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激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
1
作者 胡桢麟 王天泽 +3 位作者 何梁 林楠 冷雨欣 陈卫标 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期1834-1841,共8页
由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,... 由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,在真空中测量了不同激光峰值功率密度下1μm激光激发固体Sn靶等离子体的13.5 nm带内辐射能量、7~24 nm EUV波段和350~750 nm可见光(VIS)波段的发射光谱,计算了能量转换效率(CE)和光谱纯度(SP),分析了激光峰值功率密度对Sn等离子体EUV光谱、VIS光谱、CE和SP的影响规律。在本实验的参数范围内,CE随着激光峰值功率密度的提升先快速增大后缓慢减小,在激光峰值功率密度为5.2×10^(11)W·cm^(-2)时达到最大值2.47%。SP随激光峰值功率密度的提升而增大,在1.5×10^(12)W·cm^(-2)时达到最大值7.52%。然后,基于Sn等离子体VIS波段的时间分辨光谱,采用萨哈-玻尔兹曼图法和斯塔克展宽法计算了等离子体起爆后60~160 ns的电子温度(T_(e))和电子密度(n_(e)),研究了真空中Sn等离子体T_(e)和n_(e)随时间的演化规律,并进一步分析了T_(e)和n_(e)对EUV波段辐射和13.5 nm带内辐射的影响规律。结果表明,激光峰值功率密度的上升会导致等离子体T_(e)和n_(e)的上升,T_(e)和n_(e)的变化影响着不同电荷态离子的分布,进而导致EUV辐射谱分布的变化。在本实验的参数范围内,随着T_(e)和n_(e)增大,CE先增大后减小,而SP一直增大。过低的T_(e)会导致Sn等离子体UTA峰位未达到13.5 nm,过高的T_(e)会导致更多的驱动激光能量转化为13.5 nm以下的EUV辐射,造成CE未达到最优。以上研究结果为固体激光驱动LPP-EUV光源的工程化研发,以及我国自主开展EUV光刻、EUV计量与检测提供了研究基础与技术支持。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 发射光谱诊断 等离子体温度 电子密度
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等离子体医学研究进展 被引量：11
2
作者 卢新培 罗婧怡 +33 位作者 聂兰兰 刘大伟 张冠军 刘定新 邵涛 方志 金珊珊 赵亚军 张远涛 邹亮 王晓龙 李和平 张宇 刘东平 杨德正 陈支通 黄青 程诚 吴淑群 刘巧珏 裴学凯 闫旭 程鹤 熊青 石琦 宋珂 曹颖光 陈宏翔 冯爱平 夏育民 白帆 杨春俊 杨润功 何光源 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期3555-3579,共25页
大气压非平衡等离子体(atmospheric pressure nonequilibrium plasma,APNP)能够在产生多种活性成分的同时保持较低甚至常温的气体温度,这使得它在生物医学方面有着巨大的应用前景,因此等离子体医学成为一个备受关注的新兴研究领域。自1... 大气压非平衡等离子体(atmospheric pressure nonequilibrium plasma,APNP)能够在产生多种活性成分的同时保持较低甚至常温的气体温度,这使得它在生物医学方面有着巨大的应用前景,因此等离子体医学成为一个备受关注的新兴研究领域。自1996年第一篇等离子体医学研究论文发表以来,等离子体医学领域取得了蓬勃的发展,但也面临着一些核心科学问题亟需解决。文中对等离子体医学的研究进展进行了综述,探讨了该领域面临的核心科学问题和等离子体的生物安全性。此外,还简要介绍了等离子体医学在微生物消杀、伤口愈合、癌症治疗、经皮给药和皮肤病治疗等重要应用方面取得的成果。对于制定等离子体医学的标准和规范、建立第三方检测平台以及共享数据库和标准装置等问题,也进行了初步的讨论。最后,对等离子体医学的未来进行了展望。 展开更多
关键词 等离子体医学 大气压非平衡等离子体 低温等离子体 等离子体源 等离子体诊断 生物医学应用
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使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜 被引量：1
3
作者 殷冀平 吕少波 +1 位作者 蔺增 巴德纯 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期273-279,共7页
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊... 中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。 展开更多
