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1A级射频感性耦合等离子体中和器电子引出特性研究
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作者 付佳豪 马隆飞 +3 位作者 贺建武 罗军 康琦 段俐 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期268-274,共7页
为解决低轨道吸气式离子电推力器的电中和问题,设计了一套抗氧化能力强、长寿命的1 A级氙工质感性耦合等离子体中和器,实验研究了发射孔径对其电子引出特性的影响。实验结果表明:发射孔径的变化,会对中和器电子引出电压、饱和电流和工... 为解决低轨道吸气式离子电推力器的电中和问题,设计了一套抗氧化能力强、长寿命的1 A级氙工质感性耦合等离子体中和器,实验研究了发射孔径对其电子引出特性的影响。实验结果表明:发射孔径的变化,会对中和器电子引出电压、饱和电流和工质利用系数产生较大的影响,且在部分孔径下发现了电子束流随引出电压上升时出现二次跃变现象,根据工质利用系数和电子引出功耗比确定出中和器最优发射孔径为1.5 mm;电子束流引出为1 A时,工质利用系数达到27.7,电子引出功耗比为94.6 W/A。同时,测试了中和器温度对工作稳定性的影响,中和器热平衡状态下与点火初期相比中和器电子引出性能下降约10%。 展开更多
关键词 离子推力器 电推进系统 中和器 感性耦合等离子体 发射孔径 电流跃变
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不同冷却剂对感性耦合等离子体性能的影响
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作者 陶鑫 梁立振 +5 位作者 王宾 钱玉忠 吴亮亮 肖金龙 孟献才 胡纯栋 《真空与低温》 2024年第3期343-348,共6页
感性耦合等离子体(ICP)源作为聚变中性束注入(NBI)加热系统的关键部件,其工作过程中会产生大量的热量,不仅会影响装置真空,还会导致等离子体阻抗发生变化,进而对射频功率馈入产生一定的影响,因此有必要对放电腔体进行冷却。设计了双层... 感性耦合等离子体(ICP)源作为聚变中性束注入(NBI)加热系统的关键部件,其工作过程中会产生大量的热量,不仅会影响装置真空,还会导致等离子体阻抗发生变化,进而对射频功率馈入产生一定的影响,因此有必要对放电腔体进行冷却。设计了双层玻璃筒放电腔体以实现对放电腔体的主动冷却,并定量研究了不同冷却剂(去离子水、纯净水、氟化液等)情况下对ICP放电的影响。实验结果表明,在双层玻璃筒中间层主动通入冷却剂能够有效避免等离子体热负荷对放电腔体真空度的影响。采用氟化液作为冷却剂时,等离子体阻抗值最低,对等离子体电子密度提升最大,较采用去离子水和纯净水最大高出约15.3%和18%。通过比较冷却剂的体积电阻率和相对介电常数发现,冷却剂的相对介电常数与等离子体电子密度和等效阻抗的变化呈现出负相关性,即在放电腔体温度不变情况下,相对介电常数越低等效阻抗也越低,等离子体密度也越高。实验结果对于感性耦合等离子体放电腔体的设计及冷却剂的选择具有指导意义。 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 冷却剂 氟化液 阻抗特性 相对介电常数
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射频感性耦合等离子体的晶圆光刻胶扫胶技术
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作者 高晓伟 师筱娜 +1 位作者 田芳 狄希远 《电子工艺技术》 2024年第2期33-36,共4页
基于电感耦合等离子体(ICP)放电原理,设计了一种射频感性耦合等离子体装置,讲解了构成该等离子体装置的各个系统功能,并以此装置为依托研究了晶圆表面光刻胶扫胶技术,分析时间、馈入功率、加热温度、工艺气体流量对AZ4620光刻胶扫胶工... 基于电感耦合等离子体(ICP)放电原理,设计了一种射频感性耦合等离子体装置,讲解了构成该等离子体装置的各个系统功能,并以此装置为依托研究了晶圆表面光刻胶扫胶技术,分析时间、馈入功率、加热温度、工艺气体流量对AZ4620光刻胶扫胶工艺的影响。试验结果表明,增大馈入功率与加热温度均可不同程度的提高扫胶速率,过大的工艺气体供给量甚至会降低扫胶速率,时间的长短不会影响扫胶速率的快慢,与扫胶厚度基本呈线性关系。扫胶后的片内均匀性均在10%以内,满足半导体芯片制备的相关工艺要求,研究结果对半导体行业晶圆光刻胶的去除提供了相应的参考依据。 展开更多
关键词 晶圆 感性耦合等离子体 光刻胶扫胶工艺 温度
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射频感性耦合等离子体中的受迫振荡研究 被引量:1
