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激光干涉微轮廓测量仪
被引量：
14
1
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期245-249,共5页
基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪 ,载物平台采用步进电机和压电陶瓷 (PZT)两级闭环驱动与定位 ,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围 ,压电陶瓷用于精密定位 ,重复定位精度为 10nm ;测量光路采用共干涉系统 ,对机械振...
基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪 ,载物平台采用步进电机和压电陶瓷 (PZT)两级闭环驱动与定位 ,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围 ,压电陶瓷用于精密定位 ,重复定位精度为 10nm ;测量光路采用共干涉系统 ,对机械振动 ,温度漂移不敏感 ;测量范围 2 0mm× 2 0mm× 0 .4mm ,纵向分辨率为 0 .32 μm ,横向分辨率为 0 .5 μm。
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关键词
微轮廓测量仪
激光干涉
Michelson干涉
仪
步进电机
压电陶瓷
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职称材料
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
被引量：
6
2
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期217-219,224,共4页
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步...
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步距达到 1纳米的条件下 ,测量物件的尺寸范围可以扩大为 2 0 mm× 2 0 m m,不仅适合微小构件的精密测量 ,而且适合较大器件的精密测量 ,且 X— Y方向的位移测量精度最小可达 1纳米。Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器 PSD,Z轴方向的位移测量精度达 10纳米。对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计 。
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关键词
微轮廓测量仪
位置敏感检测器
激光单点阵扫描
控制系统
精密
测量
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职称材料
题名
激光干涉微轮廓测量仪
被引量：
14
1
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
机构
西安交通大学机械工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第3期245-249,共5页
基金
2 0 0 0年教育部科学技术研究重点资助项目(No .0 0 117)
文摘
基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪 ,载物平台采用步进电机和压电陶瓷 (PZT)两级闭环驱动与定位 ,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围 ,压电陶瓷用于精密定位 ,重复定位精度为 10nm ;测量光路采用共干涉系统 ,对机械振动 ,温度漂移不敏感 ;测量范围 2 0mm× 2 0mm× 0 .4mm ,纵向分辨率为 0 .32 μm ,横向分辨率为 0 .5 μm。
关键词
微轮廓测量仪
激光干涉
Michelson干涉
仪
步进电机
压电陶瓷
Keywords
profilometer
piezoelectric ceramic
laser interferometry
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
被引量：
6
2
作者
宋康
赵玉龙
蒋庄德
机构
西安交通大学精密工程研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期217-219,224,共4页
文摘
涉及到一种基于 PSD原理的高精度三维轮廓测量仪。X— Y工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动 ,进给精度达 1微米 ;微工作台采用精密压电陶瓷驱动 ,进给精度最小可达 1纳米。这样 ,使得 X— Y测量步距达到 1纳米的条件下 ,测量物件的尺寸范围可以扩大为 2 0 mm× 2 0 m m,不仅适合微小构件的精密测量 ,而且适合较大器件的精密测量 ,且 X— Y方向的位移测量精度最小可达 1纳米。Z方向位移传感器采用激光单点位置探测器 PSD,Z轴方向的位移测量精度达 10纳米。对微轮廓测量仪的控制系统作了程序设计 。
关键词
微轮廓测量仪
位置敏感检测器
激光单点阵扫描
控制系统
精密
测量
Keywords
Microprofilometer PSD Single laser lattice scan Control system Precision measurement
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
激光干涉微轮廓测量仪
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
14
在线阅读
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职称材料
2
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
宋康
赵玉龙
蒋庄德
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
6
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职称材料
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