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扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
被引量:
3
1
作者
王志勇
张鸿海
+2 位作者
鲍剑斌
郭文明
汪学方
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现...
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。
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关键词
扫描
探针
显微镜
扫描
力
显微镜
静电力
显微镜
电荷存储
捕获释放技术
扫描静电力显微镜
量子器件
测量技术
铁电材料
半导体
微晶振
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职称材料
题名
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
被引量:
3
1
作者
王志勇
张鸿海
鲍剑斌
郭文明
汪学方
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期232-237,共6页
文摘
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。
关键词
扫描
探针
显微镜
扫描
力
显微镜
静电力
显微镜
电荷存储
捕获释放技术
扫描静电力显微镜
量子器件
测量技术
铁电材料
半导体
微晶振
Keywords
SPM
SFM
EFM
charge storage
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TM93 [电气工程—电力电子与电力传动]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
王志勇
张鸿海
鲍剑斌
郭文明
汪学方
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
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