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扫描质子微探针质子束刻写被引量：2: 1; 作者雷前涛刘江峰 +3 位作者包良满张仲建余本海李晓林《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1603-1607,共5页; 质子束刻写技术利用MeV能量的聚焦质子束对抗蚀剂材料直接刻写μm甚至nm尺度微结构。研究了质子束刻写中抗蚀剂胶层样品厚度与涂层机旋转速度的关系以及曝光对抗蚀剂的影响,解决了质子束刻写中抗蚀剂厚胶层样品的制备、固化、显影等技... 展开更多; 关键词质子束刻写扫描质子微探针微结构抗蚀剂旋转涂胶; 在线阅读下载PDF 职称材料

多功能扫描质子微探针数据获取系统研制: 2; 作者刘江峰雷前涛 +2 位作者包良满李晓林李燕《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2015年第9期926-930,共5页; 介绍了中国科学院上海应用物理研究所新的扫描质子微探针数据获取系统。新的4LB-Ⅰ型数据获取系统基于NI公司的PXI-7852R数据采集卡和Lab VIEW软件平台,具备了多个物理信号采集、多能谱显示、存储,以及束流扫描和二维成像等功能,可以满... 展开更多; 关键词扫描质子微探针数据获取 NI PXI-7852R 现场可编程逻辑门阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

互补的微分析方法—扫描电子显微术和扫描探针显微术: 3; 作者王晓平李凡庆吴自勤《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期416-421,共6页; 本文介绍扫描电子显微术 (SEM)和扫描探针显微术 (SPM)这两种最常用的微分析方法的新进展。简述了它们各自的构成、工作原理。; 关键词扫描电子显微术扫描探针显微术微分析互补性工作原理 SEM spm; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描探针技术材料表面微形貌定量研究综述: 4; 作者李所在廖立兵白春礼《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期75-78,共4页; 介绍了扫描探针显微镜(SPM)技术及其在材料表面微形貌定量研究方面的应用现状,指出了SPM在这方面研究的不足之处以及SPM技术在表面微形貌定量研究方面的应用前景。; 关键词扫描探针显微镜表面微形貌表面粗糙度 spm技术工作原理材料; 在线阅读下载PDF 职称材料

扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究被引量：5: 5; 作者刘江峰包良满 +4 位作者岳伟生万天敏李晓林张桂林李燕《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期313-318,共6页; 基于上海应用物理研究所的扫描质子微探针系统,对扫描透射离子显微成像(STIM)技术进行了仿真分析和实验研究,建立了基于中值滤波方法的数据处理程序,获得了大鼠股骨切片的面密度分布和薄壁小球的离轴STIM图像。理论分析和实验结果显示:... 展开更多; 关键词扫描透射离子显微术扫描质子微探针中值滤波束流探测; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS的微位移传感器及其应用研究被引量：9: 6; 作者孙凤鸣傅星 +2 位作者朱振宇高赛张超《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期293-296,共4页; 对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的... 展开更多; 关键词 MEMS位移传感器静电梳齿结构微扫描探针测头 spm应用; 在线阅读下载PDF 职称材料

一台新建的核探针及其应用被引量：1: 7; 作者朱节清毛羽 +3 位作者李民乾谷英梅乐安全陆荣荣《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第3期291-295,共5页; 介绍了新建成的一台核探针的构造。它的主要特点是:采用长焦距四极透镜、以综合分析为目标的多探测器系统、快速随机扫描、多参量事件方式数据获取、全定量扫描分析(TQSA)方式处理数据等。这些特点使这台核探针成为医学生物、冶金、微... 展开更多; 关键词核探针扫描质子微探针质子激发 X射线荧光分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

