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扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术 被引量:3
1
作者 王志勇 张鸿海 +2 位作者 鲍剑斌 郭文明 汪学方 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现... 介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描显微镜 静电力显微镜 电荷存储 捕获释放技术 扫描静电力显微镜 量子器件 测量技术 铁电材料 半导体 微晶振
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基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术 被引量:1
2
作者 王志勇 鲍剑斌 +1 位作者 张鸿海 郭文明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期664-668,共5页
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特... 在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性 ,如表面电荷分布。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 静电力显微镜 石英晶振 微力传感器 微观形貌 电特性
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实现变温扫描的扫描探针显微镜的发展与应用
3
作者 王静 李鸿琦 +3 位作者 王守平 刘美华 郑治国 王世斌 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第10期17-20,共4页
将实现微尺度温度测量的技术按其温度控制方式分为两类,即控制探针的温度和控制样品的温度,所对应的仪器为扫描热显微镜和各类可直接应用于普通扫描探针显微镜的变温样品台,分别介绍其结构、工作原理及应用情况,分析了这两类具有不同控... 将实现微尺度温度测量的技术按其温度控制方式分为两类,即控制探针的温度和控制样品的温度,所对应的仪器为扫描热显微镜和各类可直接应用于普通扫描探针显微镜的变温样品台,分别介绍其结构、工作原理及应用情况,分析了这两类具有不同控温方式的仪器的区别,并进一步讨论了目前在扫描探针显微镜变温辅助设备中仍然存在的问题以及实现变温扫描的扫描探针显微镜的发展前景。 展开更多
关键词 扫描显微镜 变温扫描 变温样品台 变温及控制系统 探针针尖 扫描探针显微镜 发展与应用 变温 温度控制方式 温度测量
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光子扫描隧道显微镜和扫描隧道显微镜联用系统的研制
4
作者 李志扬 刘武 +2 位作者 袁观宇 钟小丽 李兴教 《应用光学》 CAS CSCD 1998年第1期7-9,共3页
报导我们研制的一套光子扫描隧道显微镜(PSTM)和扫描隧道显微镜(STM)联用系统的初步实验结果。联用系统采用的基本结构为早先研制的一台PSTM,另外增加了一个STM通道,通过真空蒸镀金膜制作了既导电又导光的光纤探针... 报导我们研制的一套光子扫描隧道显微镜(PSTM)和扫描隧道显微镜(STM)联用系统的初步实验结果。联用系统采用的基本结构为早先研制的一台PSTM,另外增加了一个STM通道,通过真空蒸镀金膜制作了既导电又导光的光纤探针,联用系统用STM通道隧道电流反馈控制探针高度。初步实验结果表明,PSTM和STM通道既能分别单独成像,亦能用导电导光探针实现PSTM和STM同时成像。 展开更多
关键词 光子扫描隧道显微镜 扫描隧道显微镜 联用系统 真空蒸镀金膜 光纤探针 成像 表面测试技术
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基于Linux的单机全数字控制的扫描探针显微镜
5
作者 刘争晖 郭宇铮 +1 位作者 张朝晖 朱星 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期307-312,共6页
扫描探针显微镜的全数字控制通常采用数字信号处理器来进行,而PC机只辅助进行数据处理和显示。本文给出一种新的全数字控制方案,即在普通PC机上使用修改了内核的Linux操作系统实现对扫描探针显微镜进行多线程、高精度的实时控制。这种... 扫描探针显微镜的全数字控制通常采用数字信号处理器来进行,而PC机只辅助进行数据处理和显示。本文给出一种新的全数字控制方案,即在普通PC机上使用修改了内核的Linux操作系统实现对扫描探针显微镜进行多线程、高精度的实时控制。这种方法省掉了数字信号处理器的硬件开销及其与PC机通信部分的技术投入,而充分利用PC机自身强大的运算和编程功能,实现了对扫描探针进行任意方式的操控。此方法已成功应用于一套实验室自制的超高真空扫描隧道显微镜中,得到了清洁Si(111)表面7×7重构的原子分辨像。 展开更多
关键词 全数字控制 LINUX操作系统 扫描探针显微镜
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扫描探针显微镜(SPM)在精密尺寸计量中的应用
6
作者 胡小唐 庄在龙 张国雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期180-184,共5页
由于其原子量级的分辨力和固有的测量原理,SPM很适合于精密尺寸和形貌的测量。但是,一般的SPM并不是专为精密测量而设计的,其结构上存在着许多误差因素,较大地影响了测量结果。本文从测量角度出发,分析了各误差因素在测量结... 由于其原子量级的分辨力和固有的测量原理,SPM很适合于精密尺寸和形貌的测量。但是,一般的SPM并不是专为精密测量而设计的,其结构上存在着许多误差因素,较大地影响了测量结果。本文从测量角度出发,分析了各误差因素在测量结果中的表现形式,并给出了相应的提高测量精度的方法。实验结果证明了这些方法很好地提高了SPM尺寸测量的精度。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜(SPM) 精密尺寸 测量精度 测量结果 误差因素 测量系统 压电误差 结构误差 压电扫描 表现形式
