期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
感应耦合等离子体增强磁控溅射法制备MoO_(3)高透亲水光学薄膜
1
作者 彭井泉 郑学军 +6 位作者 冯春阳 李方 黄乐 陈立 左滨槐 陈丽娟 贺楚才 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期11118-11125,共8页
将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌... 将磁控溅射和感应耦合相结合形成感应耦合等离子体增强磁控溅射技术(ICPMS),制备了MoO_(3)高透亲水光学薄膜。使用分光光度计、水接触角测试仪、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和X射线能谱仪,分别表征薄膜的光学性能、润湿性能、显微形貌、晶体结构和化学成分。通过正交实验法,以MoO_(3)薄膜的氧钼比、光学透过率、水接触角为指标,探究了感应耦合等离子体(ICP)氧氩比、ICP功率、靶位工作压强和ICP前处理时间工艺参数对MoO_(3)薄膜性能的影响。结果表明:氧氩比是影响性能的主要参数,其次是工作压强,影响最小参数是ICP功率。最优工艺参数是氧氩比400/300、靶位工作压强为0.15 Pa、功率为1500 W、前处理时间为18 min。研究为高透亲水光学薄膜应用,提供具体实验设计和工艺方法指导。 展开更多
关键词 正交实验 感应耦合等离子体增强磁控溅射法 MoO_(3)薄膜 透过率 接触角
在线阅读 下载PDF
使用电子回旋波共振等离子体源辅助中频磁控溅射沉积氧化铌薄膜 被引量：1
2
作者 殷冀平 吕少波 +1 位作者 蔺增 巴德纯 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期273-279,共7页
中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊... 中频磁控溅射虽相较于电子束蒸发成膜质量更好,但不可避免仍然存在一部分颗粒物,将严重影响光学薄膜的质量和光学特性。研究了使用电子回旋波共振(ECWR)等离子体源作为辅助设备与中频磁控溅射相配合沉积的氧化铌薄膜,进行了等离子体诊断和薄膜表征。结果表明:在相同条件下,ECWR等离子体放电的氧化效果明显优于传统的感应耦合等离子体放电。ECWR等离子体源能够在较低压强的纯氧环境下稳定产生高密度等离子体,无须通过氩气作“引子”来激发维持氧气的稳定放电,展示了电子回旋波共振放电结构的优越性。沉积得到的非晶氧化铌薄膜光滑均匀且透射率达91%,能有效消除中频磁控溅射产生的颗粒物问题。通过透射率波峰位置对比发现纯氧ECWR放电样片出现红移,原因是其放电得到的薄膜均匀而致密,使光学禁带宽度向低能方向漂移出现带隙窄化。研究结果还揭示了离子源高密度、低能量特性与薄膜表面和光学特性之间的关系,为精密光学薄膜应用提供了新的解决方案。 展开更多
关键词 电子回旋波共振等离子体 中频磁控溅射 等离子体诊断 感应耦合等离子体 氧化铌薄膜
在线阅读 下载PDF
感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶异常变性的改善 被引量：6
3
作者 徐纯洁 张福刚 +6 位作者 崔立加 张雪峰 徐浩 刘日久 李根范 王世凯 郑载润 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期265-268,共4页
通过不同感应耦合等离子体刻蚀条件下进行的玻璃基板发生光刻胶变性的位置,研究光刻胶变性与下部电极结构的相关性。研究结果表明:下部电极的Dam区对玻璃基板的冷却效果较差,导致该区域的玻璃基板上光刻胶容易产生变性。经过对下部电极... 通过不同感应耦合等离子体刻蚀条件下进行的玻璃基板发生光刻胶变性的位置,研究光刻胶变性与下部电极结构的相关性。研究结果表明:下部电极的Dam区对玻璃基板的冷却效果较差,导致该区域的玻璃基板上光刻胶容易产生变性。经过对下部电极Dam区的改造可以有效增大玻璃基板的冷却范围,改善光刻胶变性残留问题。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 干法刻蚀 下部电极 光刻胶 湿法去胶
在线阅读 下载PDF
直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究 被引量：2
4
