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微圆弧金刚石刀具修磨技术研究
被引量：
1
1
作者
夏志辉
贾鲁
+1 位作者
张晓峰
楚翀
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第3期69-73,共5页
微圆弧金刚石刀具是超精密加工中的重要应用工具,基于机械研磨法开展微圆弧金刚石刀具修磨技术研究。通过分析微圆弧金刚石刀具制备技术现状和制备难点,设计一种微圆弧金刚石刀具的修磨技术路线。通过修磨实验解决难磨、易磨方向定位,...
微圆弧金刚石刀具是超精密加工中的重要应用工具,基于机械研磨法开展微圆弧金刚石刀具修磨技术研究。通过分析微圆弧金刚石刀具制备技术现状和制备难点,设计一种微圆弧金刚石刀具的修磨技术路线。通过修磨实验解决难磨、易磨方向定位,刀尖容易崩刃及精修刀尖圆弧等技术难点,制备刀尖半径R8.2μm的微圆弧金刚石刀具。利用原子力显微镜和高倍光学显微镜进行观测,结果表明:前刀面粗糙度R_a=1.50nm,刀尖轮廓波纹度优于0.1μm,与进口高精度刀具指标相当。将其应用在微结构的超精密切削中,取得良好效果。
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关键词
超精密加工
微
圆弧
金刚石
刀具
修磨
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职称材料
单晶锗微结构的超声振动辅助微切削加工
被引量：
2
2
作者
陈俊云
张洁
靳田野
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期69-75,共7页
为解决单晶锗微结构元件超精密金刚石切削加工的技术难题,提出采用超声振动辅助切削技术提高单晶锗的临界未变形切屑厚度,并推导了微结构切削中切屑厚度的理论计算公式.进行微圆弧金刚石刀具的振动辅助微切削实验,研究临界未变形切屑厚...
为解决单晶锗微结构元件超精密金刚石切削加工的技术难题,提出采用超声振动辅助切削技术提高单晶锗的临界未变形切屑厚度,并推导了微结构切削中切屑厚度的理论计算公式.进行微圆弧金刚石刀具的振动辅助微切削实验,研究临界未变形切屑厚度随振幅的变化规律,分析微槽表面加工质量和切屑形貌等.分析4.5μm和10.0μm深的十字槽、矩形凸台等微结构的加工质量,针对微槽边缘的加工损伤问题,采用"切深递减"同时结合横向进给的工艺方法.实验结果表明:微槽切削中切削深度的理论计算值存在较大的误差,应选用直接测量法;振动辅助切削的临界未变形切屑厚度随着振幅的增加而增大,最高达到了704 nm,是普通切削深度的5.2倍.与普通切削相比,振动辅助加工可以在一定程度上降低微槽表面粗糙度.采用振动辅助微切削技术能够在大切深条件下加工出具有较高表面质量和轮廓精度的微结构,能够有效解决微槽侧面加工损伤问题,微槽表面粗糙度R_a值低至3.09 nm.
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关键词
单晶锗
振动辅助切削
临界未变形切屑厚度
微
结构
微金刚石刀具
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职称材料
题名
微圆弧金刚石刀具修磨技术研究
被引量：
1
1
作者
夏志辉
贾鲁
张晓峰
楚翀
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017年第3期69-73,共5页
基金
科学挑战专题资助(编号:JCKY2016212A506–0107)
文摘
微圆弧金刚石刀具是超精密加工中的重要应用工具,基于机械研磨法开展微圆弧金刚石刀具修磨技术研究。通过分析微圆弧金刚石刀具制备技术现状和制备难点,设计一种微圆弧金刚石刀具的修磨技术路线。通过修磨实验解决难磨、易磨方向定位,刀尖容易崩刃及精修刀尖圆弧等技术难点,制备刀尖半径R8.2μm的微圆弧金刚石刀具。利用原子力显微镜和高倍光学显微镜进行观测,结果表明:前刀面粗糙度R_a=1.50nm,刀尖轮廓波纹度优于0.1μm,与进口高精度刀具指标相当。将其应用在微结构的超精密切削中,取得良好效果。
关键词
超精密加工
微
圆弧
金刚石
刀具
修磨
Keywords
ultra-precision machining
microarc diamond tool
dressing and truing
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
单晶锗微结构的超声振动辅助微切削加工
被引量：
2
2
作者
陈俊云
张洁
靳田野
机构
燕山大学车辆与能源学院
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第1期69-75,共7页
基金
国家自然科学基金(51775482)
河北省自然科学基金(E2016203372)
文摘
为解决单晶锗微结构元件超精密金刚石切削加工的技术难题,提出采用超声振动辅助切削技术提高单晶锗的临界未变形切屑厚度,并推导了微结构切削中切屑厚度的理论计算公式.进行微圆弧金刚石刀具的振动辅助微切削实验,研究临界未变形切屑厚度随振幅的变化规律,分析微槽表面加工质量和切屑形貌等.分析4.5μm和10.0μm深的十字槽、矩形凸台等微结构的加工质量,针对微槽边缘的加工损伤问题,采用"切深递减"同时结合横向进给的工艺方法.实验结果表明:微槽切削中切削深度的理论计算值存在较大的误差,应选用直接测量法;振动辅助切削的临界未变形切屑厚度随着振幅的增加而增大,最高达到了704 nm,是普通切削深度的5.2倍.与普通切削相比,振动辅助加工可以在一定程度上降低微槽表面粗糙度.采用振动辅助微切削技术能够在大切深条件下加工出具有较高表面质量和轮廓精度的微结构,能够有效解决微槽侧面加工损伤问题,微槽表面粗糙度R_a值低至3.09 nm.
关键词
单晶锗
振动辅助切削
临界未变形切屑厚度
微
结构
微金刚石刀具
Keywords
single crystal germanium
vibration assisted cutting
critical undeformed chip thickness
micro-structured surface
micro diamond tool
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微圆弧金刚石刀具修磨技术研究
夏志辉
贾鲁
张晓峰
楚翀
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
单晶锗微结构的超声振动辅助微切削加工
陈俊云
张洁
靳田野
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
2
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