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电子显微镜的现状与展望
被引量：
55
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作者
姚骏恩
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第6期767-776,共10页
本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００...
本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００ｋＶ分析电镜，场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等，透射电镜将又一次面临新的重大突破；扫描电子显微镜方面主要有：分析扫描电镜和Ｘ射线能谱仪、Ｘ射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电镜、扫描电声显微镜、测长／缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电镜等。扫描电镜的分辨本领可望达到０．２—０．３ｎｍ并观察到原子像。
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关键词
透射
电子显微镜
扫功电子显微镜
仪器制造
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题名
电子显微镜的现状与展望
被引量：
55
1
作者
姚骏恩
机构
中国科学院北京科学仪器研制中心
中国科学院北京电子显微镜实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第6期767-776,共10页
基金
国家教委高校博士学科点专项科研基金
文摘
本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望。透射电子显微镜方面主要有：高分辨电子显微学及原子像的观察，像差校正电子显微镜，原子尺度电子全息学，表面的高分辨电子显微正面成像，超高压电子显微镜，中等电压电镜，１２０ｋＶ，１００ｋＶ分析电镜，场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等，透射电镜将又一次面临新的重大突破；扫描电子显微镜方面主要有：分析扫描电镜和Ｘ射线能谱仪、Ｘ射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电镜、扫描电声显微镜、测长／缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电镜等。扫描电镜的分辨本领可望达到０．２—０．３ｎｍ并观察到原子像。
关键词
透射
电子显微镜
扫功电子显微镜
仪器制造
Keywords
transmission electron microscope\ scanning electron microscope\ instrumentation state and prospects
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电子显微镜的现状与展望
姚骏恩
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998
55
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