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作者 孙景超 丁振峰 《沈阳航空工业学院学报》 2009年第1期79-84,共6页
实验研究了匹配状态、放电气压对氩气射频感性耦合等离子体中受迫振荡的影响。结果表明:受迫振荡总是出现在放电的正反馈区;在高气压下(>30Pa)受迫振荡的频率较低。对于使用射频感性耦合等离子体进行薄膜沉积的参数选择给予了理论指导。
关键词 射频感性耦合等离子体 受迫振荡 模式转化
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大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟 被引量:1
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作者 赵明亮 张钰如 +2 位作者 高飞 宋远红 王友年 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期2891-2899,共9页
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形... 利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形状对各种等离子体参数的三维空间分布和均匀性的影响.研究结果表明,当放电气压较低时(4 mTorr),电子密度的空间分布比较均匀,且电子密度的最大值出现在腔室的中心区域.感性沉积功率密度、激发态氩原子密度以及电子温度的最大值出现在线圈的下方.随着放电功率的增加,即从1000 W增加到4000 W,电子密度显著提高,但电子密度的空间分布变化不大.随着放电气压的升高,电子密度的均匀性明显下降,即电子密度的最大值主要局域在线圈下方.这是因为在较高的气压下,带电粒子与背景气体的碰撞增加,因此使得带电粒子的密度分布变得局域.此外,文章还研究了不同的线圈结构对于等离子体均匀性的影响.结果表明当气压较高(20 mTorr)时,使用3×3阵列线圈产生的等离子体的均匀性优于盘香型线圈,即通过改变线圈结构可以实现对等离子体均匀性的调控.文章的研究成果有助于加深对大面积矩形感性耦合等离子体放电特性的认知,这对于优化平板显示工艺以及光伏工艺至关重要. 展开更多
关键词 大面积矩形感性耦合等离子体 三维流体力学模拟 平板显示工艺 光伏工艺
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小型感性耦合射频等离子体中和器的实验研究 被引量:10
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作者 贺建武 马隆飞 +3 位作者 薛森文 章楚 段俐 康琦 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1673-1680,共8页
为了研究适用于百瓦级电推力器的离子束流中和技术,基于电子鞘层模型、射频等离子体最优放电技术和通过插入探针实现快速点火的方法,设计了一套小型感性耦合射频等离子体中和器(RF plasma neutralizer,RPN)。实验研究了RPN中和器的稳定... 为了研究适用于百瓦级电推力器的离子束流中和技术,基于电子鞘层模型、射频等离子体最优放电技术和通过插入探针实现快速点火的方法,设计了一套小型感性耦合射频等离子体中和器(RF plasma neutralizer,RPN)。实验研究了RPN中和器的稳定工作条件和电子引出特性,实现了RPN中和器稳定工作和电子有效引出。实验结果表明:电子引出特性主要取决于发射孔附近阳极斑的形成与否,而阳极斑的形成又主要受结构设计、工质流量和偏置电压等运行条件的影响;通过对RPN运行条件的优化试验,获得了55~150m A可调电子束流范围和较高的工质利用系数(3.9~10.5),满足离子束流中和需求;另外,实验中还观察到了电子束流随工质流量或偏置电压的迟滞现象。 展开更多
关键词 感性耦合等离子体 中和器 离子推力器 空心阴极 电子源
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射频离子推力器热特性仿真分析 被引量:5
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作者 李兴达 李建鹏 +2 位作者 张兴民 张天平 龙建飞 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期707-714,共8页