关键词 电子回旋波共振等离子体 中频磁控溅射 等离子体诊断 感应耦合等离子体 氧化铌薄膜
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等离子体电子温度的发射光谱法诊断 被引量：55
4
作者 吴蓉 李燕 +3 位作者 朱顺官 冯红艳 张琳 王俊德 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期731-735,共5页
电子温度是表征等离子体性质的一个重要参数。由于等离子体放电过程非常复杂,要实时准确测定其电子温度值非常困难。发射光谱法作为一种等离子体诊断技术,因其所使用的仪器相对简单,并采用非接触测量,灵敏度高,响应速度快,可广泛地应用... 电子温度是表征等离子体性质的一个重要参数。由于等离子体放电过程非常复杂,要实时准确测定其电子温度值非常困难。发射光谱法作为一种等离子体诊断技术,因其所使用的仪器相对简单,并采用非接触测量,灵敏度高,响应速度快,可广泛地应用于各种等离子体性质的研究和参数的诊断。文章介绍了测定等离子体电子温度的双谱线法、多谱线斜率法、等电子谱线法、Saha-Boltzmann法、谱线绝对强度法等多种发射光谱法,同时综述了这些方法在等离子体电子温度诊断中的应用,旨在为实际过程中选择合适的等离子体诊断方法提供参考。 展开更多
关键词 等离子体 电子温度 发射光谱法 诊断
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大气压射流等离子体中O及OH自由基的发射光谱在线诊断 被引量：13
5
作者 刘忠伟 陈强 +3 位作者 王正铎 杨丽珍 李斌 王传月 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2461-2464,共4页
OH自由基及氧原子在大气化学、表面处理及化学污染物分解等方面有着重要的作用。利用发射光谱技术在线测量了大气压射流等离子体中OH自由基紫外波段与O自由基777,844 nm波段的发射光谱。研究了OH自由基与氧原子光谱强度随放电功率及放... OH自由基及氧原子在大气化学、表面处理及化学污染物分解等方面有着重要的作用。利用发射光谱技术在线测量了大气压射流等离子体中OH自由基紫外波段与O自由基777,844 nm波段的发射光谱。研究了OH自由基与氧原子光谱强度随放电功率及放电体系中所加入的氧浓度的变化。将实验测得的OH自由基光谱图与用Lifbase数据库模拟光谱图进行比较,估算了OH自由基的转动温度。结果表明:OH自由基的转动温度随放电功率的增加而增加,随工作气体流速的增加而减小。 展开更多
关键词 大气压等离子体 射流 自由基 发射光谱 等离子体诊断
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射频辉光放电等离子体的电探针诊断 被引量：10
6
作者 林揆训 余云鹏 +1 位作者 林璇英 王洪 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期56-64,共9页
本文简要叙述了探针诊断技术的作用，比较了单、双探针测量技术的异同，分析了当前所碰到的主要问题和各种可能的解决办法，着重报导了我们提出和制作的加热调谐单探针装置，不仅抑制了射频干扰，还克服了中毒效应对探针测量的影响。首... 本文简要叙述了探针诊断技术的作用，比较了单、双探针测量技术的异同，分析了当前所碰到的主要问题和各种可能的解决办法，着重报导了我们提出和制作的加热调谐单探针装置，不仅抑制了射频干扰，还克服了中毒效应对探针测量的影响。首次成功地测量了射频辉光放电硅烷等离子体的电子能量分布函数、电子平均能量和密度。并对测量结果进行了简要的分析。 展开更多
关键词 辉光放电 探针诊断 等离子体诊断
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大气压直流氩等离子体光谱诊断研究 被引量：36
7
作者 屠昕 陆胜勇 +4 位作者 严建华 马增益 潘新潮 岑可法 CHERON Bruno 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1785-1789,共5页
通过光谱诊断系统测量了大气压直流氩等离子体射流在弧室内和弧室出口的发射光谱,利用波尔兹曼曲线斜率法计算了射流的电子温度,根据ArⅠ谱线的斯塔克展宽得到射流的电子密度,并对氩等离子体射流满足局域热力学平衡(LTE)状态的判定标准... 通过光谱诊断系统测量了大气压直流氩等离子体射流在弧室内和弧室出口的发射光谱,利用波尔兹曼曲线斜率法计算了射流的电子温度,根据ArⅠ谱线的斯塔克展宽得到射流的电子密度,并对氩等离子体射流满足局域热力学平衡(LTE)状态的判定标准进行了分析,结果表明在文章的实验条件下大气压直流氩等离子体射流达到局域热力学平衡。 展开更多
关键词 等离子体 光谱诊断 电子温度 电子密度 斯塔克展宽 局域热力学平衡
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螺旋波激发氢等离子体光谱诊断 被引量：9
8
作者 王加扣 吴卫东 +3 位作者 孙卫国 邓红艳 程新路 唐永建 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1513-1517,共5页
