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固结磨料研磨SiC晶片亚表面损伤截面显微检测技术
被引量：
11
1
作者
张银霞
杨乐乐
+1 位作者
郜伟
苏建修
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期906-910,共5页
本文对采用截面显微检测法检测SiC晶片亚表面损伤时样品的制备、腐蚀液配方及腐蚀环境进行了系统地研究,并重点分析了固结磨料研磨SiC晶片(0001)Si面和(0001)C面亚表面损伤的深度及微裂纹构型。结果表明,采用腐蚀液配方为KOH∶K2CO3=20 ...
本文对采用截面显微检测法检测SiC晶片亚表面损伤时样品的制备、腐蚀液配方及腐蚀环境进行了系统地研究,并重点分析了固结磨料研磨SiC晶片(0001)Si面和(0001)C面亚表面损伤的深度及微裂纹构型。结果表明,采用腐蚀液配方为KOH∶K2CO3=20 g∶1 g,在420℃下腐蚀3 min时亚表面损伤观测效果较好。在研磨压力为2 psi、金刚石磨粒粒径14μm时,固结磨料研磨SiC晶片的亚表面损伤层深度约为2.6μm,亚表面微裂纹构型有垂线状、斜线状、钩状、叉状、树枝状、人字状以及横线状。在相同的加工条件下,SiC晶片的(0001)Si面和(0001)C面的损伤深度基本相同。
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关键词
SiC晶片
截面显微法
亚表面损伤
固结磨料研磨
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职称材料
基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测
被引量：
8
2
作者
白倩
马浩
殷景飞
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期1795-1803,共9页
石英玻璃在研磨过程中会不可避免地产生亚表面损伤,对石英玻璃亚表面损伤的检测一直是石英玻璃加工工艺优化中的热点。本文结合偏振激光散射法及激光散射共聚焦法,提出了基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤的无损检测方法。搭...
石英玻璃在研磨过程中会不可避免地产生亚表面损伤,对石英玻璃亚表面损伤的检测一直是石英玻璃加工工艺优化中的热点。本文结合偏振激光散射法及激光散射共聚焦法,提出了基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤的无损检测方法。搭建无损检测系统,对采用不同金刚石研磨液研磨的石英玻璃亚表面损伤进行检测,并采用横截面显微有损检测法对同一批石英玻璃检测结果进行验证。对比无损和有损检测结果,亚表面损伤深度的相对误差在5%以内,亚表面裂纹构型基本一致。结果表明,偏振激光共聚焦无损检测方法可实现研磨石英玻璃亚表面损伤的定量、非破坏检测,可为后续石英玻璃的加工工艺优化提供有效的检测手段。
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关键词
共聚焦成像
亚表面损伤
偏振激光散射
横
截面显微法
石英玻璃
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职称材料
题名
固结磨料研磨SiC晶片亚表面损伤截面显微检测技术
被引量：
11
1
作者
张银霞
杨乐乐
郜伟
苏建修
机构
郑州大学机械工程学院
河南科技学院机电学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第5期906-910,共5页
基金
国家自然科学基金(51075125)
河南省教育厅自然科学研究资助项目(13B460361)
文摘
本文对采用截面显微检测法检测SiC晶片亚表面损伤时样品的制备、腐蚀液配方及腐蚀环境进行了系统地研究,并重点分析了固结磨料研磨SiC晶片(0001)Si面和(0001)C面亚表面损伤的深度及微裂纹构型。结果表明,采用腐蚀液配方为KOH∶K2CO3=20 g∶1 g,在420℃下腐蚀3 min时亚表面损伤观测效果较好。在研磨压力为2 psi、金刚石磨粒粒径14μm时,固结磨料研磨SiC晶片的亚表面损伤层深度约为2.6μm,亚表面微裂纹构型有垂线状、斜线状、钩状、叉状、树枝状、人字状以及横线状。在相同的加工条件下,SiC晶片的(0001)Si面和(0001)C面的损伤深度基本相同。
关键词
SiC晶片
截面显微法
亚表面损伤
固结磨料研磨
Keywords
SiC wafer
cross-sectional microscopy
subsurface damage
fixed abrasives lapping
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测
被引量：
8
2
作者
白倩
马浩
殷景飞
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
南京航空航天大学机电学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期1795-1803,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.52105453,No.51575084)
中国博士后科学基金特别资助项目(No.2020TQ0149)。
文摘
石英玻璃在研磨过程中会不可避免地产生亚表面损伤,对石英玻璃亚表面损伤的检测一直是石英玻璃加工工艺优化中的热点。本文结合偏振激光散射法及激光散射共聚焦法,提出了基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤的无损检测方法。搭建无损检测系统,对采用不同金刚石研磨液研磨的石英玻璃亚表面损伤进行检测,并采用横截面显微有损检测法对同一批石英玻璃检测结果进行验证。对比无损和有损检测结果,亚表面损伤深度的相对误差在5%以内,亚表面裂纹构型基本一致。结果表明,偏振激光共聚焦无损检测方法可实现研磨石英玻璃亚表面损伤的定量、非破坏检测,可为后续石英玻璃的加工工艺优化提供有效的检测手段。
关键词
共聚焦成像
亚表面损伤
偏振激光散射
横
截面显微法
石英玻璃
Keywords
confocal imaging
subsurface damage
polarized laser scattering
cross-sectional microscopy method
quartz glass
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
固结磨料研磨SiC晶片亚表面损伤截面显微检测技术
张银霞
杨乐乐
郜伟
苏建修
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于偏振激光共聚焦的研磨石英玻璃亚表面损伤检测
白倩
马浩
殷景飞
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
8
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职称材料
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