PIXE在考古学中的应用被引量：2: 8; 作者曾宪周任炽刚《文物保护与考古科学》 1989年第1期40-47,共8页; 本文论述了粒子激发X荧光(PIXE)的特点及其在考古研究中的三方面应用:古物的制造工艺、古物的出处以及古物的真伪鉴定。还介绍了具体的应用实例.; 关键词粒子激发X荧光(PIXE) 扫描质子微探针(spm) 考古学微量元素; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描质子微探针质子束刻写被引量：2: 1; 作者雷前涛刘江峰包良满张仲建余本海李晓林; 机构中国科学院上海应用物理研究所信阳师范学院物理电子工程学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1603-1607,共5页; 基金国家自然科学基金项目(10975176) 中国科学院科研装备研制项目(YZ200937) +1 种基金国家青年科学基金项目(11005141); 文摘质子束刻写技术利用MeV能量的聚焦质子束对抗蚀剂材料直接刻写μm甚至nm尺度微结构。研究了质子束刻写中抗蚀剂胶层样品厚度与涂层机旋转速度的关系以及曝光对抗蚀剂的影响,解决了质子束刻写中抗蚀剂厚胶层样品的制备、固化、显影等技术问题,利用扫描质子微探针系统,在正型抗蚀剂胶层上刻写出μm尺度的"海宝"图形、双矩形结构,在负型抗蚀剂上刻写出μm尺度的平行线条、"十"字形微结构。; 关键词质子束刻写扫描质子微探针微结构抗蚀剂旋转涂胶; Keywords proton beam writing； scanning proton microprobe； micro-structures； resist； spin-coating; 分类号 O571.33 [理学—粒子物理与原子核物理] O472 [理学—半导体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多功能扫描质子微探针数据获取系统研制: 2; 作者刘江峰雷前涛包良满李晓林李燕; 机构信阳师范学院物理电子工程学院中国科学院上海应用物理研究所; 出处《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2015年第9期926-930,共5页; 基金中国科学院科研装备研制项目(YZ200937) 上海市科研计划项目(14ZR1448300)资助; 文摘介绍了中国科学院上海应用物理研究所新的扫描质子微探针数据获取系统。新的4LB-Ⅰ型数据获取系统基于NI公司的PXI-7852R数据采集卡和Lab VIEW软件平台,具备了多个物理信号采集、多能谱显示、存储,以及束流扫描和二维成像等功能,可以满足在一次实验中同时获取多种物理量的需要。实验验证了该系统的可靠性与稳定性。; 关键词扫描质子微探针数据获取 NI PXI-7852R 现场可编程逻辑门阵列; Keywords scanning proton microprobe data acquisition system NI PXI - 7852R FPGA; 分类号 TL822.6 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名互补的微分析方法—扫描电子显微术和扫描探针显微术: 3; 作者王晓平李凡庆吴自勤; 机构中国科技大学理化中心中国科技大学天文与应用物理系; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期416-421,共6页; 文摘本文介绍扫描电子显微术 (SEM)和扫描探针显微术 (SPM)这两种最常用的微分析方法的新进展。简述了它们各自的构成、工作原理。; 关键词扫描电子显微术扫描探针显微术微分析互补性工作原理 SEM spm; Keywords scanning electron microscopy(STM) scanning probe microscopy(spm) microanalysis complementarity; 分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描探针技术材料表面微形貌定量研究综述: 4; 作者李所在廖立兵白春礼; 机构中国地质大学中国科学院化学研究所; 出处《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期75-78,共4页; 文摘介绍了扫描探针显微镜(SPM)技术及其在材料表面微形貌定量研究方面的应用现状,指出了SPM在这方面研究的不足之处以及SPM技术在表面微形貌定量研究方面的应用前景。; 关键词扫描探针显微镜表面微形貌表面粗糙度 spm技术工作原理材料; Keywords scanning probe microscopy micromorphology surface roughness; 分类号 P575 [天文地球—矿物学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究被引量：5: 5; 作者刘江峰包良满岳伟生万天敏李晓林张桂林李燕; 机构中国科学院上海应用物理研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期313-318,共6页; 基金中国科学院知识创新工程项目(KJCX3.SYW.N3) 国家自然科学基金重大项目(10490182); 文摘基于上海应用物理研究所的扫描质子微探针系统,对扫描透射离子显微成像(STIM)技术进行了仿真分析和实验研究,建立了基于中值滤波方法的数据处理程序,获得了大鼠股骨切片的面密度分布和薄壁小球的离轴STIM图像。理论分析和实验结果显示:由在轴探测数据的中值滤波结果可以计算出定量的面密度分布信息,由能量窗滤波的离轴探测数据则可以给出高分辨的定性图像,这在薄样品、强束流、以及质子激发X荧光(PIXE)分析同时进行的STIM分析中尤为有用;增加获取的事件数、选择合适的滤波方法可以使测量误差远小于阻止本领计算带来的误差。