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针尖-样品距离对扫描微波显微成像的影响分析
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作者 薛一凡 王采慧 +1 位作者 裴涛 温焕飞 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期303-308,共6页
随着芯片制备工艺的不断完善,半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展,给近场微波成像技术带来了新的挑战。本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型,并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用。在不同探针... 随着芯片制备工艺的不断完善,半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展,给近场微波成像技术带来了新的挑战。本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型,并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用。在不同探针-样品间距下,对硅基芯片表面结构进行扫描微波成像。成像结果与仿真结果相一致,随着针尖-样品间距的增加,扫描微波测试系统的灵敏度和分辨率降低。对于由原子力显微术结合微波测量技术发展而来的扫描微波显微镜的改进与产业化具有重大意义。 展开更多
关键词 扫描微波显微镜 有限元法 电磁建模 针尖-样品间距
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微波近场扫描显微镜无损介质层透视探测成像 被引量:1
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作者 马慧瑾 白明 +1 位作者 邵一鹏 苗俊刚 《现代电子技术》 2012年第10期68-72,共5页
在分析新型微波近场扫描显微镜同轴谐振腔工作模式的基础上,采用了S参量测量谐振腔多谐振频点S21幅值和相位的工作方式。为满足探测非透明物体内部隐藏结构的需求,利用谐振腔微扰理论和隐失场探测原理,实验测得介质层下金属隐藏结构的... 在分析新型微波近场扫描显微镜同轴谐振腔工作模式的基础上,采用了S参量测量谐振腔多谐振频点S21幅值和相位的工作方式。为满足探测非透明物体内部隐藏结构的需求,利用谐振腔微扰理论和隐失场探测原理,实验测得介质层下金属隐藏结构的扫描微波图像,实现约0.01λ超分辨率的清晰图像。讨论了采用微波近场扫描显微镜方法进行的非透明物体内部无损探测技术,为进一步应用于物体内部无损探测和检验提供了重要的研究基础。 展开更多
关键词 无损透视探测 微波近场扫描显微镜 隐失场 电容加载同轴谐振腔 探针
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Dechlorination of zinc dross by microwave roasting
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作者 魏亚乾 彭金辉 +4 位作者 张利波 巨少华 夏仡 郑勤 王亚健 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第7期2627-2632,共6页
Traditional treatments of zinc dross have many disadvantages,such as complicated recovering process and serious environmental pollution.In this work,a new process of chlorine removal from zinc dross by microwave was p... Traditional treatments of zinc dross have many disadvantages,such as complicated recovering process and serious environmental pollution.In this work,a new process of chlorine removal from zinc dross by microwave was proposed for solving problem of recycling the zinc dross.With better ability of absorbing the microwave than zinc oxide,the main material in zinc dross,chlorides,can be heated and evaporated rapidly during microwave roasting.Various parameters including roasting temperature,duration time and stirring speed were optimized.The microstructure of roasted materials was characterized by X-ray diffraction(XRD) and scanning electron microscope(SEM).The content of the chloride was analyzed by the method of chlorine ion selective electrode.The experiments indicate that the best duration time is 60 min with a stirring speed of 15 r/min during the microwave roasting process.The dechlorination rate reaches peak value of 88% at 700 ℃.The chlorine is removed as HCl gas when water vapor is used as activating agent,which means that it can be recovered into hydrochloride acid. 展开更多
关键词 zinc dross microwave roasting DECHLORINATION resources recovery
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