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电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
被引量：
1
1
作者
陈宇晓
刘昌孝
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003年第1期29-33,共5页
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理 ,详细分析并建立了在空间任一给定加速度 a下加速度计的静态、动态和电模拟模型 ,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度 ,由此建立各方向上的运动方程 ,并...
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理 ,详细分析并建立了在空间任一给定加速度 a下加速度计的静态、动态和电模拟模型 ,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度 ,由此建立各方向上的运动方程 ,并给出各参数的计算公式 ,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础。
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关键词
微机械加速度计
经典力学模型
动态模型
电模拟模型
微机电系统
结构
工作原理
惯性敏感单元
伺服电子线路
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职称材料
题名
电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
被引量：
1
1
作者
陈宇晓
刘昌孝
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
电子科技大学
出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003年第1期29-33,共5页
基金
国防科技重点预研项目基金资助课题 ( 5 .3 .9)
文摘
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理 ,详细分析并建立了在空间任一给定加速度 a下加速度计的静态、动态和电模拟模型 ,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度 ,由此建立各方向上的运动方程 ,并给出各参数的计算公式 ,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础。
关键词
微机械加速度计
经典力学模型
动态模型
电模拟模型
微机电系统
结构
工作原理
惯性敏感单元
伺服电子线路
Keywords
micromachined accelerometer
model
equation
parameter
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
陈宇晓
刘昌孝
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003
1
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