利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析... 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balm er系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fu lcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。 展开更多
关键词 等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 Balmer系 Fulcher带
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高频离子源等离子体的光谱诊断 被引量：15
9
作者 唐平瀛 刘铁 +1 位作者 丁伯南 戴晶怡 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期293-296,共4页
　采用发射光谱法研究了高频离子源的等离子体性质。该离子源应用于ZF 200keV中子发生器中,是一种电感耦合型无极环形放电高频离子源。实验采用绝对定标后的光学多道分析系统测定了离子源等离子体在不同阶段氢原子巴耳末谱线系中前三条... 　采用发射光谱法研究了高频离子源的等离子体性质。该离子源应用于ZF 200keV中子发生器中,是一种电感耦合型无极环形放电高频离子源。实验采用绝对定标后的光学多道分析系统测定了离子源等离子体在不同阶段氢原子巴耳末谱线系中前三条谱线的强度,并采用部分局部热力学平衡状态的理论,计算出了相应阶段高频离子源等离子体的电子温度、氢原子浓度、氢离子浓度等参数,并进行了简要分析。 展开更多
关键词 高频离子源 光谱诊断 等离子体 发射光普
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Z-pinch内爆等离子体时空分辨诊断技术 被引量：9
10
作者 杨建伦 李正宏 +11 位作者 徐荣昆 许泽平 李林波 宁家敏 王真 章法强 蒋世伦 郭存 夏广新 宋凤军 陈进川 钟耀华 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期234-240,共7页
为了深入认识和理解Z-pinch物理机制并对物理实验进行优化设计，需要研究内爆等离子体及其辐射的时空分布特性诊断技术，建立诊断装置与设备，通过实验研究等离子体内爆时间过程及其空间分布特性，利用所获得的实验诊断数据校核数值模... 为了深入认识和理解Z-pinch物理机制并对物理实验进行优化设计，需要研究内爆等离子体及其辐射的时空分布特性诊断技术，建立诊断装置与设备，通过实验研究等离子体内爆时间过程及其空间分布特性，利用所获得的实验诊断数据校核数值模拟程序。简要介绍近几年开展的X光空间积分功率谱测量、X光时间积分针孔照相、X光时分幅针孔照相、X光时间分辨1维空同分布、紫外探针阴影照相等时空分辨诊断技术研究工作，并给出在1～3MA电流驱动装置上进行的喷气和丝阵内爆实验中获得的部分时空分辨诊断结果，包括辐射功率、拉链速度、内爆速度、收缩比等。 展开更多
关键词 Z-PINCH 等离子体诊断 时空分辨 平响应 光纤阵列 激光探针
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利用LIF法诊断微波等离子体鞘层 被引量：5
11
作者 邓新绿 吴桂林 +4 位作者 张家良 刘延伟 陆文琪 刘峰 马腾才 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期160-165,共6页
简要地阐明了利用激光诱导荧光法（ＬＩＦ）诊断等离子体特性的原理，分别对二能级情况（共振荧光）与三能级情况（非共振荧光）采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导．在此基础上。
关键词 诊断 LIF法 能量分布 微波等离子体 鞘层
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等离子体电子密度诊断的全息干涉法 被引量：10
12
作者 彭能岭 李文洪 +3 位作者 江少恩 袁晓东 唐军 刘永刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期254-256,共3页
全息干涉是诊断激光等离子体电子密度的一个有效测量方法 ,它具有高时空分辨率的特点。介绍了在“星光 ”条件下设计的紫外皮秒紫外全息干涉系统的原理 ,在研究 Abel反演算法的基础上 ,利用自行研制的基于 Windows操作系统的实验数据... 全息干涉是诊断激光等离子体电子密度的一个有效测量方法 ,它具有高时空分辨率的特点。介绍了在“星光 ”条件下设计的紫外皮秒紫外全息干涉系统的原理 ,在研究 Abel反演算法的基础上 ,利用自行研制的基于 Windows操作系统的实验数据处理软件对实验数据进行了处理和分析。 展开更多
关键词 激光探针 全息干涉 阿贝尔方程 等离子体 激光诊断 电子密度
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等离子体参数诊断及其特性研究 被引量：14
