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基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
被引量：
6
1
作者
张亚平
朱颖峰
+1 位作者
刘湘云
何江玲
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期28-31,共4页
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和...
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系。基于扩散理论,建立起材料的放气模型。使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofradir公司提供的数据作参考,对计算公式做标定。根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R]。根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2。应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据。杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况。
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关键词
杜瓦
真空寿命
扩散放气模型
加速因子
烘烤出
气
出
气
特性
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职称材料
题名
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
被引量：
6
1
作者
张亚平
朱颖峰
刘湘云
何江玲
机构
中国兵器工业集团昆明物理研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期28-31,共4页
文摘
杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素。材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降。在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间。制定合适的排气工艺就需要了解放气率和温度、时间的函数关系。基于扩散理论,建立起材料的放气模型。使用出气模型分析杜瓦夹层材料放气特性,并借用Sofradir公司提供的数据作参考,对计算公式做标定。根据理论分析,杜瓦夹层材料的出气特性满足加速方程K=exp[(1/T1-1/T2)E/R]。根据Sofradir公司提供的数据计算得E/R=7007.72,即每提高10℃的温度,放气加速因子近似为2。应用扩散模型的分析结果,安排烘烤出气实验累积国产杜瓦产品的真空寿命数据。杜瓦置于80℃的恒定温度下持续15天的烘烤,四级质谱仪被用于分析两周内每天的气体变化情况。
关键词
杜瓦
真空寿命
扩散放气模型
加速因子
烘烤出
气
出
气
特性
Keywords
Dewar, Vacuum life, Diffuse theory model, Acceleration factor, Bake-out outgassing, Outgassing characteristic
分类号
TB7 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析
张亚平
朱颖峰
刘湘云
何江玲
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
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