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专利名称:在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法
7
《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第4期17-17,共1页
一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法,包括下列步骤:溅射室的溅射靶架放置溅射靶材;在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的悬臂,并确保针尖向外;使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中;... 一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法,包括下列步骤:溅射室的溅射靶架放置溅射靶材;在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的悬臂,并确保针尖向外;使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处于一铜屏蔽室中;用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室抽真空;在溅射室中充入惰性气体Ar,使溅室真空度达8~20Pa, 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 沉积室 悬臂 薄膜 针尖 专利名称 溅射靶材 真空系统 惰性气体
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原子力显微镜在心血管系统研究中的应用
8
作者 韩东 《中国病理生理杂志》 CAS CSCD 北大核心 2010年第A10期1984-1985,共2页
关键词 原子力显微镜 心血管系统 扫描探针显微镜 活体细胞 脑微血管 微尺度 微结构 内皮细胞 过氧化损伤 抗氧化损伤
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纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验 被引量:1
9
作者 冯旭刚 冯同磊 +3 位作者 章家岩 徐驰 费业泰 张鹏 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期417-422,共6页
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态... 基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值。 展开更多
关键词 微纳米测量 重力补偿器 扫描静电力显微镜探针系统 双高度法
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VirtualLab Fusion对SNOM光纤探针外部光场分布的仿真 被引量:1
10
作者 张宝武 饶鹏辉 +1 位作者 霍剑锋 余桂英 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期494-497,共4页
为了研究扫描近场光学显微镜(SNOM)光纤探针的光学特性,采用基于场追迹方法的光学软件Virtual Lab Fusion进行了仿真实验,取得了SNOM光学探针尖端外部光场的分布情况。结果表明,沿z轴方向,不同截面上的光场分布都会呈现小孔衍射的图案,... 为了研究扫描近场光学显微镜(SNOM)光纤探针的光学特性,采用基于场追迹方法的光学软件Virtual Lab Fusion进行了仿真实验,取得了SNOM光学探针尖端外部光场的分布情况。结果表明,沿z轴方向,不同截面上的光场分布都会呈现小孔衍射的图案,其中心斑点中心强度随着z值的变大而呈近似指数函数衰减,到z=100nm位置处几乎衰减为0;中心斑点轮廓线的半峰全宽随着z值的变大而呈现先不变后增大的趋势,其拐点处于z=20nm位置处,此时对应的中心强度值为7.2V/m^2,这个强度值按指数函数计算正好处于z=0nm位置处强度的e^(-2)。结果清晰显示了SNOM光学探针的光学特性,证实SNOM探针工作时需要与样品表面保持在10nm左右的必要性。 展开更多
关键词 成像系统 扫描近场光学显微镜 场追迹 VirutalLab FUSION 光纤探针
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无铅压电陶瓷研发中的电子探针分析
11
作者 郑曙 肖少泉 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期305-306,共2页
关键词 无铅压电陶瓷 电子探针分析 超声清洗器 扫描隧道显微镜 研发 色传感器 图像系统 照相机快门
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利用Winsock实现基于Internet的多用户远程分权访问控制STM系统 被引量:1
12
作者 杨誉宗 吕露 +5 位作者 蔡英文 胡钧 蒋大真 胡志强 张桂林 李民乾 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2002年第3期31-32,共2页
Winsock是目前Windows平台下的主流网络编程技术。主要介绍利用Winsock编写网络通信程序 。
关键词 扫描探针显微镜 多用户远程分权访问控制 INTERNET WINSOCK STM系统
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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜
13
《中国光学》 EI CAS 1999年第3期92-94,共3页
TH734 99032038红外望远镜光机优化设计的研究=Study of optimizationfor IR telescope opto-mechanical design[刊,中]/李芒(华北光电技术所.北京(100015))//激光与红外.—1998,28(5).