为了分析射频离子推力器热特性,建立了射频离子推力器整体热模型,基于二维流体模型,对11cm射频离子推力器开展了放电室等离子体仿真,获得了电子温度、电势分布等关键参数;以等离子体仿真结果和实测束电流为输入,获得了各热源的热通量;... 为了分析射频离子推力器热特性,建立了射频离子推力器整体热模型,基于二维流体模型,对11cm射频离子推力器开展了放电室等离子体仿真,获得了电子温度、电势分布等关键参数;以等离子体仿真结果和实测束电流为输入,获得了各热源的热通量;通过有限元计算获得了关键部组件的温度分布,与实验结果进行了对比分析。研究结果显示:放电室内电子温度约为3.6eV^3.9eV,等离子体电势最高20V,发热损耗主要来自带电粒子轰击放电室壁面和栅极造成的能量沉积、激发原子的热辐射以及射频线圈自身的发热损耗,温度仿真与实测结果一致性良好,最大误差7%,仿真得到的温度分布可以作为输入参数进一步研究栅极受热形变及对束流的影响。 展开更多
关键词 电推进 感性耦合等离子体 热模型 能量沉积 温度分布
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1 mN射频离子推力器参数与性能分析 被引量:7
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作者 杨振宇 赵杨 +2 位作者 李光熙 魏建国 邓永锋 《火箭推进》 CAS 2020年第3期75-82,共8页
射频离子推力器是空间电推进的一种,其推力性能是系统设计的核心问题。为获得推力特性随设计参数的变化规律,采用数值计算方法进行了研究,开展了1 mN射频离子推力器设计计算,对不同放电室尺寸、流量、射频功率、屏栅电压下的推力性能进... 射频离子推力器是空间电推进的一种,其推力性能是系统设计的核心问题。为获得推力特性随设计参数的变化规律,采用数值计算方法进行了研究,开展了1 mN射频离子推力器设计计算,对不同放电室尺寸、流量、射频功率、屏栅电压下的推力性能进行了分析并进行了工况优化。结果表明,模型能够正确地描述射频离子推力器性能变化规律,放电室内径25 mm的推力器即可以实现1 mN推力指标,在最优工况下,推力器推力1.176 mN,比冲2503 s,效率53.13%,满足设计要求。根据该模型研制的推力器样机成功点火,验证了数值模型的有效性,可以利用该模型为射频离子推力器研制工作提供指导。 展开更多
关键词 射频离子推力器 感性耦合等离子体 数值计算模型 性能分析 电推进
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射频电子源数值仿真及实验研究 被引量:4
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作者 李兴达 张兴民 +2 位作者 李建鹏 张天平 孙新锋 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期2394-2400,共7页
射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评... 射频电子源以其结构简单、不易受污染、寿命长、瞬时启动等优点,可以作为离子和霍尔电推进的中和器,显著提升其寿命和性能。为了研究射频电子源的优化设计方法,基于放电室等离子体整体模型和非双极流动模型开展了射频电子源性能的仿真评估,并对研制的1A级电子源样机开展了实验测试。研究结果显示:仿真与实验结果一致性较好,引出电子电流与收集电压、小孔直径、工质流率、射频功率相关,各参数相互耦合且存在最优组合,样机额定工作点下,电子源放电损耗为99W/A,工质利用率系数为11。 展开更多
关键词 电推进 电子源 感性耦合等离子体 整体模型 引出电流 射频
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腔室状态对图形化蓝宝石衬底刻蚀工艺的影响 被引量:1
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作者 杨威风 汪明刚 +3 位作者 刘杰 李超波 夏洋 高福宝 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2012年第3期216-220,共5页
图形化蓝宝石衬底是近年来针对高度发光二极管的应用要求发展起来的一种新技术。通过利用自主研制的工业化感性耦合等离子体刻蚀机对图形化蓝宝石衬底的刻蚀工艺进行了研究。采用光学发射光谱仪和扫描电镜研究了PSS生产过程中腔室状态... 图形化蓝宝石衬底是近年来针对高度发光二极管的应用要求发展起来的一种新技术。通过利用自主研制的工业化感性耦合等离子体刻蚀机对图形化蓝宝石衬底的刻蚀工艺进行了研究。采用光学发射光谱仪和扫描电镜研究了PSS生产过程中腔室状态的变化对蓝宝石的刻蚀速率、选择比和图形形貌的影响。研究结果表明:随着反应腔累积放电时间的增加,刻蚀速率呈现下降趋势,选择比呈先上升然后下降的趋势。该趋势由反应腔室内表面上的沉积物所引起。 展开更多
关键词 图形化蓝宝石衬底 发光二极管 腔室状态 沉积物 感性耦合等离子体
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ICP中放电模式转化过程中悬浮电位变化的多样性 被引量:1
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作者 祖新慧 孙景超 +1 位作者 张俊 李俊龙 《沈阳航空工业学院学报》 2008年第1期74-79,共6页
