霞
王国东
陈维友
《微纳电子技术》
CAS
2006年第5期251-253,共3页
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭...
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
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关键词
微
驱动
器
静电
驱动
扭
臂
pull—in现象
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职称材料
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
被引量：
1
3
作者
董玮
阮圣平
+7 位作者
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003年第7期46-49,共4页
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2...
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。
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关键词
微
机械
光开关
微
反射镜
硅
静电
驱动
扭
臂
结构
倾斜下电极
自对准V型糟
制作方法
全光网络
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职称材料
题名
微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
被引量：
1
1
作者
刘军
李海华
王庆康
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第11期1675-1679,共5页
基金
中国科技部国际合作项目(2012DFA11070)
文摘
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.
关键词
扭臂式静电驱动微执行器
力矩法
Pull-in电压
力电耦合分析方法
Keywords
torsion electrostatic micro-actuator
the method of moment
pull-in voltage
electro-mechanical coupling method
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析
被引量：
1
2
作者
孙东明
董玮
玄伟
刘彩霞
王国东
陈维友
机构
集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区
出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第5期251-253,共3页
基金
跨世纪优秀人才培养计划基金
吉林省科技发展计划资助项目(20010319)
+1 种基金
国家科技部"863计划"资助项目(2002AA312020)
吉林大学研究生创新基金资助项目(501038)
文摘
从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。
关键词
微
驱动
器
静电
驱动
扭
臂
pull—in现象
Keywords
micro-actuator
electrostatically actuated
torsion beam
pull-in phenomena
分类号
TH703.2 [机械工程—精密仪器及机械]
O441.1 [理学—电磁学]
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职称材料
题名
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
被引量：
1
3
作者
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003年第7期46-49,共4页
基金
863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 )
国家自然科学基金 ( 6993 70 10 )
吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目
文摘
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。
关键词
微
机械
光开关
微
反射镜
硅
静电
驱动
扭
臂
结构
倾斜下电极
自对准V型糟
制作方法
全光网络
Keywords
Optical switch, Reflective micromirror, Electrostatic actuator, Slanted under electrode
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计
刘军
李海华
王庆康
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析
孙东明
董玮
玄伟
刘彩霞
王国东
陈维友
《微纳电子技术》
CAS
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2003
1
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职称材料
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