关键词 电视望远镜 光子扫描隧道显微镜 红外望远镜 光纤探针 光学设计 优化设计 原子力显微镜 扫描近场光学显微镜 精密机械 联用系统
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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜
14
《中国光学》 EI CAS 2000年第6期84-85,共2页
TH742 2000064267共焦扫描光学显微镜的高分辨率=High resolutionof confocal scanning optical microscopes[刊,中]/高万荣,陶纯堪,聂守平,刘明,卞松龄(南京理工大学电光学院.江苏,南京(210094))//光学技术.—1999,(3).—4-7讨论了共... TH742 2000064267共焦扫描光学显微镜的高分辨率=High resolutionof confocal scanning optical microscopes[刊,中]/高万荣,陶纯堪,聂守平,刘明,卞松龄(南京理工大学电光学院.江苏,南京(210094))//光学技术.—1999,(3).—4-7讨论了共焦扫描光学显微镜的高分辨率性质,指出共焦扫描显微镜由于采用点探测器,因而视场大大减小,信噪比大大提高,同时每幅图像逐点扫描形成,在光学系统信息能力不变的前提下,系统的空间域通带宽度增加和时域通带宽度减小。因而可成高分辨率的像。 展开更多
关键词 共焦扫描显微镜 高分辨率 望远镜 扫描近场光学显微镜 光学系统 通带宽度 光学技术 信息能力 光纤探针 南京理工大学
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眼镜、放大镜、显微镜及显微术
15
《中国光学》 EI CAS 1997年第6期67-68,共2页
TH742 97063971高级研究显微镜中物镜、聚光器变换的电动、自动控制=Automatic of electric controlling objectiveand condenser turn in advanced research micro-scope[刊,中]/刘健(重庆建筑高等专科学校.四川,重庆(630030))∥光学仪... TH742 97063971高级研究显微镜中物镜、聚光器变换的电动、自动控制=Automatic of electric controlling objectiveand condenser turn in advanced research micro-scope[刊,中]/刘健(重庆建筑高等专科学校.四川,重庆(630030))∥光学仪器.—1996,18(4). 展开更多
关键词 光子扫描隧道显微镜 扫描探针显微镜 显微成像系统 自动控制 聚光器 高等专科学校 仪器仪表 多层膜 光学仪器 重庆建筑
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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜
16
《中国光学》 EI CAS 2001年第3期103-103,共1页
TH742 2001032189变迹术对改善共焦系统分辨率的实验研究=Improvingconfocal scanning imaging system resolutionby using apodization[刊,中]/步扬,王桂英,杨莉松,王建岗,徐至展(中科院上海光机所.上海(201800))∥中国激光.-2000,27(1... TH742 2001032189变迹术对改善共焦系统分辨率的实验研究=Improvingconfocal scanning imaging system resolutionby using apodization[刊,中]/步扬,王桂英,杨莉松,王建岗,徐至展(中科院上海光机所.上海(201800))∥中国激光.-2000,27(10).-907-910给出了在反射式光纤共焦扫描成像系统中,利用变迹术提高系统分辨率的原理,并做了相应的对比实验。在加入变迹掩模后,系统对物体的成像响应曲线。 展开更多
关键词 反射式光纤共焦扫描成像 系统分辨率 变迹术 实验研究 对比实验 响应曲线 激光 扫描探针显微镜 王建 望远镜
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光学系统测试与设备
17