作者 樊双莉 陈俊芳 +5 位作者 吴先球 赵文锋 孙辉 符斯列 向鹏飞 蒙高庆 《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2004年第4期65-69,共5页
采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试... 采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试了直管式反应室中的等离子体参数,得到离子密度Ni在反应室内轴向以及径向位置的变化规律,弄清了离子密度Ni分布比较均匀的区域,分析了离子密度Ni分布的均匀性对等离子体干法刻蚀和薄膜制备的影响和意义. 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 氮化硅薄膜 离子密度 直管 薄膜制备 化学气相沉积法 等离子体参数 反应室 并用 增强
在线阅读 下载PDF
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定Ti3Al基合金中钒、铬、锰、铁、铜、镍和锆的含量 被引量：7
5
作者 高颂 庞晓辉 王桂军 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期716-718,共3页
Ti3Al基合金是一种能在600℃~700℃之间使用的轻质结构材料,特别是通过添加铌等元素使合金的室温塑性和韧性有了较大的提高[1-2]。Ti3Al基合金的主要应用方向为低压涡轮导叶内环和高压压气机机匣等,这些合金的板材有可能在高超声速飞行... Ti3Al基合金是一种能在600℃~700℃之间使用的轻质结构材料,特别是通过添加铌等元素使合金的室温塑性和韧性有了较大的提高[1-2]。Ti3Al基合金的主要应用方向为低压涡轮导叶内环和高压压气机机匣等,这些合金的板材有可能在高超声速飞行器上使用,并用作碳化硅纤维增强复合材料的基体材料。通过优化合金成分设计、添加各种主量和微量元素合金化并控制合金中的杂质含量,可使Ti3Al基合金的性能大幅提高, 展开更多
关键词 TI3AL基合金 电感耦合等离子体原子发射光谱法 纤维增强复合材料 高超声速飞行器 测定 微量元素 压气机机匣 结构材料
在线阅读 下载PDF
干扰系数校正-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定镍基高温合金中磷 被引量：8
6
作者 张亮亮 吴锐红 《理化检验（化学分册）》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期543-546,共4页
镍基高温合金在高温合金中的占比高达40%,主要应用于航空发动机叶片、涡轮盘、燃烧室等[1]。镍基高温合金成分复杂,其中磷为杂质掺入,通常磷会降低合金的塑韧性[2],但也可作为有益掺入,增强材料的强度、硬度和持久性能[2-4]。目前,测定... 镍基高温合金在高温合金中的占比高达40%,主要应用于航空发动机叶片、涡轮盘、燃烧室等[1]。镍基高温合金成分复杂,其中磷为杂质掺入,通常磷会降低合金的塑韧性[2],但也可作为有益掺入,增强材料的强度、硬度和持久性能[2-4]。目前,测定钢及合金中磷的方法主要有电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES)[2,5-8]、分光光度法[9]和质谱法[10]等。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体原子发射光谱法 分光光度法 镍基高温合金 质谱法 干扰系数校正 增强材料 塑韧性 涡轮盘
在线阅读 下载PDF
电镀液中铑含量的不同分析方法 被引量：4
7
作者 肖耀坤 张峰 +3 位作者 刘振华 陈宗璋 王旭辉 余刚 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期66-70,共5页
对标准浓度的铑溶液进行了重量法、等离子发射光谱法(ICP)、火焰原子吸收光谱法(FAAS)、改进后的FAAS(引入一个校正因子,对FAAS测定方法进行了优化、校正)等不同方法的测定,比较了不同测定方法的精密度和准确度.结果表明对于杂质少的铑... 对标准浓度的铑溶液进行了重量法、等离子发射光谱法(ICP)、火焰原子吸收光谱法(FAAS)、改进后的FAAS(引入一个校正因子,对FAAS测定方法进行了优化、校正)等不同方法的测定,比较了不同测定方法的精密度和准确度.结果表明对于杂质少的铑电镀液,宜采用重量法测定,其测定偏差在4%以内,而硼氢化钠作为还原剂的重量法的测定偏差可控制在0.2%以内;对于杂质多的铑电镀液,用ICP和改进的FAAS法均能获得满意结果,相对偏差都小于1%. 展开更多
