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微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究 被引量:4
1
作者 杜春雷 邱传凯 +3 位作者 邓启凌 潘丽 白临波 王永茹 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期1-4,共4页
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平... 在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。 展开更多
关键词 微透镜列阵 红外探测器 集成芯片 热成像
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衍射微透镜列阵在Shack-Hartmann波前传感器中的应用 被引量:1
2
作者 杜春雷 林大健 +2 位作者 周明宝 郭履容 郭永康 《光子学报》 EI CAS CSCD 1996年第8期732-735,共4页
菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartma... 菲涅耳衍射微透镜列阵是目前广泛应用的衍射光学元件之一,它是基于衍射原理,由计算机设计,并通过微细加工技术制作成的.本文介绍了8相位台阶菲涅耳衍射微透镜列阵的制作方法,并描述了一个用16×16微透镜列阵形成的小型 Shack-Hartmann 波前传感实验系统,用该系统可对入射波前进行测量和重建. 展开更多
关键词 微透镜列阵 衍射光学元件 波前传感器
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衍射微透镜列阵掩模制作软件的设计 被引量:1
3
作者 白临波 邱传凯 《光电工程》 EI CAS CSCD 2000年第5期23-26,共4页
研究了衍射微透镜列阵的设计方法及 CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法 ,设计了一套实用软件 ,采用图形切割、跟踪计算等方法 ,解决了生成子孔径为矩形、六方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题 ,满足了实际系统对衍射微透镜列... 研究了衍射微透镜列阵的设计方法及 CIF格式掩模数据的数据结构与生成方法 ,设计了一套实用软件 ,采用图形切割、跟踪计算等方法 ,解决了生成子孔径为矩形、六方形及圆环扇形的衍射微透镜列阵掩模的问题 ,满足了实际系统对衍射微透镜列阵子孔径形状的各种需求。 展开更多
关键词 衍射微透镜列阵 掩模 图形切割 软件开发
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微透镜列阵成像光刻技术 被引量:3
4
作者 张为国 董小春 杜春雷 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期469-472,共4页
介绍了一种利用微透镜列阵投影成像光刻的周期微纳结构加工方法。该方法采用商业打印机在透明薄膜上打印的毫米至厘米尺寸图形为掩模,以光刻胶作为记录介质,以微透镜列阵为投影物镜将掩模缩小数千倍成像在光刻胶上,曝光显影后便可制备... 介绍了一种利用微透镜列阵投影成像光刻的周期微纳结构加工方法。该方法采用商业打印机在透明薄膜上打印的毫米至厘米尺寸图形为掩模,以光刻胶作为记录介质,以微透镜列阵为投影物镜将掩模缩小数千倍成像在光刻胶上,曝光显影后便可制备出微米、亚微米特征尺寸的周期结构列阵。基于该方法建立了微透镜列阵成像光刻系统,并以制备800nm线宽、50mm×50mm面积的图形列阵为例,实现了目标图形的光刻成形,曝光时间仅为几十秒,图形边沿粗糙度低于100nm。该方法系统结构简单、掩模制备简易、曝光时间短;为周期微纳结构的低成本、高效率制备提供了有效途径。 展开更多
关键词 纳光学 成像光刻 微透镜列阵 纳结构
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微透镜列阵成像光刻调焦方法 被引量:2
5
作者 张为国 董小春 杜春雷 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期39-43,共5页
本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响,给出了系统离焦量的容差。同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像光刻系统调焦的新方法。并将基于该调焦方法的实验装置应用于微透镜列阵成像光刻系统,进行了光刻实验。... 本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响,给出了系统离焦量的容差。同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像光刻系统调焦的新方法。并将基于该调焦方法的实验装置应用于微透镜列阵成像光刻系统,进行了光刻实验。实验表明,利用该方法对微透镜列阵成像光刻系统调焦,可得到接近微透镜列阵极限像质的光刻图形。 展开更多
关键词 纳光学 成像光刻 微透镜列阵 离焦
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微透镜列阵衍射效应所致的串扰 被引量:1
6
作者 张为国 董小春 +3 位作者 高洪涛 邓启凌 吴时彬 杜春雷 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期80-84,90,共6页