《中国光学》 EI CAS 2003年第5期91-91,共1页
TH703 2003053891测量大数值孔径光学系统小光斑的方法=Testing methodof small light spot produced by an optical system with highNA[刊,中]/徐文东(中科院上海光机所.上海(201800)),干福熹//中国激光.—2003,30(2).—171-174介绍... TH703 2003053891测量大数值孔径光学系统小光斑的方法=Testing methodof small light spot produced by an optical system with highNA[刊,中]/徐文东(中科院上海光机所.上海(201800)),干福熹//中国激光.—2003,30(2).—171-174介绍了一种小孔扫描测量大数值孔径光学系统小光斑的方法。利用近场光学显微镜的光纤探针采样技术和压电陶瓷扫描技术,可对光学系统小光斑的光强分布进行高空间分辨的测量。 展开更多
关键词 大数值孔径光学系统 小光斑 光纤探针 近场光学显微镜 压电陶瓷 扫描技术 扫描测量 采样技术 光强分布 空间分辨率
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纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源 被引量:18
18
作者 徐毅 高思田 李晶 《计量学报》 CSCD 北大核心 2003年第2期81-84,共4页
微电子及纳米技术的发展 ,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高。文中就建立这一量值溯源体系进行探讨 ,包括 :样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等 ,表明了建立纳米。
关键词 计量学 纳米 亚微米 溯源系统 标准样板 扫描探针显微镜
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纳米科学测量与传感技术 被引量:4
19
作者 李达成 王佳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期75-78,共4页
本文首先介绍了纳米测量技术的现状,纳米测量系统的三个主要部分即纳米传感技术;扫描测量系统;信息处理及图象分析技术,最后就纳米测量技术的前景题提出了看法。
关键词 传感技术 纳米科学 纳米尺度 扫描探针显微镜 显微术 原子力显微镜 测量系统 测量技术 光子扫描隧道显微镜 图象分析技术
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醋酸介质中T-403塔不锈钢填料腐蚀机理研究 被引量:6
20
作者 李淑英 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期335-339,共5页
某化工厂PTA装置氧化单元系统中铁离子含量增高,已影响到氧化反应效果,严重威胁稳定生产,分析认为铁离子主要来自T-403溶剂回收塔316L不锈钢填料的腐蚀.利用扫描电镜、电子探针、金相显微镜等现代物理和化学分析检测手段,观察了从T-403... 某化工厂PTA装置氧化单元系统中铁离子含量增高,已影响到氧化反应效果,严重威胁稳定生产,分析认为铁离子主要来自T-403溶剂回收塔316L不锈钢填料的腐蚀.利用扫描电镜、电子探针、金相显微镜等现代物理和化学分析检测手段,观察了从T-403塔取出填料的微观形貌,测试分析了所用填料的主要化学成分及元素分布,对比了未使用和已腐蚀填料的金相显微结构、力学性能变化,研究分析了不锈钢填料的腐蚀机理.实验结果表明:不锈钢填料发生了严重的局部腐蚀,腐蚀形态为晶间腐蚀和小孔腐蚀.填料发生腐蚀后,强度和硬度明显降低.测试分析结果证明,贫铬导致晶间腐蚀,Br-以及不锈钢钝化膜局部破损造成蚀孔.原填料质量存在问题,不锈钢填料的含碳量未达到超低碳316L不锈钢的标准. 展开更多
关键词 不锈钢填料 机理研究 醋酸介质 316L不锈钢 力学性能变化 晶间腐蚀 铁离子含量 PTA装置 溶剂回收塔 金相显微镜 单元系统 氧化反应 稳定生产 扫描电镜 电子探针 检测手段 化学分析 现代物理 微观形貌 元素分布 化学成分
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