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扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展 被引量:1
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作者 陈芳 魏志鹏 +6 位作者 刘国军 唐吉龙 房丹 方铉 高娴 赵海峰 王双鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期28-33,共6页
半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因... 半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因此扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域有着无可替代的地位。扫描近场光学显微技术突破了传统光学显微技术的衍射分辨率极限的限制,具有超高空间分辨率、超高探测灵敏度等特点,并且是一种非接触性探测,具有无损伤性。简要介绍了扫描近场光学显微镜的原理及在半导体材料研究中的应用,包括量子阱结构中的位错及缺陷的表征,半导体器件的表面复合速率及扩散长度的纳米表征,以及半导体薄膜中的缺陷分布的检测。探讨了目前相关研究领域存在的主要问题,并对其发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微技术 半导体材料 超高空间高分辨率
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近场扫描光学显微镜及其探针技术研究新进展 被引量:2
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作者 项仕标 张天浩 +4 位作者 苏玉玲 项顼 吴朝晖 田臻锋 张春平 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期119-124,共6页
对近场扫描光学显微技术 (NSOM)研究与应用新进展作了概括介绍 ,较详细地阐述了NSOM的关键部件———探针技术的发展 ,并对NSOM的前景作了展望。
关键词 近场扫描光学 近场扫描光学技术 光纤探针 无孔探针 分辨率
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近场扫描光学显微图象与光谱技术 被引量:1
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作者 梅二文 顾文芳 《分析科学学报》 CAS CSCD 1999年第1期79-86,共8页
本文就近场扫描光学显微图象及光谱这一新技术的原理、主要仪器装置及其在分析化学中的应用进行了评述。目前,这一技术已被应用于室温及大气环境中的单分子检测,显示了该技术在微区痕量分析中广阔的应用前景。
关键词 近场扫描 光学技术 单分子检测 区分析
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近场光学显微技术的进展及其应用 被引量:2
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作者 方哲宇 刘丹 +2 位作者 王笑 黄姗 朱星 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第1期77-86,共10页
近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻... 近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻技术上的应用、表面等离激元的共振增强作用和束流作用在近场光学领域的进展以及表面增强拉曼散射机理的研究,并介绍了近场光学显微技术在单分子检测和细胞探测等其它生命科学领域的一些发展。 展开更多
关键词 扫描近场光学 超高分辨近场结构 表面等离激元 表面增强拉曼散射 表面等离子晶体 全内反射 荧光
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扫描近场光学显微术对InGaP微盘发光模式的研究 被引量:1
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作者 张宇 辛永春 +5 位作者 朱星 凌勇 尹彦 周赫田 章蓓 甘子钊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期219-224,共6页
采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为5μm和10μm的图钉式InGaP光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究,并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较.结果表明InGaP微盘的近场发光图样不仅反映... 采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为5μm和10μm的图钉式InGaP光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究,并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较.结果表明InGaP微盘的近场发光图样不仅反映出荧光图象的回音壁模式特征,即沿微盘周界显示为一圈红色亮环,而且证实荧光图像中的红色亮环实际上与更精细的由分立的周期性亮点组成的近场光场分布相对应.结合微盘内部与外部的近场分布可以获得光学微盘中发光模式的重要信息. 展开更多
关键词 扫描近场光学 技术 盘型 铟镓磷 发光模式
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溶液环境中工作的扫描近场光学/荧光光谱显微术 被引量:2
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作者 商广义 朱传凤 +7 位作者 王琛 万立骏 白春礼 Lei F H M Troyon H Morjani J F Angiboust M Manfait 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期433-437,共5页
我们采用双压电陶瓷片发展了一种切变力非光学检测探针-样品间距控制方法。基于这种方法,研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描近场光学 荧光光谱显微系统,实现了在溶液环境中探针-样品间距的可靠控制和成像,获得了人体乳腺癌细胞内... 我们采用双压电陶瓷片发展了一种切变力非光学检测探针-样品间距控制方法。基于这种方法,研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描近场光学 荧光光谱显微系统,实现了在溶液环境中探针-样品间距的可靠控制和成像,获得了人体乳腺癌细胞内的近场荧光光谱。本文简要介绍该系统的工作原理以及利用该系统得到的实验结果。 展开更多