本文分析了微透镜列阵衍射效应的影响因素,推导出了微透镜焦平面上光强分布的解析表达式,对菲涅尔数评价衍射效应的物理含义给予了合理的解释。并利用ZEMAX软件对微透镜列阵进行仿真,基于惠更斯子波直接积分的算法计算得到了微透镜列阵... 本文分析了微透镜列阵衍射效应的影响因素,推导出了微透镜焦平面上光强分布的解析表达式,对菲涅尔数评价衍射效应的物理含义给予了合理的解释。并利用ZEMAX软件对微透镜列阵进行仿真,基于惠更斯子波直接积分的算法计算得到了微透镜列阵焦平面上的光场强度分布。通过比较不同条件下所得到的计算结果,验证了以菲涅尔数作为微透镜列阵衍射效应评价依据的的合理性,同时验证了以菲涅尔数判断焦斑间串扰的可行性。 展开更多
关键词 微透镜列阵 衍射效应 焦斑 串扰 菲涅尔数
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湿法制作连续微透镜列阵新方法 被引量:1
7
作者 罗红心 周礼书 杜春雷 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第6期9-11,65,共4页
制作连续微透镜列阵中主要的问题就是浮雕的深度和浮雕面形的控制 ,已有的微透镜列阵制作方法不能很好地解决 ;本文提出了一种利用干法和湿法蚀刻结合在硅片上制作连续深浮雕微透镜列阵的新方法 ,得到了深度
关键词 微透镜列阵 浮雕 干法蚀刻 湿法蚀刻
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折射型微透镜列阵制作的一种新途径 被引量:1
8
作者 李学民 卢国纬 周礼书 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期294-296,共3页
介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型微透镜的轮廓,并给出了微透镜轮廓的测试图样。
关键词 微透镜列阵 灰阶掩模 激光直写 光学
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高功率半导体激光器列阵光纤耦合模块 被引量:11
9
作者 许孝芳 李丽娜 +2 位作者 吴金辉 尹鸿贺 王立军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期86-88,共3页
根据大功率半导体激光二极管列阵与光纤列阵耦合方式,分别从理论和实验两方面讨论、分析了大功率半导体激光二极管列阵与微球透镜光纤列阵耦合。将19根芯径均为200μm的光纤的端面分别熔融拉锥成具有相同直径的微球透镜,利用V形槽精密排... 根据大功率半导体激光二极管列阵与光纤列阵耦合方式,分别从理论和实验两方面讨论、分析了大功率半导体激光二极管列阵与微球透镜光纤列阵耦合。将19根芯径均为200μm的光纤的端面分别熔融拉锥成具有相同直径的微球透镜,利用V形槽精密排列,排列周期等于激光二极管列阵各发光单元的周期。将微球透镜光纤列阵直接对准半导体激光二极管列阵的19个发光单元,精密调节两者之间的距离,使耦合输出功率达到最大。半导体激光二极管列阵与微球透镜光纤列阵直接耦合后,不仅从各个方向同时压缩了激光束的发散角,有效地实现了对激光束的整形、压缩,而且实现30 W的高输出功率,最大耦合效率大于80%,光纤的数值孔径为0.16。 展开更多
关键词 透镜光纤 光纤耦舍 激光二极管
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一种控制明胶材料微浮雕结构线性蚀刻深度的新方法 被引量:1
10
作者 董小春 杜春雷 +3 位作者 陈波 潘丽 王永茹 刘强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期1006-1009,共4页
提出了一种用于扩展固定配方明胶版蚀刻范围的新方法—预曝光蚀刻法 ( for-exposuremothod) ,并通过对光刻过程中各参量的控制 ,最终实现了用固定配方明胶版对多种不同线性深度微浮雕透镜列阵的蚀刻 ,该方法在蚀刻范围、蚀刻效果等方面... 提出了一种用于扩展固定配方明胶版蚀刻范围的新方法—预曝光蚀刻法 ( for-exposuremothod) ,并通过对光刻过程中各参量的控制 ,最终实现了用固定配方明胶版对多种不同线性深度微浮雕透镜列阵的蚀刻 ,该方法在蚀刻范围、蚀刻效果等方面都大大地优于传统的蚀刻方法 .本文通过对比预曝光蚀刻法与常用的几种蚀刻方法 ,详尽的阐述了预曝光蚀刻法的原理及优点 ,为深浮雕光刻工艺的进一步发展奠定了基础 . 展开更多
关键词 连续深浮雕微透镜列阵 预曝光蚀刻法 线性深度 线性面形 深浮雕光刻工艺 明胶材料 光学元件
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利用球差透镜获得平顶激光光束
11
作者 蒲继雄 庄其仁 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期48-48,共1页
利用球差透镜获得平顶激光光束蒲继雄庄其仁(华侨大学电气技术系泉州362011)单横模激光器输出的激光光束是光强为高斯分布的高斯光束。在许多应用场合,要求激光光束的光强分布是平顶激光光束。人们采用了吸收滤波片、微透镜列... 利用球差透镜获得平顶激光光束蒲继雄庄其仁(华侨大学电气技术系泉州362011)单横模激光器输出的激光光束是光强为高斯分布的高斯光束。在许多应用场合,要求激光光束的光强分布是平顶激光光束。人们采用了吸收滤波片、微透镜列阵以及衍射光学元件等方法,把高斯光... 展开更多
关键词 球差透镜 激光光束 平顶高斯光束 平顶激光光强分布 衍射光学元件 球差系数 位相因子 微透镜列阵 传输范围 光束整形