13
作者 符斯列 陈俊芳 +3 位作者 吴先球 赵文峰 樊双莉 马涛 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第2期77-81,共5页
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受... 利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游II区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96 3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用. 展开更多
关键词 等离子体参数诊断 朗缪尔探针 电子温度 离子密度 ECR-PEMOVD 微波电子回旋共振
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用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布 被引量：5
14
作者 陈宗胜 林志丹 +1 位作者 时家明 马丽芳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期646-649,共4页
电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子... 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子体源的实验测量,验证了该方法的可行性。对于电子温度变化不大的等离子体,利用本文提出的诊断方法,可以测量出其电子密度及其分布。提出的诊断方法为低温等离子体参数的实验诊断提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 等离子体 LANGMUIR探针 发射光谱 诊断
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激光产生的高温高密度等离子体诊断技术——我院在这一领域工作的进展 被引量：8
15
作者 胡仁宇 郑志坚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1990年第1期1-15,共15页
本文强调了诊断技术在激光产生的高温高密度等离子体物理研究中的作用,简介了我院在该领域中诊断技术方面做过的工作和今后的设想。
关键词 等离子体诊断 激光 高温高密度等离子体 X光转换效率 时空特性 诊断系统 诊断技术
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介质阻挡放电氢等离子体中氢原子浓度的光谱诊断 被引量：7
16
作者 王卫国 徐勇 +2 位作者 刘忠伟 朱爱民 王文春 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1589-1593,共5页
在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中,氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的基本原理,以氩气作为内标对介质阻挡放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了定量的诊断,研究了氢原子浓度... 在化学气相沉积功能材料等离子体刻蚀及表面处理等过程中,氢原子起着非常重要的作用。文章详细论述了利用发射光谱技术诊断氢原子的基本原理,以氩气作为内标对介质阻挡放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了定量的诊断,研究了氢原子浓度、氢分子解离率随气压的变化规律。发现在0.32到5.1kPa气压范围内,氢分子的解离率由5.2%下降到0.089%,相应的氢原子浓度由4.9×1015.cm-3下降到1.3×1015.cm-3。文章还研究了氢Balmer系以及氩(750.4nm)谱线的发射强度随气压、放电电压、频率等放电参数的变化规律。 展开更多
关键词 氢原子浓度 内标法 发射光谱 介质阻挡放电 等离子体诊断
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射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断 被引量：5
17
作者 刘冲 何湘 +5 位作者 张亚春 陈建平 陈玉东 曾小军 陈秉岩 朱卫华 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1007-1013,共7页
