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题名多层介质高反射膜的散射特性研究
被引量：3
- 1
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作者
潘永强
吴振森
杭凌侠
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机构
西安电子科技大学理学院
西安工业大学光电工程学院
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期12-16,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60771038)
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文摘
为了研究多层介质高反射薄膜的散射特性减小光学薄膜的散射损耗,以多层光学薄膜矢量光散射理论为基础,利用光学薄膜的总散射损耗与光学薄膜双向反射分布函数的关系,研究了多层介质高反射薄膜分别在膜层界面粗糙度为完全相关和完全非相关模型下入射角和偏振状态对总散射损耗的影响,以及入射波长对总散射损耗的影响。理论研究结果表明,随着入射角的变化p偏振入射光引起的p偏振的总散射损耗强烈依赖于膜层界面粗糙度的相关特性,尤其是在布儒斯特角附近更为明显;此外,通过对介质高反射膜在两种不同模型下的总散射损耗随入射波长的变化与其反射率谱的比较发现,完全相关模型下的总散射损耗与反射率谱的变化趋势一致,完全非相关模型则恰好反之。
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关键词
高反射膜
矢量光散射
总散射损耗
偏振
薄膜
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Keywords
high-reflection films
vector light scattering
total scattering losses
polarization
film
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名光学表面粒子污染物散射的单层薄膜调控特性
被引量：3
- 2
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作者
杨伟荣
潘永强
郑志奇
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2021年第12期455-461,共7页
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基金
陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS054)
陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031)。
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文摘
为了降低超精密低损耗光学元件表面粒子污染物的光散射损耗,文中提出通过在光学表面沉积单层薄膜来调控表面场强分布,从而降低散射损耗的方法。理论分析了K9玻璃超光滑光学表面不同厚度单层二氧化硅(SiO_(2))和单层二氧化钛(TiO_(2))薄膜表面上方半径为100 nm粒子污染物所在处的电场强度,理论分析结果发现,当SiO_(2)薄膜厚度为137.4 nm,TiO_(2)薄膜厚度为12.3 nm时,表面粒子污染物所在处的电场强度最小。在此基础上分别计算了光学元件表面沉积厚度为137.4 nm的单层SiO_(2)薄膜以及厚度为12.3 nm的单层TiO_(2)薄膜,表面粒子污染物的总散射损耗(S)和双向反射分布函数(BRDF),计算结果表明,在波长为632.8 nm的光垂直入射时,单层SiO_(2)薄膜和单层TiO_(2)薄膜可有效降低其表面粒子的BRDF,且可将K9玻璃表面的总散射分别降低12.40%和25.04%。实验验证了单层SiO_(2)薄膜对于表面粒子污染物散射降低的有效性。
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关键词
光学薄膜
光散射
双向反射分布函数(BRDF)
总散射损耗
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Keywords
optical thin film
light scattering
bidirectional reflection distribution function(BRDF)
total scattering loss
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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