研究了射频感性耦和等离子体(ICP)中悬浮电位在模式转化过程(E-H模式)的变化多样性。实验研究了射频功率在5W-1000W,气压在2Pa-50Pa的范围内,通过改变导电地面积、匹配网络、气压等参数,使用Z-Scan系统、电流电压探头以及静电探针进行... 研究了射频感性耦和等离子体(ICP)中悬浮电位在模式转化过程(E-H模式)的变化多样性。实验研究了射频功率在5W-1000W,气压在2Pa-50Pa的范围内,通过改变导电地面积、匹配网络、气压等参数,使用Z-Scan系统、电流电压探头以及静电探针进行测量的等离子体悬浮电位在模式转化过程中随功率变化的多种形式,同时给出了r型射频匹配网络的正负反馈区的区别,并对产生的多种现象进行了的理论解释。 展开更多
关键词 射频感性耦合等离子体 模式转化 反馈区
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Performance Comparison of Two Newly Developed Bimetallic(X-Mo/Al2O3, X=Fe or Co) Catalysts for Reverse Water Gas Shift Reaction
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作者 Abolfazl Gharibi Kharaji Ahmad Shariati 《China Petroleum Processing & Petrochemical Technology》 SCIE CAS 2016年第1期51-58,共8页
The performance of the two newly developed bimetallic catalysts based on the precursor, Mo/Al_2O_3, was compared for reverse water gas shift(RWGS) reaction. The structures of the precursor and the catalysts were studi... The performance of the two newly developed bimetallic catalysts based on the precursor, Mo/Al_2O_3, was compared for reverse water gas shift(RWGS) reaction. The structures of the precursor and the catalysts were studied using X-ray diffraction(XRD), Brunauer–Emmett–Teller(BET) analysis, inductively coupled plasma-atomic emission spectrometry(ICP-AES), CO chemisorption, temperature programmed reduction of hydrogen(H_2-TPR) and scanning electron microscopy(SEM) techniques. The activity of Fe-Mo and Co-Mo catalysts was compared in a fixed bed reactor at different temperatures. It is shown that the Co-Mo catalyst has higher CO_2 conversion at all temperature level. The time-on-stream(TOS) analysis of the activity of catalysts for the RWGS reaction was carried out over a continuous period of 60h for both catalysts. The Fe-Mo/Al_2O_3 catalyst exhibits good stability within a period of 60h, however, the Co-Mo/Al_2O_3 is gradually deactivated after 50h of reaction time. Existence of(Fe_2(MoO4_))_3 phase in Fe-Mo/Al_2O_3 catalyst makes this catalyst more stable for RWGS reaction. 展开更多
关键词 RWGS reaction bimetallic catalysts activity stability
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