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Structural Color Dynamic Graphics Display Based on Microlens Array 被引量:1
12
作者 LI Xue-han LIU Ling-zhi +1 位作者 HUANG Min LI Xiu 《印刷与数字媒体技术研究》 北大核心 2025年第2期162-168,共7页
It is of great scientific significance to construct a 3D dynamic structural color with a special color effect based on the microlens array.However,the problems of imperfect mechanisms and poor color quality need to be... It is of great scientific significance to construct a 3D dynamic structural color with a special color effect based on the microlens array.However,the problems of imperfect mechanisms and poor color quality need to be solved.A method of 3D structural color turning on periodic metasurfaces fabricated by the microlens array and self-assembly technology was proposed in this study.In the experiment,Polydimethylsiloxane(PDMS)flexible film was used as a substrate,and SiO2 microspheres were scraped into grooves of the PDMS film to form 3D photonic crystal structures.By adjusting the number of blade-coated times and microsphere concentrations,high-saturation structural color micropatterns were obtained.These films were then matched with microlens arrays to produce dynamic graphics with iridescent effects.The results showed that by blade-coated two times and SiO2 microsphere concentrations of 50%are the best conditions.This method demonstrates the potential for being widely applied in the anticounterfeiting printing and ultra-high-resolution display. 展开更多
关键词 Structural color Microlens array Dynamic graphics display Moirémagnification Optical anti-counterfeiting
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A novel self-alignment method for high precision silicon diffraction microlens arrays preparation and its integration with infrared focal plane arrays
13
作者 HOU Zhi-Jin CHEN Yan +2 位作者 WANG Xu-Dong WANG Jian-Lu CHU Jun-Hao 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期589-594,共6页
Silicon(Si)diffraction microlens arrays are usually used to integrating with infrared focal plane arrays(IRFPAs)to improve their performance.The errors of lithography are unavoidable in the process of the Si diffrac-t... Silicon(Si)diffraction microlens arrays are usually used to integrating with infrared focal plane arrays(IRFPAs)to improve their performance.The errors of lithography are unavoidable in the process of the Si diffrac-tion microlens arrays preparation in the conventional engraving method.It has a serious impact on its performance and subsequent