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晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
被引量：
1
1
作者
陈兴林
姜晓明
王程
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1258-1264,共7页
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统...
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.
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关键词
晶圆
扫描光刻系统
学习控制
扫描
时间延迟
有效学习函数
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职称材料
有限长迭代学习控制及在扫描光刻中的应用
被引量：
1
2
作者
姜晓明
陈兴林
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期80-86,共7页
提出一种有限长迭代学习控制策略,用来减小扫描光刻系统的预扫描时间。首先给出扫描光刻系统的结构和扫描轨迹,并提取系统在扫描方向的运动控制模型;其次通过闭环整定得到系统的脉冲响应系数,并基于名义系统的优化指标进行离线运算,得...
提出一种有限长迭代学习控制策略,用来减小扫描光刻系统的预扫描时间。首先给出扫描光刻系统的结构和扫描轨迹,并提取系统在扫描方向的运动控制模型;其次通过闭环整定得到系统的脉冲响应系数,并基于名义系统的优化指标进行离线运算,得到非因果迭代学习控制律的学习系数。为减小迭代学习控制律对扫描周期的依赖性,以学习矩阵的主对角线为中心,提取截短的有效学习系数,构成有限长脉冲响应学习控制律。此外还给出了有限长学习控制律的收敛性证明,并对学习控制律的鲁棒性进行了讨论。最后将上述方法应用于扫描光刻实验平台,实验结果表明:有限长迭代学习控制律可以有效地减小扫描光刻系统的预扫描时间。
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关键词
迭代学习控制
扫描光刻系统
有限长脉冲响应
收敛性
鲁棒性
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职称材料
大行程纳米级定位工作台的结构设计
被引量：
9
3
作者
陈琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1065-1071,共7页
考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带...
考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带动工作台实现沿X、Y两个方向的光栅分度与扫描运动。优化设计了摩擦驱动机构和气体静压导轨结构,并对工作台整体结构固有频率进行了有限元分析。使用自准直仪检测了导轨在X、Y方向的直线性,结果显示其两方向偏航和俯仰精度均在±0.04μm以内。使用激光干涉仪检测了导轨在X方向的定位精度和定位噪声,结果表明,对X向行程为220mm、Y向行程为300mm的工作台,其X方向的定位精度优于±5nm,定位稳定性可达±25nm。得到的结果满足扫描干涉场曝光系统工作台纳米级定位精度的要求。
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关键词
扫描
干涉
光刻
系统
高精度工作台
气体静压导轨
摩擦驱动
纳米级定位
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职称材料
题名
晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
被引量：
1
1
作者
陈兴林
姜晓明
王程
机构
哈尔滨工业大学航天学院
上海机电工程研究所
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1258-1264,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61174037)
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
文摘
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.
关键词
晶圆
扫描光刻系统
学习控制
扫描
时间延迟
有效学习函数
Keywords
wafer scan and lithography system
learning control
scanning
time delay
effective learning function
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
有限长迭代学习控制及在扫描光刻中的应用
被引量：
1
2
作者
姜晓明
陈兴林
机构
哈尔滨工业大学控制科学与工程系
出处
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期80-86,共7页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02207)
国家自然科学基金(61174037)
文摘
提出一种有限长迭代学习控制策略,用来减小扫描光刻系统的预扫描时间。首先给出扫描光刻系统的结构和扫描轨迹,并提取系统在扫描方向的运动控制模型;其次通过闭环整定得到系统的脉冲响应系数,并基于名义系统的优化指标进行离线运算,得到非因果迭代学习控制律的学习系数。为减小迭代学习控制律对扫描周期的依赖性,以学习矩阵的主对角线为中心,提取截短的有效学习系数,构成有限长脉冲响应学习控制律。此外还给出了有限长学习控制律的收敛性证明,并对学习控制律的鲁棒性进行了讨论。最后将上述方法应用于扫描光刻实验平台,实验结果表明:有限长迭代学习控制律可以有效地减小扫描光刻系统的预扫描时间。
关键词
迭代学习控制
扫描光刻系统
有限长脉冲响应
收敛性
鲁棒性
Keywords
iterative learning control
wafer scanner system
finite impulse response
convergence
ro-bustness
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
大行程纳米级定位工作台的结构设计
被引量：
9
3
作者
陈琦
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1065-1071,共7页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901)
文摘
考虑采用静态三步拼接曝光法的扫描干涉场曝光系统的性能与工作台的定位精度及稳定性相关,设计了一种大行程、高精度二维工作台以提高其定位精度。采用摩擦驱动和压电陶瓷微位移机构组合的方式构成宏、微进给机构,由闭式气体静压导轨带动工作台实现沿X、Y两个方向的光栅分度与扫描运动。优化设计了摩擦驱动机构和气体静压导轨结构,并对工作台整体结构固有频率进行了有限元分析。使用自准直仪检测了导轨在X、Y方向的直线性,结果显示其两方向偏航和俯仰精度均在±0.04μm以内。使用激光干涉仪检测了导轨在X方向的定位精度和定位噪声,结果表明,对X向行程为220mm、Y向行程为300mm的工作台,其X方向的定位精度优于±5nm,定位稳定性可达±25nm。得到的结果满足扫描干涉场曝光系统工作台纳米级定位精度的要求。
关键词
扫描
干涉
光刻
系统
高精度工作台
气体静压导轨
摩擦驱动
纳米级定位
Keywords
scanning interference lithographic system
high-precision stage
gas hydrostatic guideway
friction drive
nanometer positioning
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
陈兴林
姜晓明
王程
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
有限长迭代学习控制及在扫描光刻中的应用
姜晓明
陈兴林
《电机与控制学报》
EI
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
大行程纳米级定位工作台的结构设计
陈琦
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
9
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职称材料
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0
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