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用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片
1
作者
冀苗苗
张斌珍
段俊萍
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第8期778-786,共9页
基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片。通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同...
基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片。通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同粒径粒子的对称式小CE-ratio微通道。采用MEMS工艺加工,通过改进键合工艺使芯片能在高流速下保持性能稳定。在雷诺数为68的前提下对聚焦测试图进行归一化灰度值分析。测试结果表明:通道内粒子聚焦流线(粒径5μm和20μm)处灰度值比其他位置灰度值高3倍,且通道内其他位置的归一化灰度值较稳定地保持在0.2(粒径20μm)和0.25(粒径5μm)左右。在高流速工作情况下,对称式小CE-ratio微流体芯片性能稳定且粒子聚焦效果良好。
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关键词
微
电子机械系统(MEMS)
微
流体
芯片
惯性微流体技术
微
通道
粒子聚焦
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职称材料
题名
用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片
1
作者
冀苗苗
张斌珍
段俊萍
机构
中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第8期778-786,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(5217555)
国家自然科学基金创新群体资助项目(51821003)
+3 种基金
山西省重点研发项目(国际合作)(201803D421043)
山西省“1331工程”重点学科建设资助项目
山西省基础研究计划资助项目(20210302123074)
山西省高等学校中青年拔尖创新人才资助项目。
文摘
基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片。通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同粒径粒子的对称式小CE-ratio微通道。采用MEMS工艺加工,通过改进键合工艺使芯片能在高流速下保持性能稳定。在雷诺数为68的前提下对聚焦测试图进行归一化灰度值分析。测试结果表明:通道内粒子聚焦流线(粒径5μm和20μm)处灰度值比其他位置灰度值高3倍,且通道内其他位置的归一化灰度值较稳定地保持在0.2(粒径20μm)和0.25(粒径5μm)左右。在高流速工作情况下,对称式小CE-ratio微流体芯片性能稳定且粒子聚焦效果良好。
关键词
微
电子机械系统(MEMS)
微
流体
芯片
惯性微流体技术
微
通道
粒子聚焦
Keywords
micro-electromechanical system(MEMS)
microfluidic chip
inertial microfluidic technology
microchannel
particle focusing
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
O35 [理学—流体力学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片
冀苗苗
张斌珍
段俊萍
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022
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