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基于扫描开尔文探针力显微镜的金属中局部氢分布测试方法研究 被引量:2
1
作者 顾超华 朱盛依 +4 位作者 郑津洋 李炎华 张林 骆承法 花争立 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期329-335,共7页
目的探明金属材料中局部氢分布及演化特性是揭示其高压氢脆机理、预测承载件服役性能的重要基础。由于材料中局部氢分布测试难度大,目前各种测试研究方法都存在缺点和不足。方法利用扫描开尔文探针力显微镜(SKPFM)进行金属中局部氢分布... 目的探明金属材料中局部氢分布及演化特性是揭示其高压氢脆机理、预测承载件服役性能的重要基础。由于材料中局部氢分布测试难度大,目前各种测试研究方法都存在缺点和不足。方法利用扫描开尔文探针力显微镜(SKPFM)进行金属中局部氢分布研究具有空间分辨率高、测试无损的特点,但其测试结果影响因素多,亟待建立相应的测试可靠性保障方法。较为系统的研究了关键测试参数、试验温度、试验气氛环境等对SKPFM测试结果的影响规律。基于上述影响SKPFM测试结果的因素及其影响规律,建立了相对应的控制策略,完善了基于SKPFM的金属近表面局部氢分布测试方法,并对该方法的有效性进行了验证。最后,利用建立的方法研究了高温高压充氢后S30408中氢分布的演化规律。结果对于特定的激振频率,总存在一个激振相位的最佳区间,在此区间内CPD测试的误差最小,且数据稳定性高,激振频率的变化会导致最佳相位区间的变化;空气中的水分和氧气不仅对CPD整体值影响较大,还改变了不同位置处CPD的差值。根据对高温高压充氢后S30408中氢分布的演化规律的观察,氢在S30408中扩散速度随晶向的不同存在差异性。结论利用SKPFM可以有效的测试金属近表面局部氢分布,为金属材料氢脆机理的研究提供了支撑。 展开更多
关键词 高压氢脆 局部氢分布 扫描开尔文探针力显微镜 接触电势差 奥氏体不锈钢 晶向
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扫描Kelvin探针力显微镜:工作原理及在材料腐蚀研究中的应用 被引量:3
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作者 宋博 陈旭 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1151-1157,共7页
扫描Kelvin探针力显微镜(SKPFM)是在原子力显微镜(AFM)的基础上应用扫描Kelvin探针(SKP)技术开发的检测表征手段,它能够在获取材料表面纳米级分辨率形貌的同时,原位得到样品表面高分辨率的接触电势差分布图,为揭示腐蚀反应机理提供了崭... 扫描Kelvin探针力显微镜(SKPFM)是在原子力显微镜(AFM)的基础上应用扫描Kelvin探针(SKP)技术开发的检测表征手段,它能够在获取材料表面纳米级分辨率形貌的同时,原位得到样品表面高分辨率的接触电势差分布图,为揭示腐蚀反应机理提供了崭新的思路,近年来发展迅速。本文介绍了SKPFM两种工作模式的基本原理,总结了SKPFM在应用中的问题,并讨论了SKPFM和传统扫描Kelvin探针技术(SKP)的优缺点,重点综述了SKPFM在腐蚀科学研究中的应用,最后展望了SKPFM的发展方向与应用前景。 展开更多
关键词 扫描Kelvin探针显微镜 原子显微镜 伏打电位差 腐蚀 工作原理
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一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针
3
作者 牟旭东 卓永模 杨甬英 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第3期47-52,共6页
论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理,并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针,它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变, 其纵向分辨率达到了0.01n... 论证了氮化硅三角形微探针可以作为一个后向点衍射板的光学原理,并根据这一原理设计了一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针,它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变, 其纵向分辨率达到了0.01nm 。 展开更多
关键词 扫描显微镜 衍射干涉 光学探针 变形测量
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一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针
4
作者 卓永模 牟旭东 杨甬英 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期53-53,共1页
