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扫描隧道显微镜中的扫描驱动器
被引量：
2
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作者
路小波
陆祖宏
+1 位作者
周庆
王国著
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第6期431-432,566,共3页
概述了扫描隧道显微镜的工作原理，给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法，介绍了系统中的ｚ扫描驱动器，ｘｙ扫描驱动器（扫描平台）及其非线性修正方法．
关键词
扫描
隧道显微镜
压电材料
扫描驱动器
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职称材料
题名
扫描隧道显微镜中的扫描驱动器
被引量：
2
1
作者
路小波
陆祖宏
周庆
王国著
机构
东南大学吴健雄实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第6期431-432,566,共3页
文摘
概述了扫描隧道显微镜的工作原理，给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法，介绍了系统中的ｚ扫描驱动器，ｘｙ扫描驱动器（扫描平台）及其非线性修正方法．
关键词
扫描
隧道显微镜
压电材料
扫描驱动器
Keywords
scanning tunneling microscope
piezoelectric material
eletrostrictive material
actuator
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描隧道显微镜中的扫描驱动器
路小波
陆祖宏
周庆
王国著
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999
2
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