关键词 铑 重量法 光谱分析 火焰原子吸收光谱法(FAAS) 感应耦合等离子体(ICP—AES)
在线阅读 下载PDF
LiF对镁铝尖晶石透明陶瓷红外透过率的影响 被引量：6
8
作者 李法荟 林红 +3 位作者 李俊峰 雷牧云 李祯 李建保 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期417-421,共5页
以溶胶-凝胶法制备镁铝尖晶石（以下简称＂尖晶石＂）粉末,掺入0~2.5wt%的LiF,经球磨后,测试混合粉末的物相组成.采用热压（HP;32 MPa/1550℃）及热压结合热等静压（HP/HIP;热等静压工艺条件为150 MPa/1700℃）工艺制备出尖晶石透明陶瓷... 以溶胶-凝胶法制备镁铝尖晶石（以下简称＂尖晶石＂）粉末,掺入0~2.5wt%的LiF,经球磨后,测试混合粉末的物相组成.采用热压（HP;32 MPa/1550℃）及热压结合热等静压（HP/HIP;热等静压工艺条件为150 MPa/1700℃）工艺制备出尖晶石透明陶瓷.分析测试了掺入不同LiF的尖晶石陶瓷的结构和红外透过率,采用感应耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma,或ICP）方法测定了LiF掺杂后的粉料和透明陶瓷中的Li离子含量.实验显示,LiF的加入促进了尖晶石晶粒长大和气孔的排除,并促进了尖晶石陶瓷烧结的致密化进程.添加1.0wt%~1.5wt%LiF的尖晶石透明陶瓷具有最高的红外透过率.LiF在尖晶石陶瓷中形成残余物质,添加过量的LiF对尖晶石陶瓷的光学性能会产生不利影响. 展开更多
关键词 透明陶瓷 镁铝尖晶石 LIF 红外透过率 感应耦合等离子体法
在线阅读 下载PDF
ICP-MS测量超痕量钚时质谱干扰的消除及水中钚的测定 被引量：13
9
作者 金玉仁 李梅 +3 位作者 李琳 高晋峰 倪惠云 周国庆 《核化学与放射化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期6-10,共5页
研究了感应耦合等离子体质谱(ICP MS)测定超痕量钚时的质谱干扰及干扰元素的去除;建立了环境水样中超痕量钚的测定方法。方法所用的解吸液适于ICP MS直接进样,并有效地消除铅等元素形成的多原子离子干扰。测量了溶液中的m/z238和2%HNO3... 研究了感应耦合等离子体质谱(ICP MS)测定超痕量钚时的质谱干扰及干扰元素的去除;建立了环境水样中超痕量钚的测定方法。方法所用的解吸液适于ICP MS直接进样,并有效地消除铅等元素形成的多原子离子干扰。测量了溶液中的m/z238和2%HNO3空白液中的239Pu和242Pu计数率,对测量结果进行校正。方法的本底为20fg,方法对239Pu的检出限为43fg,测定限为88fg。所分析的水样中,井水中的239Pu含量低于检出限,地表水中239Pu的含量高于检出限,湖水和河水中的239Pu高于测定限,但属于全球沉降引起的本底,不会对公众造成辐射危害。 展开更多
关键词 钚 超痕量分析 质谱干扰 消除 环境水样 含量测定 ICP-MS 感应耦合等离子体质谱 放射性元素 环境监测 阴离子交换法 同位素稀释法
在线阅读 下载PDF
1.3μm应变补偿多量子阱SLD台面制作工艺的研究
10
作者 唐道远 李晓良 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期543-545,共3页
台面制作工艺对1.3μm应变补偿多量子阱SLD的器件性能有重要的影响。根据外延结构,分析比较了两种台面制作的方法,即选择性湿法腐蚀法和ICP刻蚀+湿法腐蚀法。InGaAs层ICP刻蚀避免了湿法腐蚀中的侧向钻蚀现象,Cl2含量为30%时速率可达到42... 台面制作工艺对1.3μm应变补偿多量子阱SLD的器件性能有重要的影响。根据外延结构,分析比较了两种台面制作的方法,即选择性湿法腐蚀法和ICP刻蚀+湿法腐蚀法。InGaAs层ICP刻蚀避免了湿法腐蚀中的侧向钻蚀现象,Cl2含量为30%时速率可达到420nm/min;湿法腐蚀可有效减小ICP刻蚀引入的晶格损伤。SEM图像表明,ICP刻蚀+湿法腐蚀的台面制作方法,得到的腐蚀台面陡直,波导宽度与设计值更接近,优于选择性湿法腐蚀方法,更适合SLD台面制作。 展开更多
关键词 应变补偿多量子阱 超辐射发光管 台面 湿法腐蚀 感应耦合等离子体
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部