一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针卓永模牟旭东杨甬英(浙江大学光科系杭州310028)本文论述一种微型干涉光探针,它可用于扫描力显微镜中探测微探针的纵向偏摆,进而精确测出样品表面三维超精细结构。论文从理论分析及实验... 一种用于扫描力显微镜的微型干涉光探针卓永模牟旭东杨甬英(浙江大学光科系杭州310028)本文论述一种微型干涉光探针,它可用于扫描力显微镜中探测微探针的纵向偏摆,进而精确测出样品表面三维超精细结构。论文从理论分析及实验研究中首次发现扫描力显微镜中的氮化... 展开更多
关键词 扫描显微镜 干涉光 干涉效应 探针 探针 微型 点衍射 信噪比 小型化和集成化 光电探测器
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利用扫描开尔文探针显微镜观察薄膜光电器件能级排布 被引量:3
5
作者 刘继翀 唐峰 +2 位作者 叶枫叶 陈琪 陈立桅 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2017年第10期1934-1943,共10页
薄膜光电器件的能级结构直接决定了载流子的产生、分离、传输、复合和收集等微观动力学过程,从而决定了器件性能。因此准确获取器件能级结构,是深入理解器件工作机制、推动器件技术革新的重要科学依据。此专论系统地介绍了本课题组利用... 薄膜光电器件的能级结构直接决定了载流子的产生、分离、传输、复合和收集等微观动力学过程,从而决定了器件性能。因此准确获取器件能级结构,是深入理解器件工作机制、推动器件技术革新的重要科学依据。此专论系统地介绍了本课题组利用扫描开尔文探针显微镜(SKPM)表征薄膜光电器件如有机太阳能电池、有机-无机钙钛矿光探测器等器件中界面能级结构的工作。垂直型薄膜器件中的活性材料层被顶电极与底电极封闭,通常难以直接在器件工况下测量其中的界面能级排布,我们发展了横截面SKPM技术来解决这一难题。研究表明,界面层是调控器件能级结构、决定器件极性、提高器件性能的重要手段。本文介绍的表征技术有望在各种薄膜光电器件,诸如光伏器件、光探测器、发光二极管,尤其是各种叠层构型器件的研究中展现出广阔的应用前景。 展开更多
关键词 扫描开尔文探针显微镜 能级排布 横截面 界面层 有机太阳能电池 有机-无机钙钛矿光探测器
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绝缘体表面电荷的开尔文探针力显微镜测量方法 被引量:3
6
作者 何月 何鹏 +2 位作者 幸代鹏 曾慧中 张万里 《电子测量技术》 2018年第12期91-95,共5页
研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探... 研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量方法,并将该方法运用于反射镜薄膜表面电荷积累特性的研究。实验结果表明针尖-样品间距直接影响开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量的准确性,当针尖-样品间距控制在100nm时,实验成功检测到反射镜在等离子环境中的表面电荷积累效应,并且实现高于100nC/cm2的电荷分辨率,这对反射镜薄膜在等离子环境下损耗增加机制的研究具有重要意义。 展开更多
关键词 开尔文探针显微镜 绝缘体材料 表面电荷测量 反射镜薄膜
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多频率开尔文探针力显微镜的设计
7
作者 何万贤 梁仲文 丁喜冬 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第11期31-36,共6页
本文研究开尔文探针力显微镜(KPFM)中多频率方法的实现。KPFM中的多频率方法同时激发微悬臂探针的第一次和第二次的本征机械振动模式并分别用于样品形貌和表面电势成像。据此,本文设计了一种基于传统比例-积分控制器基本原理的模拟式反... 本文研究开尔文探针力显微镜(KPFM)中多频率方法的实现。KPFM中的多频率方法同时激发微悬臂探针的第一次和第二次的本征机械振动模式并分别用于样品形貌和表面电势成像。据此,本文设计了一种基于传统比例-积分控制器基本原理的模拟式反馈控制器,用以实现探针的调控。测试表明,该反馈控制器带宽可达约5 k Hz,并利用该反馈控制器研制出了多频率KPFM,其电势测量灵敏度优于5 m V。利用该多频率KPFM,对注入电荷后的介电薄膜样品进行测试,一次成像即可得到样品的形貌图及局域电势的二维分布图。该多频率KPFM技术可广泛应用于电子材料与器件的电特性表征。 展开更多
关键词 开尔文探针显微镜 多频率 反馈 原子显微镜
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扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术 被引量:3
8
