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CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感
被引量：
7
1
作者
卢冲赢
徐立新
+2 位作者
李建华
付博
欧修龙
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期634-639,共6页
利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因...
利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因素,显著提高了片上螺旋电感Q值.采用电磁场有限元分析软件HFSS对该电感模型进行了仿真研究,完成了悬浮片上螺旋电感的制备并进行了测量.测量结果表明：所设计的CMOS兼容MEMS悬浮片上螺旋电感Q值在1～7.6GHz测量频段均大于20,在7.4 GHz频段最大值达到了38.
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关键词
兵器科学与技术
微机电系统
CMOS兼容工艺
悬浮片上螺旋电感
Q值
无线电引信
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职称材料
题名
CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感
被引量：
7
1
作者
卢冲赢
徐立新
李建华
付博
欧修龙
机构
北京理工大学机电动态控制重点实验室
淮海工业集团有限公司
出处
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期634-639,共6页
文摘
利用微机电系统（MEMS）表面微加工技术设计并制作了一种应用于无线电引信射频前端的CMOS兼容高Q值悬浮片上螺旋电感.电感的制作工艺在热预算和材料选择上均具有良好的CMOS兼容特性.通过采用铜金属悬浮线圈结构减小了片上螺旋电感损耗因素,显著提高了片上螺旋电感Q值.采用电磁场有限元分析软件HFSS对该电感模型进行了仿真研究,完成了悬浮片上螺旋电感的制备并进行了测量.测量结果表明：所设计的CMOS兼容MEMS悬浮片上螺旋电感Q值在1～7.6GHz测量频段均大于20,在7.4 GHz频段最大值达到了38.
关键词
兵器科学与技术
微机电系统
CMOS兼容工艺
悬浮片上螺旋电感
Q值
无线电引信
Keywords
ordnance science and technology
micro-electro-mechanical system
COMS-compatible process
suspended on-chip spiral inductor
Q-factor
radio fuze
分类号
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
CMOS兼容高Q值微机电系统悬浮片上螺旋电感
卢冲赢
徐立新
李建华
付博
欧修龙
《兵工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
7
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