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光重心法在多线阵CCD检测系统中的应用 被引量:3
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作者 郭晓军 顾永刚 邢晓正 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第3期73-75,共3页
介绍了极坐标下用多个线阵CCD对多目标位置检测系统的稳定性情况及系统的搭建。试验系统主要包括如下几个部分:控制主机,多个线阵CCD,精密旋转台,扫描梁,旋转平台,积分球光源以及自行设计的数据处理程序。采用"光重心法"对光... 介绍了极坐标下用多个线阵CCD对多目标位置检测系统的稳定性情况及系统的搭建。试验系统主要包括如下几个部分:控制主机,多个线阵CCD,精密旋转台,扫描梁,旋转平台,积分球光源以及自行设计的数据处理程序。采用"光重心法"对光斑信号进行处理。进行的实验测试表明在步距0.05mm时,动态和静态标准差分别为0.58μm和0.32μm,系统稳定性理想。实验结果证明由重心法得到的信号位置具有稳定性好等特点。 展开更多
关键词 线阵CCD 光重心法 扫描梁 动态稳定性
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