作者 王志勇 张鸿海 +2 位作者 鲍剑斌 郭文明 汪学方 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现... 介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描显微镜 静电显微镜 电荷存储 捕获释放技术 扫描静电显微镜 量子器件 测量技术 铁电材料 半导体 微晶振
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扫描切变力近场光学显微镜研制及应用 被引量:3
9
作者 商广义 王琛 +5 位作者 万立骏 杨德亮 白春礼 吴浚翰 雷贺宁 Troyon M 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期229-233,共5页
在发展光纤探针制备和探针与样品近场间距非光学控制等关键技术基础上 ,我们研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描切变力 /近场光学显微镜 ,并具有反射和透射等工作模式以及能在溶液环境中工作。利用这套系统 ,获得了多种样品的表面... 在发展光纤探针制备和探针与样品近场间距非光学控制等关键技术基础上 ,我们研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描切变力 /近场光学显微镜 ,并具有反射和透射等工作模式以及能在溶液环境中工作。利用这套系统 ,获得了多种样品的表面形貌和近场光学图像以及细胞内的荧光光谱。 展开更多
关键词 光学显微镜 扫描切变/近场光学显微镜 光纤探针 非光学控制 衍射效应 近场间距控制
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扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用 被引量:1
10
作者 卓永模 杨甬英 +1 位作者 牟旭东 游艺锋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期597-600,共4页
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明... 本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该扫描力显微镜具有0.01mm 的纵向分辩率、5nm 左右的横向分辨率。 展开更多
关键词 点衍射 探针 扫描显微镜
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具有宽测量范围的扫描探针显微镜 被引量:1
11
作者 张鸿海 李文菊 +1 位作者 周学夫 曹伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期138-142,共5页
本文介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜,它能对Φ130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果,如高定向石墨的原子图像与光栅和超... 本文介绍了具有宽测量范围(140×140μm2)的高灵敏度扫描探针显微镜,它能对Φ130mm的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果,如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。 展开更多
关键词 宽测量范围 扫描探针显微镜 传感器 超精密磨削 高定向石墨 扫描显微镜 电子反馈回路 隧道电流 测量原理 隧道结
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扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用 被引量:1
12
作者 卓永模 牟旭东 +1 位作者 杨甬英 游艺锋 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期6-12,共7页
本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明... 本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该扫描力显微镜具有0.01nm的纵向分辨率、5nm左右的横向分辨率。 展开更多
关键词 扫描显微镜 点衍射 探针 干涉现象
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用扫描探针显微镜测量材料表面电学和磁学特性 被引量:1
13
作者 王秀凤 《实验技术与管理》 CAS 2003年第4期13-17,共5页
扫描探针显微镜是用于测量材料表面不同性质的一类仪器.扫描探针显微镜在测量材料表面电学和磁学特性方面的测量技术发展较快.本文简要介绍了电场力显微镜、磁力显微镜的测量原理,着重对新发展的测量技术的原理及应用进行了描述.