关键词 扫描近场光学 切变力检测 荧光光谱
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微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术
7
《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期60-61,共2页
微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术(near—fieldscanningopticalmicroscopy,NSOM)是由美国AT&TBell实验室从九十年代开发,用于在数微米面积内工作的... 微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术(near—fieldscanningopticalmicroscopy,NSOM)是由美国AT&TBell实验室从九十年代开发,用于在数微米面积内工作的一种新型光学观察技术。在此之前,光... 展开更多
关键词 近场 扫描 光学 光电子
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基于源偶极子的扫描近场光学显微镜的数值模拟 被引量:1
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作者 吴昌林 王长 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期643-651,共9页
红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针... 红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针形状的解析模型,结合数值模拟的开发了源偶极子模型(SDM),能够直接获得近场检测信息,提高计算效率。基于模拟结果,解释了天线效应、尖端半径影响和电荷量的影响,并将SDM模型结果与全波仿真(FWS)结果进行了比较。为进一步理解近场光学显微镜中的针尖-样品结提供了新的视角。 展开更多
关键词 太赫兹 近场技术 数值模拟 偶极模型 光学性质
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电子器件无损检测光学微扫描显微热成像系统 被引量:4
9
作者 高美静 范祥瑞 +1 位作者 顾海华 吴伟龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期779-784,共6页
为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作... 为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计。实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性。随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光学工程 光学扫描热像仪 噪声等效温差 噪声等效辐射率差 电子器件 故障检测
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扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究 被引量:2
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作者 徐平 蔡微 +2 位作者 余威 钱建强 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期313-315,共3页
介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基... 介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法,并给出了具体的实验结果。 展开更多
关键词 超声检测技术 扫描探针技术 扫描近场 CD—R光盘膜
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高空间分辨率的热测试技术——扫描热显微技术 被引量:1
11
作者 晋宏师 顾毓沁 +3 位作者 陈皓明 朱德忠 韩立 谢志刚 《计量学报》 CSCD 北大核心 1999年第4期266-273,共8页
简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测试的技术特点和研究现状,介绍了实际测试的情况,初步分析了扫描热探针和样品表面间的传热机理,提出了进一步研究的方向。
关键词 扫描技术 高空间分辨率 热测试技术
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纳米孔径近场光学显微成像的数值分析
12
作者 郭宁 潘石 +2 位作者 吴世法 夏德宽 简国树 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期136-139,共4页
将纳米级光孔的近场分布表征为横电与横磁模式按空间频谱分布的展开叠加 ,其频谱系数由界面上的电磁分布来确定 .在柱坐标系下 ,横电及横磁各分量的具体形式来源于矢量亥姆霍兹方程的一般解 ,通过界面上电磁分布的修正 ,可以得到更为精... 将纳米级光孔的近场分布表征为横电与横磁模式按空间频谱分布的展开叠加 ,其频谱系数由界面上的电磁分布来确定 .在柱坐标系下 ,横电及横磁各分量的具体形式来源于矢量亥姆霍兹方程的一般解 ,通过界面上电磁分布的修正 ,可以得到更为精确的矢量解 ,既保留了近场的发散特性 ,又满足了远场的偶极子分布特性 .此数值计算可以概括为简洁的一维傅里叶积分形式 。 展开更多
关键词 数值模拟 近场光学 纳米孔径 镀膜 成像
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共焦扫描显微成像系统的非相干光学传递函数
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作者 刘峰 朱秀昌 《南京邮电学院学报》 1999年第3期31-34,共4页
共焦扫描光学显微(CSOM)系统有透射式和反射式、相干光和非相干光荧光等类型。CSOM 系统的平面分辨率和纵深分辨率依赖于放置在光电探测器前面的空间滤波器的孔径大小。根据不同孔径计算反射式荧光CSOM 系统的非相干光学... 共焦扫描光学显微(CSOM)系统有透射式和反射式、相干光和非相干光荧光等类型。CSOM 系统的平面分辨率和纵深分辨率依赖于放置在光电探测器前面的空间滤波器的孔径大小。根据不同孔径计算反射式荧光CSOM 系统的非相干光学传递函数。 展开更多
