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题名多束电子源设计与实验
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作者
赵伟霞
白凌超
张利新
刘俊标
殷伯华
韩立
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机构
中国科学院电工研究所微纳加工技术与智能电气设备研究部
中国科学院大学电子电气与通信工程学院
北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院
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出处
《光学精密工程》
北大核心
2025年第5期741-750,共10页
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基金
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.PTYQ2024BJ0004)。
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文摘
为了提高扫描电子显微镜等单电子束设备的通量,开发了基于肖特基阴极的多束电子源系统,研究了准直透镜、分束板及微阵列静电透镜的设计方法与制备工艺。根据肖特基阴极发射特性进行了静电准直透镜的设计,仿真计算了准直束的电子光学性能。基于MEMS加工工艺实现了3×3和10×10多孔阵列分束板的制备,开发了多孔多层器件装配系统并实现了微阵列静电透镜的高精度装配;搭建了多束电子源测试平台并进行了多束电子源的准直、分束与聚焦性能验证。结果表明:多束电子源的准直束范围为600μm,准直范围内的束流密度为4.11 A/m^(2)、均匀度为6.06%;实现了3×3分束且大小可调,聚焦后的子束束斑直径均值为5.32μm,束斑直径均匀度为5.91%,束流强度均匀度为4.36%,间距均匀度为3.06%,满足多电子束设备的设计要求。
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关键词
电子光学
多束电子源
肖特基发射
准直透镜
微阵列单电位透镜
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Keywords
electron optics
multi-beam electron source
Schottky emission
collimator lenses
micro-ar⁃rayed einzel lens
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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