关键词 扫描探针显微镜 电场显微镜 显微镜 测量技术 材料
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磁性拓扑绝缘体MnBi_(2)Te_(4)(Bi_(2)Te_(3))_(n)的扫描开尔文探针显微术研究 被引量:1
14
作者 米烁 郭剑锋 +2 位作者 王欢 夏天龙 程志海 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第8期584-591,共8页
本征磁性拓扑绝缘体MnBi_(2)Te_(4)(Bi_(2)Te_(3))_(n)由于具有量子反常霍尔效应等新奇物理现象备受关注,该体系材料是由MnBi2Te4(MBT层)和Bi2Te3(BT层)堆叠而成的层状范德华异质结构,因其易于实验剥离,人们对它的研究兴趣由块体材料转... 本征磁性拓扑绝缘体MnBi_(2)Te_(4)(Bi_(2)Te_(3))_(n)由于具有量子反常霍尔效应等新奇物理现象备受关注,该体系材料是由MnBi2Te4(MBT层)和Bi2Te3(BT层)堆叠而成的层状范德华异质结构,因其易于实验剥离,人们对它的研究兴趣由块体材料转向二维薄膜,发现其层厚奇偶性特征与磁性拓扑性质密切相关。目前未有研究表明如何分辨二维极限下材料表面的解理面类型,阻碍了此材料薄膜体系中新奇现象的深入研究。本文利用扫描开尔文探针显微术(SKPM),研究了MnBi_(2)Te_(4)(Bi_(2)Te_(3))_(n)体系解理面的表面电学性质,利用其表面电学性质分辨解理面类型,并进一步探究解理面在大气环境下的稳定性以及材料表面电势对磁性的影响。研究表明,BT层的表面电势高于MBT层,通过SKPM图可分辨MnBi_(2)Te_(4)中解理面类型。MnBi_(6)Te_(10)和MnBi_(8)Te_(13)中不同的BT层表面电势相等,其类型可结合SKPM像和AFM像进行分辨。此外,研究发现此体系材料在大气环境中长时间放置会导致BT层与MBT层的表面电势升高,同时BT层与MBT层间电势差减小。SKPM作为一种分辨解理面类型的手段为深入研究此体系薄层材料的磁性拓扑性质提供了帮助,也为研究其他范德华异质结构的表面电学性质提供了新方法和思路。 展开更多
关键词 磁性拓扑绝缘体 表面电势 原子显微镜 扫描开尔文探针显微镜
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手性超导体4Hb-TaS_(2)的开尔文探针力显微术研究
15
作者 张浩岩 郭剑锋 +2 位作者 米烁 李松洋 程志海 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第10期825-833,共9页
范德瓦尔斯材料是一类由数层相同或不同的共价键原子薄层通过层间微弱的范德华相互作用连接起来的新型薄层材料,其中由超导体1H-TaS_(2)和莫特绝缘体1T-TaS_(2)交替堆叠而成的4Hb-TaS_(2)因其独特的二维层状结构、优良的电子特性和特殊... 范德瓦尔斯材料是一类由数层相同或不同的共价键原子薄层通过层间微弱的范德华相互作用连接起来的新型薄层材料,其中由超导体1H-TaS_(2)和莫特绝缘体1T-TaS_(2)交替堆叠而成的4Hb-TaS_(2)因其独特的二维层状结构、优良的电子特性和特殊的层间电荷转移备受关注。目前关于如何调控这种特殊层间电荷转移的研究较少,使得4Hb-TaS_(2)的电学性质仍然有较大的研究空间。在文章中,以开尔文探针力显微术(KPFM)为表征手段,研究了4Hb-TaS_(2)的表面电势差,结合表面形貌信息可以实现对其表面解理层的分辨。通过高温退火实现了T-H转化,成功制备了4Hb-Ta1-xTixS_(2)(x=0.005),并在此基础上探究了不同元素掺杂对4Hb-TaS_(2)表面电学性质的影响。研究发现,通过掺杂不同元素,能够调控4Hb-TaS_(2)中层间电荷转移能力,影响其表面电势差的大小,Ti掺杂后4Hb-TaS_(2)的表面电势差明显增大,而Se掺杂后表面电势差减小。此外,研究发现4Hb-TaS_(2)除了T层、H层正常交替堆垛外,还存在部分堆垛层错的现象。实现层间电荷转移的可控调控对进一步探究4Hb-TaS_(2)的层间电荷转移具有一定的帮助,同时也对其他范德瓦尔斯材料的层间电荷转移和表面电学性质的研究提供了新启发。 展开更多
关键词 范德瓦尔斯材料 表面电势 开尔文探针显微镜 电荷转移
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激光扫描力显微轮廓术的研究 被引量:4
16
作者 杨甬英 卓永模 +1 位作者 徐敏 曹斌 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期314-318,共5页