applications.In response to the problem of errors of Si diffraction microlens arrays in the conven-tional method,a novel self-alignment method for high precision Si diffraction microlens arrays preparation is pro-posed.The accuracy of the Si diffractive microlens arrays preparation is determined by the accuracy of the first li-thography mask in the novel self-alignment method.In the subsequent etching,the etched area will be protected by the mask layer and the sacrifice layer or the protective layer.The unprotection area is carved to effectively block the non-etching areas,accurately etch the etching area required,and solve the problem of errors.The high precision Si diffraction microlens arrays are obtained by the novel self-alignment method and the diffraction effi-ciency could reach 92.6%.After integrating with IRFPAs,the average blackbody responsity increased by 8.3%,and the average blackbody detectivity increased by 10.3%.It indicates that the Si diffraction microlens arrays can improve the filling factor and reduce crosstalk of IRFPAs through convergence,thereby improving the perfor-mance of the IRFPAs.The results are of great reference significance for improving their performance through opti-mizing the preparation level of micro nano devices. 展开更多
关键词 SELF-ALIGNMENT diffraction microlens arrays high precision INTEGRATION SI IRFPAs
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平面激光诱导荧光实验中激励激光的光束整形 被引量:6
14
作者 张振荣 王晟 +4 位作者 李国华 赵新艳 叶景峰 胡志云 叶锡生 《中国光学》 EI CAS 2013年第3期359-364,共6页
分析了激励激光光强分布对平面激光诱导荧光(PLIF)实验中荧光强度的影响。基于柱面微透镜列阵设计了一套激光片状光束匀滑整形系统,并根据PLIF实验的具体要求,通过光线追迹方法优化了系统参数。建立了片状光束整形实验系统,对染料激光... 分析了激励激光光强分布对平面激光诱导荧光(PLIF)实验中荧光强度的影响。基于柱面微透镜列阵设计了一套激光片状光束匀滑整形系统,并根据PLIF实验的具体要求,通过光线追迹方法优化了系统参数。建立了片状光束整形实验系统,对染料激光进行了匀滑整形,获得了不均匀性<4%的均匀片状光束,满足了PLIF实验所需。在此基础上建立了PLIF实验系统,获得了酒精灯火焰和CH4/air预混火焰中OH的二维荧光分布。 展开更多
关键词 光束整形 平面激光诱导荧光 柱面微透镜列阵 片状光束
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二元光学在红外成像仪中的作用 被引量:1
15
作者 冯生荣 吴诚 《红外技术》 CSCD 北大核心 1999年第5期13-18,共6页
讨论了二元光学元件的特点和光学功能,以及它在微透镜列阵、折射/衍射混合设计中不可替代的作用,指出二元光学元件给红外成像系统带来的好处是常规光学无法比拟的。介绍二元光学元件用于红外成像仪的典型例子,展望其在该领域中的应... 讨论了二元光学元件的特点和光学功能,以及它在微透镜列阵、折射/衍射混合设计中不可替代的作用,指出二元光学元件给红外成像系统带来的好处是常规光学无法比拟的。介绍二元光学元件用于红外成像仪的典型例子,展望其在该领域中的应用前景。 展开更多
关键词 二元光学元件 折射 衍射 微透镜列阵 红外成像仪
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硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析 被引量:1
16
作者 康冰心 蔡毅 +2 位作者 王岭雪 薛唯 高岳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期742-748,共7页
硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量... 硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术,重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理,并定量比较了提升幅度:多孔硅结构提升幅度最大,在波长4μm处的量子效率可达27%;相比内线转移CCD,电荷扫描器件、曲流沟道CCD和混合读出结构均能改善填充因子,其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。 展开更多
关键词 硅化铂红外焦平面 量子效率 填充因子 读出电路 微透镜列阵
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三维面形全场共焦检测的新方法
17
作者 田维坚 陈波 +2 位作者 庞霖 曾红军 郭履容 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期113-113,共1页
三维面形全场共焦检测的新方法田维坚陈波庞霖曾红军郭履容(四川大学信息光学研究中心成都610064)在三维光学检测中,基于共焦原理的飞点扫描层析术,由于其高对比度、高分辨率,特别是它的三维检测原理简单、易于实行三维成像... 三维面形全场共焦检测的新方法田维坚陈波庞霖曾红军郭履容(四川大学信息光学研究中心成都610064)在三维光学检测中,基于共焦原理的飞点扫描层析术,由于其高对比度、高分辨率,特别是它的三维检测原理简单、易于实行三维成像数字化处理等优点,已越来越引起人们... 展开更多
关键词 三维面形 共焦 新方法 光学合成器件 信息光学 检测方法 光学系统 三维检测 光学并行处理 微透镜列阵
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光学加工及设备
18
《中国光学》 EI CAS 1995年第3期95-95,共1页
TH706 95032068微透镜列阵的光敏热成形新方法=A new methodof photosensitive thermal formation formocrolens array[刊,中]/罗风光,曹明翠,李洪谱,艾军,徐军,李再光(华中理工大学激光技术国家重点实验室.湖北。武汉(430074))∥光电工... TH706 95032068微透镜列阵的光敏热成形新方法=A new methodof photosensitive thermal formation formocrolens array[刊,中]/罗风光,曹明翠,李洪谱,艾军,徐军,李再光(华中理工大学激光技术国家重点实验室.湖北。武汉(430074))∥光电工程.—1994,21(4). 展开更多
关键词 微透镜列阵 激光技术 国家重点实验室 热成形 光敏玻璃 成形方法 新方法 华中理工大学 光电工程 光学加工
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几何光学元器件
19
《中国光学》 EI CAS 1997年第4期8-8,共1页
O435 97042147受抑全内反射特性研究=Study of the charactersof the frustrated total internal reflection[刊,中]/杨杰(中山大学激光与光谱学研究所.广东,广州(510275)),龚正烈,夏秀兰(天津理工学院物理系.天津(300191))//光电工程.... O435 97042147受抑全内反射特性研究=Study of the charactersof the frustrated total internal reflection[刊,中]/杨杰(中山大学激光与光谱学研究所.广东,广州(510275)),龚正烈,夏秀兰(天津理工学院物理系.天津(300191))//光电工程.—1996,23(5).—12-16系统地研究了受抑全内反射的透过率与气隙厚度,入射光偏振特性、波长和入射角的关系,实验证明用多光束干涉效应更能合理地描述此效应;所得结果为该效应的合理应用提供了依据。图8参5(吴淑珍) 展开更多
关键词 受抑全内反射 光偏振特性 光电工程 气隙厚度 透过率 特性研究 合理应用 干涉效应 折射型微透镜列阵 光谱学
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光学镜头、光学零部件
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《中国光学》 EI CAS 2000年第2期8-9,共2页
TH703 2000020805折射型微透镜列阵焦距的测量方法=Measurementsfor the focal length of refractive microlens arrays[刊,中]/田维坚,隋成华,李巧文(浙江大学技术物理所.浙江,杭州(310014)),陈波(四川大学信息光学研究所.四川,成都(61... TH703 2000020805折射型微透镜列阵焦距的测量方法=Measurementsfor the focal length of refractive microlens arrays[刊,中]/田维坚,隋成华,李巧文(浙江大学技术物理所.浙江,杭州(310014)),陈波(四川大学信息光学研究所.四川,成都(610064))//光学仪器.-1999,21(1).-5-8针对全空间折射型透镜阵列,从理论和实验上重点探讨了对其焦距的确定。结果表明,所述方法简捷实用,不仅获取了较满意的结果,而且也保证了测量精度。 展开更多
关键词 折射型微透镜列阵 信息光学 折射透镜 光学镜头 测量精度 离子束刻蚀 变焦距物镜 光学仪器 浙江大学 全空间
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