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铅基(Pb,La)(Zr,Ti)O_3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
1
作者
安坤
陈东红
+3 位作者
何剑
丑修建
薛晨阳
张文栋
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第19期19060-19064,共5页
采用金属醇盐为前驱体的溶胶-凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备。基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜微悬臂...
采用金属醇盐为前驱体的溶胶-凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备。基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜微悬臂梁构件。3种激励模式的测试结果表明,定频模式下梁的最大位移和速率相对于扫频模式下高出数倍,且定频模式(Square)更有利于激发反铁电材料相变,使得微悬臂梁驱动构件产生更大的应变和更快的响应速度,为大行程驱动位移和快速响应新型微执行构件的设计提供一种新的技术途径。
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关键词
反铁电厚膜
微
悬臂梁
微驱动构件
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职称材料
题名
铅基(Pb,La)(Zr,Ti)O_3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
1
作者
安坤
陈东红
何剑
丑修建
薛晨阳
张文栋
机构
中北大学电子测试技术国防重点实验室
中北大学计算机与控制工程学院
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第19期19060-19064,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61401406
51175483
+1 种基金
51422510)
中国教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET)
文摘
采用金属醇盐为前驱体的溶胶-凝胶工艺,实现了PLZT反铁电厚膜晶圆级的制备。基于铅锆反铁电材料的相变应变效应和快速响应特性,结合微纳兼容制造关键技术,研制出具有大应变、快响应、低驱动特性的硅基(Pb,La)(Zr,Ti)O3反铁电厚膜微悬臂梁构件。3种激励模式的测试结果表明,定频模式下梁的最大位移和速率相对于扫频模式下高出数倍,且定频模式(Square)更有利于激发反铁电材料相变,使得微悬臂梁驱动构件产生更大的应变和更快的响应速度,为大行程驱动位移和快速响应新型微执行构件的设计提供一种新的技术途径。
关键词
反铁电厚膜
微
悬臂梁
微驱动构件
Keywords
anti-ferroelectric thick films
micro-cantilevers
micro-actuators
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
铅基(Pb,La)(Zr,Ti)O_3反铁电厚膜微驱动结构的特性测试
安坤
陈东红
何剑
丑修建
薛晨阳
张文栋
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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