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真空电弧沉积多元膜复合靶成分离析效应的研究被引量：1: 1; 作者曾鹏胡社军 +2 位作者谢光荣黄拿灿吴起白《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期373-376,共4页; 用Ti/Mo ,Ti/W和Ti/Me(Me为Fe Cr Al合金 )复合靶采用真空电弧技术沉积了多元膜 ,并对成分离析效应及组织和性能进行了研究。结果表明 ,工作弧电流和阴极镶嵌体的弧斑平均电流对成分离析效应影响程度较大 ,Ti/Me复合靶存在一个无成分离... 展开更多; 关键词真空电弧沉积多元膜成分离析效应复合靶; 在线阅读下载PDF 职称材料

多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理机制研究被引量：12: 2; 作者张钧《真空科学与技术》 CSCD 1996年第3期174-178,共5页; 提出了一种关于多弧离子镀合金涂层成分离析效应的物理模型。利用该模型，从理论上较为圆满地解释了成分离析的影响因素及其作用机制。; 关键词多弧离子镀合金涂层成分离析; 在线阅读下载PDF 职称材料

多弧离子镀(Ti,W)_xN合金涂层组织与性能被引量：3: 3; 作者曾鹏胡社军 +2 位作者谢光荣黄拿灿吴起白《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期33-35,41,共4页; 采用 Ti/ W复合靶用多弧离子镀技术沉积了 (Ti,W) x N合金涂层 ,并对该涂层的组织与性能进行了研究。结果表明 ,涂层组织致密 ,孔隙率极低 ,主要结构为 (Ti,W) 2 N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性。在沉积过程中存在着多元合金涂层与... 展开更多; 关键词多弧离子镀 (Ti W)xN涂层组织性能成分离析气相沉积合金涂层超硬涂层; 在线阅读下载PDF 职称材料