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扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
1
作者
王新宇
李文昊
+4 位作者
王玮
刘兆武
姜珊
周文渊
巴音贺希格
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025年第2期224-236,共13页
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身结构因素引起的本征误差,提出了复杂环境下激光干涉仪本征误差的指标评价方法。建立了实际工况与经验公式相结合的死程误差和测量光程变化误差理论模型。通过构建平移和旋转算子,推导了工作台任意点旋转和平移之间的耦合关系,模拟了不同工作台姿态滚转角下的测量误差。进行了位移误差实验和光栅扫描曝光实验。实验结果表明,位移误差与理论计算结果一致,制作200 mm×200 mm光栅的衍射波前为0.278λ@632.8 nm。本文分析方法贯通了光栅衍射波前与测量误差的传递链路,为制作米级尺寸纳米精度全息光栅奠定了理论和实验基础。
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关键词
扫描干涉场曝光系统
衍射波前
工作台位移测量
双频激光
干涉
仪
误差分析
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职称材料
题名
扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
1
作者
王新宇
李文昊
王玮
刘兆武
姜珊
周文渊
巴音贺希格
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
出处
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025年第2期224-236,共13页
基金
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100)
国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
文摘
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身结构因素引起的本征误差,提出了复杂环境下激光干涉仪本征误差的指标评价方法。建立了实际工况与经验公式相结合的死程误差和测量光程变化误差理论模型。通过构建平移和旋转算子,推导了工作台任意点旋转和平移之间的耦合关系,模拟了不同工作台姿态滚转角下的测量误差。进行了位移误差实验和光栅扫描曝光实验。实验结果表明,位移误差与理论计算结果一致,制作200 mm×200 mm光栅的衍射波前为0.278λ@632.8 nm。本文分析方法贯通了光栅衍射波前与测量误差的传递链路,为制作米级尺寸纳米精度全息光栅奠定了理论和实验基础。
关键词
扫描干涉场曝光系统
衍射波前
工作台位移测量
双频激光
干涉
仪
误差分析
Keywords
scanning beam interference lithography system
diffraction wave front
table displacement meas-urement
dual-frequency laser interferometer
error analysis
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
王新宇
李文昊
王玮
刘兆武
姜珊
周文渊
巴音贺希格
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025
0
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