期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
被引量：
3
1
作者
王志勇
张鸿海
+2 位作者
鲍剑斌
郭文明
汪学方
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现...
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。
展开更多
关键词
扫描
探针
显微镜
扫描
力
显微镜
静电力
显微镜
电荷存储
捕获释放技术
扫描静电力显微镜
量子器件
测量技术
铁电材料
半导体
微晶振
在线阅读
下载PDF
职称材料
纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验
被引量：
1
2
作者
冯旭刚
冯同磊
+3 位作者
章家岩
徐驰
费业泰
张鹏
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期417-422,共6页
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态...
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值。
展开更多
关键词
微纳米测量
重力补偿器
扫描静电力显微镜
探针系统
双高度法
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
被引量：
3
1
作者
王志勇
张鸿海
鲍剑斌
郭文明
汪学方
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期232-237,共6页
文摘
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。
关键词
扫描
探针
显微镜
扫描
力
显微镜
静电力
显微镜
电荷存储
捕获释放技术
扫描静电力显微镜
量子器件
测量技术
铁电材料
半导体
微晶振
Keywords
SPM
SFM
EFM
charge storage
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
TM93 [电气工程—电力电子与电力传动]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验
被引量：
1
2
作者
冯旭刚
冯同磊
章家岩
徐驰
费业泰
张鹏
机构
安徽工业大学电气与信息工程学院
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
安徽工业大学机械工程学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第11期417-422,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51405003)
安徽省教育厅自然科学基金重点项目(KJ2015A058)
文摘
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值。
关键词
微纳米测量
重力补偿器
扫描静电力显微镜
探针系统
双高度法
Keywords
micro-nano measurement
gravity compensator
scanning electrostatic force microscopy
double height method
分类号
TH721 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术
王志勇
张鸿海
鲍剑斌
郭文明
汪学方
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验
冯旭刚
冯同磊
章家岩
徐驰
费业泰
张鹏
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