利用流体模型模拟和发射光谱实验诊断相结合的方法,研究了中等气压、中等功率下射频容性耦合等离子体的放电特性。理论上,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar气为工作气体,研究了不同气压以及不同射频输... 利用流体模型模拟和发射光谱实验诊断相结合的方法,研究了中等气压、中等功率下射频容性耦合等离子体的放电特性。理论上,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar气为工作气体,研究了不同气压以及不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。实验上,依据仿真模型设计制作了相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极,采用13.56 MHz射频放电技术电离腔体内的工作气体Ar气,测量了不同气压、不同射频输入功率时放电等离子体的发射光谱。通过分析和选择适当的ArⅠ和ArⅡ的特征谱线,分别利用玻尔兹曼斜率法以及沙哈-玻尔兹曼方程计算了等离子体的电子温度与电子密度,并结合模拟仿真结果对光谱诊断结果进行了修正。结果表明:当气体压强为300~400Pa、输入功率为600~800 W时,等离子体近似服从玻尔兹曼分布,此时利用光谱法得到的等离子体参数与仿真结果相符合。仿真模拟与光谱实验诊断相结合的方法可初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数,增加了玻尔兹曼斜率法和沙哈-玻尔兹曼方程在等离子体放电中的使用范围,扩大了光谱法在低电子密度容性耦合等离子体参数诊断的应用场合,为中等气压容性耦合等离子体在工业与军事上的应用研究提供了重要物理状态的分析手段。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断
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常压介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断及其在材料表面改性中的应用 被引量：18
18
作者 唐晓亮 冯贤平 +2 位作者 黎志光 闫永辉 邱高 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1437-1440,共4页
使用介质阻挡放电光谱诊断装置,分析了常压等离子体放电电流与放电间隙的变化关系,提出了“放电临界间隙”的概念,记录和比较了空气和氩气常压介质阻挡放电等离子体发射光谱,并运用同一元素谱线的相对强度来诊断电子温度等物理参量,以... 使用介质阻挡放电光谱诊断装置,分析了常压等离子体放电电流与放电间隙的变化关系,提出了“放电临界间隙”的概念,记录和比较了空气和氩气常压介质阻挡放电等离子体发射光谱,并运用同一元素谱线的相对强度来诊断电子温度等物理参量,以达到对材料表面改性过程的实时监控。工作的结果对常压介质阻挡放电及其在材料改性中的应用具有重要的意义。 展开更多
关键词 介质阻挡放电 材料表面改性 电子温度 变化关系 临界 相对强度 常压 诊断 等离子体发射光谱 用具
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直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断 被引量：4
19
作者 温培刚 颜悦 +6 位作者 望咏林 伍建华 张官理 张定国 陆文琪 董闯 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期79-82,共4页
与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要... 与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0eV～5eV范围内,高能电子占比例极少。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 Langmuir静电探针 等离子体 诊断
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螺旋波等离子体的密度与离子能量分布的诊断 被引量：6
20
作者 江南 王志强 +1 位作者 赵宁 李春茂 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期112-117,共6页
螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能... 螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体。这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米材料制备、材料表面改性以及气体离子激光器等方面具有广泛的应用前景。本文采用一套球栅阻滞场带通式能量分析器 ,对螺旋波等离子体在工艺室扩散区样品架表面的特性进行了一些初步的实验研究 ,主要测试了在样品附近的等离子体在其表面上所形成的离子流密度 (从而导出等离子体密度 )以及入射离子的能量分布 ,并对这些参数随射频输入功率的变化进行了研究。研究发现 ,在螺旋波等离子体的扩散区 ,离子能量分布的宽度比用离子温度预期的值大得多 。 展开更多
关键词 密度 诊断 螺旋波等离子体 离子能量分布
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