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题名基于悬浮薄膜堆叠式结构的微气体传感器设计
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作者
朱思敏
谭秋林
裴向东
熊继军
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第11期94-96,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51275491)
山西省自然科学基金资助项目(2012021013-4)
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文摘
本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能。该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构,堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜。这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响。利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低。
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关键词
微气体传感器
悬浮薄膜堆叠式
ANSYS
结构设计
温度仿真
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Keywords
micro gas sensor
suspended-membrance stacking-type
ANSYS
structure design
temperature simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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