本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜(SFM)。它是以一钨丝微探针作为力传感器,用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动,当样品与探针距离变化引起力梯度改变,... 本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜(SFM)。它是以一钨丝微探针作为力传感器,用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动,当样品与探针距离变化引起力梯度改变,谐频变化则振幅也随之变化。该振幅变化可由干涉光探针接收。光探针是一准共路干涉系统,可有效地抑制光程差的波动。而微探针采用谐振增强方式工作,来非接触地测试振幅变化进而得出样品表面微观轮廓。与接触模式工作的原子力显微镜相比扩大了测量范围。电子处理共模抑制系统可有效地抑制光强波动和降低系统电子噪声。对全息光栅及液晶等样品的实测结果表明仪器的横向分辨率为5um,纵向分辨率为0.1nm。 展开更多
关键词 探针 激光扫描 轮廓术 双焦透镜 探针 原子显微镜 扫描显微镜 干涉仪 表面轮廓 扫描隧道显微镜
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一种探针-样品距离的切变力控制新方法 被引量:2
17
作者 白永林 张工力 +2 位作者 任克惠 J.D.White 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第2期120-123,共4页
报道了近场扫描光学显微镜(NearfiledScanningOpticsMicroscopeNSOM)中一种基于切变力的探针样品间距控制新方法条形压电蜂鸣器片的上表面电极被沿着中心线分成两半,一半用于驱动,其... 报道了近场扫描光学显微镜(NearfiledScanningOpticsMicroscopeNSOM)中一种基于切变力的探针样品间距控制新方法条形压电蜂鸣器片的上表面电极被沿着中心线分成两半,一半用于驱动,其上施加振荡源谐振频率进行激励,另一半上粘附光纤探针,并利用压电效应作为光纤探针的振幅传感器当受振动激励的光纤探针由远处逐渐接近样品表面时,由于样品与探针之间的切变力阻尼作用使得探针的振幅减小。 展开更多
关键词 近场 扫描光学显微镜 切变 探针-样品间距
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磁力显微镜在钢铁材料磁畴分析中的应用 被引量:3
18
作者 肖新星 李健 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期367-368,共2页
关键词 显微镜 钢铁材料 扫描探针显微镜 应用 磁畴 材料表面 相互作用 测量技术
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基于微石英晶振的动态非接触静电力显微测量(EFM)技术 被引量:1
19
作者 王志勇 鲍剑斌 +1 位作者 张鸿海 郭文明 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期664-668,共5页
在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特... 在一台基于微晶振的原子力显微镜的基础上 ,通过在针式传感器前端细小针尖加入可调交流偏压 ,获得高分辨率动态非接触静电力显微镜。此装置可以分别利用微小针尖与样品间的范德华力与附加的可调静电力信号 ,同时获得样品表面微观形貌特征和表面电特性 ,如表面电荷分布。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 静电显微镜 石英晶振 传感器 微观形貌 电特性
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力调制技术在区分聚合物薄膜晶畴、非晶畴中的应用
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作者 朱国栋 李杰 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期159-163,共5页
聚合物材料多为半晶态 ,晶畴和非晶畴共存。采用扫描探针显微术的力调制技术 ,成功区分出聚合物薄膜P(VDF TrFE)中存在的弹性性质相差悬殊的两类畴 :高弹性畴和低弹性畴 ,并推测高弹性畴对应于P(VDF TrFE)的晶畴。由此可见 。
关键词 调制技术 扫描探针显微镜 聚合物薄膜 晶畴 非晶畴 Sneddon理论
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