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等离子体化学气相沉积(PCVD)硬质膜成膜理论
被引量:
5
1
作者
马胜利
徐可为
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期39-43,50,共6页
PCVD硬质膜是目前材料表面强化领域的研究热点。介绍了 PCVD硬质膜的成膜理论、特点 ,讨论了等离子体引入化学气相沉积过程中所带来的一些变化 ,给出了现阶段 PCVD成膜理论研究的现状、存在问题及发展趋势。
关键词
等离子体化学气相沉积
硬质膜
成膜理论
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职称材料
新型天然气管道内涂层的可行性探讨
2
作者
安冬云
刁凤东
+1 位作者
李进
刘冰
《石油天然气学报》
CAS
CSCD
2013年第05X期371-372,共2页
根据目前国际上流行的新型硬质薄膜材料类金刚石碳膜的成膜机理与沉积方法,探讨适合天然气管道内涂层的成膜可行性方法。通过综合分析,提出改善类金刚石碳膜作为天然气管道内涂层材料的可行性试验及应用建议。
关键词
类金刚石碳膜
成膜理论
内涂层
天然气管道
涂层保护
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职称材料
题名
等离子体化学气相沉积(PCVD)硬质膜成膜理论
被引量:
5
1
作者
马胜利
徐可为
机构
西安交通大学
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第2期39-43,50,共6页
基金
国家 8 6 3计划资助项目
文摘
PCVD硬质膜是目前材料表面强化领域的研究热点。介绍了 PCVD硬质膜的成膜理论、特点 ,讨论了等离子体引入化学气相沉积过程中所带来的一些变化 ,给出了现阶段 PCVD成膜理论研究的现状、存在问题及发展趋势。
关键词
等离子体化学气相沉积
硬质膜
成膜理论
Keywords
PCVD,thin hard coating,deposition theory
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
新型天然气管道内涂层的可行性探讨
2
作者
安冬云
刁凤东
李进
刘冰
机构
中国石油天然气管道局第四工程分公司
出处
《石油天然气学报》
CAS
CSCD
2013年第05X期371-372,共2页
文摘
根据目前国际上流行的新型硬质薄膜材料类金刚石碳膜的成膜机理与沉积方法,探讨适合天然气管道内涂层的成膜可行性方法。通过综合分析,提出改善类金刚石碳膜作为天然气管道内涂层材料的可行性试验及应用建议。
关键词
类金刚石碳膜
成膜理论
内涂层
天然气管道
涂层保护
分类号
TE988.2 [石油与天然气工程—石油机械设备]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
等离子体化学气相沉积(PCVD)硬质膜成膜理论
马胜利
徐可为
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2000
5
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职称材料
2
新型天然气管道内涂层的可行性探讨
安冬云
刁凤东
李进
刘冰
《石油天然气学报》
CAS
CSCD
2013
0
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职称材料
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