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扩散硅压力传感器在水文中的应用
1
作者
刘伯林
《世界电子元器件》
1996年第9期46-47,共2页
本文仅以L18系列为例,简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体,按特定晶体面,根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件,在弹性应变元件的适...
本文仅以L18系列为例,简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体,按特定晶体面,根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置。
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关键词
水文
压力传感器
扩散硅系列
应用
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职称材料
题名
扩散硅压力传感器在水文中的应用
1
作者
刘伯林
出处
《世界电子元器件》
1996年第9期46-47,共2页
文摘
本文仅以L18系列为例,简介固态压阻传感器及其在测量水文一些要素中的应用。 各种进口扩散硅系列固态压阻传感器均以单晶硅为基体,按特定晶体面,根据不同的受力形式分别加工成杯、梁、柱、膜等形状作为弹性应变元件,在弹性应变元件的适当位置。
关键词
水文
压力传感器
扩散硅系列
应用
分类号
P33 [天文地球—水文科学]
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
扩散硅压力传感器在水文中的应用
刘伯林
《世界电子元器件》
1996
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