关键词 共焦扫描 光学传递函数 成像系统
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金属材料加工后的微观结构检测技术研究
14
作者 李娟 《产品可靠性报告》 2025年第2期53-54,共2页
金属材料在加工过程中会经历复杂的变化,其内部微观结构的调整对材料的机械性能、耐腐蚀性及疲劳寿命等具有直接影响。因此,准确检测和分析加工后金属材料的微观结构,对于确保材料性能符合设计要求具有重要意义。本文就金属材料加工后... 金属材料在加工过程中会经历复杂的变化,其内部微观结构的调整对材料的机械性能、耐腐蚀性及疲劳寿命等具有直接影响。因此,准确检测和分析加工后金属材料的微观结构,对于确保材料性能符合设计要求具有重要意义。本文就金属材料加工后的微观结构检测技术展开系统探讨,以期通过技术进步和方法创新进一步提升微观结构检测的准确性和应用效率。 展开更多
关键词 金属材料 观结构 检测技术 光学
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电子光学显微成像技术的空间应用
15
作者 郑伟波 《红外》 CAS 2003年第4期1-6,共6页
显微成像技术已广泛地应用于生物科学研究。本课题针对空间生物实验而研制的适合空间应用的显微观测装置,主要由显微放大系统、CCD摄像系统、图像处理系统、大容量图像存储系统、自动调焦系统和地面实时检测系统组成。本文将就国内外发... 显微成像技术已广泛地应用于生物科学研究。本课题针对空间生物实验而研制的适合空间应用的显微观测装置,主要由显微放大系统、CCD摄像系统、图像处理系统、大容量图像存储系统、自动调焦系统和地面实时检测系统组成。本文将就国内外发展现状、技术方案和关键技术展开讨论。 展开更多
关键词 CCD成像 图像处理 自动调焦 图像存储 电子光学成像技术 空间应用 空间生物科学实验
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机械扫描声学显微技术的发展、应用与展望 被引量:1
16
作者 王应龙 胡东云 《应用声学》 CSCD 1990年第1期42-45,34,共5页
本文描述了机械扫描声学显微镜的原理,回顾了它的发展,评述了它在各领域中的应用。
关键词 机械扫描 声学 技术
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太赫兹近场显微技术研究进展 被引量:1
17
作者 代明聪 才家华 +2 位作者 熊虹婷 陈赛 吴晓君 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期193-216,共24页
太赫兹是电磁频谱上还未被完全开发利用的频段,但太赫兹谱学成像技术在材料科学和器件测试等方面已展现出重要应用价值。然而受远场衍射极限限制,该频段难以聚焦于纳米、原子尺度的新材料和微纳器件中,极大阻碍了太赫兹科学的发展与技... 太赫兹是电磁频谱上还未被完全开发利用的频段,但太赫兹谱学成像技术在材料科学和器件测试等方面已展现出重要应用价值。然而受远场衍射极限限制,该频段难以聚焦于纳米、原子尺度的新材料和微纳器件中,极大阻碍了太赫兹科学的发展与技术应用。为提高成像分辨率,使其成为材料科学等交叉领域强大的研究工具,近年诞生了太赫兹耦合的近场显微技术,实现了纳米到埃米量级的空间分辨。本文综述了太赫兹耦合的近场显微技术,包括扫描近场显微镜和扫描隧道显微镜各自的发展历程和应用实例,并探讨了太赫兹近场显微技术的未来机遇和挑战。 展开更多
关键词 近场技术 太赫兹 原子力 扫描隧道
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显微扫描技术在采油工程中的应用 被引量:1
18
作者 边志家 徐龙海 刘青年 《石油石化节能》 1992年第6期24-24,共1页
显微扫描器测得的井眼电象图上能清晰地显示井壁上裂缝的存在,因此可以用来识别由于钻井过程引起的裂缝、天然裂缝或增大的裂缝,从而评价储集层孔隙度。本文介绍了显微扫描技术在采油工程中的应用。
关键词 井眼 扫描图象 采油工程 扫描技术
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表面层析与光学显微技术国际论坛
19
《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期788-788,共1页
http://www.csoe.org.cn/IS2TOM2015/7月23-25日,哈尔滨摘要截稿:2015年5月15日(第一轮)投稿网址:http://www.manuscript-cnoenet.com/主办单位:中国光学工程学会,哈尔滨工业大学技术主办:SPIE大会名誉主席:金国藩院士(清华大学)周立伟... http://www.csoe.org.cn/IS2TOM2015/7月23-25日,哈尔滨摘要截稿:2015年5月15日(第一轮)投稿网址:http://www.manuscript-cnoenet.com/主办单位:中国光学工程学会,哈尔滨工业大学技术主办:SPIE大会名誉主席:金国藩院士(清华大学)周立伟院士(北京理工大学)姚建铨院士(天津大学)大会主席:庄松林院士(上海理工大学)共主席:TONY Wilson(University of Oxford,UK)谭久彬(哈尔滨工业大学)田捷(中科院自动化研究所) 展开更多
关键词 光学技术 北京理工大学 光学工程 庄松林 院士 国际论坛 层析 色层分析
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表面层析与光学显微技术国际论坛
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《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第3期1104-1104,共1页
http://www.csoe.org.cn/IS2TOM2015/7月23-25日,哈尔滨摘要截稿:2015年5月15日(第一轮)投稿网址:http://www.manuscript-cnoenet.com/主办单位:中国光学工程学会,哈尔滨工业大学技术主办:SPIE大会名誉主席:金国藩院士(清华大学)周立伟... http://www.csoe.org.cn/IS2TOM2015/7月23-25日,哈尔滨摘要截稿:2015年5月15日(第一轮)投稿网址:http://www.manuscript-cnoenet.com/主办单位:中国光学工程学会,哈尔滨工业大学技术主办:SPIE大会名誉主席:金国藩院士(清华大学)周立伟院士(北京理工大学)姚建铨院士(天津大学)大会主席:庄松林院士(上海理工大学)共主席:TONY Wilson(University of Oxford,UK) 展开更多
关键词 光学技术 周立伟 光学工程 北京理工大学 庄松林 院士 层析 色层分析 国际论坛
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