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微光斑测量 被引量:2
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作者 陈丽新 柯熙政 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2005年第1期53-54,共2页
在大气激光通信中,接收机需要最大可能的接收光斑的能量,激光光斑的测量与分析是评价系统工作性能的重要参数。介绍了基于微光斑能量分布与测量的CCD成像法和光探针扫描法,分析了测量系统的测量原理及系统的构成及其配套的光斑分析软件... 在大气激光通信中,接收机需要最大可能的接收光斑的能量,激光光斑的测量与分析是评价系统工作性能的重要参数。介绍了基于微光斑能量分布与测量的CCD成像法和光探针扫描法,分析了测量系统的测量原理及系统的构成及其配套的光斑分析软件,讨论了影响系统测量精度的主要因素,并比较了两种方法的优缺点。 展开更多
关键词 微光斑CCD成像 探针扫描
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基于LabVIEW的界面电阻自动测试装置 被引量:1
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作者 黄西林 胡晓凯 孙得柱 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第10期942-947,共6页
界面电阻是半导体器件制备和性能表征的一个重要参数。针对金属-半导体互连块体样品的界面电阻测量,利用Keithley 2450型数字源表、自制夹持力可视化夹具、运动控制卡、直线模组等搭建了基于扫描探针法的界面电阻自动测试装置,并在LabV... 界面电阻是半导体器件制备和性能表征的一个重要参数。针对金属-半导体互连块体样品的界面电阻测量,利用Keithley 2450型数字源表、自制夹持力可视化夹具、运动控制卡、直线模组等搭建了基于扫描探针法的界面电阻自动测试装置,并在LabVIEW下开发了测试软件。改变了传统扫描探针法的驱动方式,即使用直线模组驱动样品进行微步距移动,探针仅做上下运动,实现了扫描探针法电阻测试,节约了硬件成本。选用Keithley 2450型数字源表,使得可在输出恒电流的同时进行电压测量,且其自带输出回读功能,简化了测试装置并提高了测量数据的准确性。通过对块体Cu-Bi2Te3金属-半导体焊接样品进行界面电阻测量,验证了测试装置的稳定性和可重复性。 展开更多
关键词 扫描探针法 界面电阻 测试装置 LABVIEW 数字源表
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