该方法可以用于测量几十μm尺度样品的绝对质量以及辅助PIXE技术进行元素定量分布分析。; 关键词扫描透射离子显微术扫描质子微探针中值滤波束流探测; Keywords Scanning transmission ion microscopy Scanning proton microprobe Median filtering Beams detection; 分类号 TL503 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS的微位移传感器及其应用研究被引量：9: 6; 作者孙凤鸣傅星朱振宇高赛张超; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室中航工业北京长城计量测试技术研究所物理技术研究院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期293-296,共4页; 文摘对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移,梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统,利用该系统进行进针实验,标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm,实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头,搭建小型SPM系统,对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。; 关键词 MEMS位移传感器静电梳齿结构微扫描探针测头 spm应用; Keywords MEMS displacement sensor electrostatic comb-drive structure micro-spm head spm application; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一台新建的核探针及其应用被引量：1: 7; 作者朱节清毛羽李民乾谷英梅乐安全陆荣荣; 机构中国科学院上海原子核研究所; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第3期291-295,共5页; 文摘介绍了新建成的一台核探针的构造。它的主要特点是:采用长焦距四极透镜、以综合分析为目标的多探测器系统、快速随机扫描、多参量事件方式数据获取、全定量扫描分析(TQSA)方式处理数据等。这些特点使这台核探针成为医学生物、冶金、微电子、考古和地球科学等领域中十分有用的工具。文章用一些例子佐证了它广泛的应用前景。; 关键词核探针扫描质子微探针质子激发 X射线荧光分析; Keywords Nuclear Microprobe Scanning Proton Microprobe PIXE; 分类号 TH83 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PIXE在考古学中的应用被引量：2: 8; 作者曾宪周任炽刚; 机构复旦大学; 出处《文物保护与考古科学》 1989年第1期40-47,共8页; 文摘本文论述了粒子激发X荧光(PIXE)的特点及其在考古研究中的三方面应用:古物的制造工艺、古物的出处以及古物的真伪鉴定。还介绍了具体的应用实例.; 关键词粒子激发X荧光(PIXE) 扫描质子微探针(spm) 考古学微量元素; Keywords Particle induced X-ray emission(PIXE) Scanning proton microprobe(spm) Archaeology Trace element; 分类号 O657.3 [理学—分析化学] K854 [历史地理—考古学及博物馆学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	扫描质子微探针质子束刻写	雷前涛刘江峰包良满张仲建余本海李晓林	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多功能扫描质子微探针数据获取系统研制	刘江峰雷前涛包良满李晓林李燕	《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	互补的微分析方法—扫描电子显微术和扫描探针显微术	王晓平李凡庆吴自勤	《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	扫描探针技术材料表面微形貌定量研究综述	李所在廖立兵白春礼	《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心	1996	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	扫描透射离子显微成像系统的建立和实验研究	刘江峰包良满岳伟生万天敏李晓林张桂林李燕	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于MEMS的微位移传感器及其应用研究	孙凤鸣傅星朱振宇高赛张超	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2013	9	在线阅读下载PDF 职称材料
7	一台新建的核探针及其应用	朱节清毛羽李民乾谷英梅乐安全陆荣荣	《电子显微学报》 CAS CSCD	1993	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	PIXE在考古学中的应用	曾宪周任炽刚	《文物保护与考古科学》	1989	2	在线阅读下载PDF 职称材料