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微探针电化学加工机理及针尖尺寸控制技术
被引量：
8
1
作者
胡小唐
郭育
+1 位作者
刘安伟
吉贵军
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第5期557-561,共5页
研究了电化学腐蚀法加工微探针的机理,建立了微探针成形的理论模型,提出实时控制加工微探针针尖曲率半径的新方法,发展了相应的控制加工技术。
关键词
扫描探测显微镜
微探针
电化学加工
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职称材料
题名
微探针电化学加工机理及针尖尺寸控制技术
被引量：
8
1
作者
胡小唐
郭育
刘安伟
吉贵军
机构
天津大学精密仪器工程系
出处
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第5期557-561,共5页
基金
国家自然科学基金
和国家教委<跨世纪优秀人才计划>基金
文摘
研究了电化学腐蚀法加工微探针的机理,建立了微探针成形的理论模型,提出实时控制加工微探针针尖曲率半径的新方法,发展了相应的控制加工技术。
关键词
扫描探测显微镜
微探针
电化学加工
Keywords
SPM, microtip, electrochemical etching, feedback controlled technique
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微探针电化学加工机理及针尖尺寸控制技术
胡小唐
郭育
刘安伟
吉贵军
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
8
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