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题名玻璃微探针电沉积的微结构制造路径规划
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作者
徐海黎
杨雅雯
邢强
陈妍
廖晓波
张小萍
庄健
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机构
南通大学机械工程学院
西南科技大学制造过程测试技术教育部重点实验室
西安交通大学机械工程学院
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出处
《材料导报》
北大核心
2025年第5期210-216,共7页
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基金
国家自然科学基金面上项目(52175515)
南通市科技项目(JC2021034)。
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文摘
为了实现半月形液滴限制电化学沉积(Meniscus confined electrodeposition,MCED)在二维平面的快速稳定生长,提出了自适应微跳跃分区沉积(Adaptive micro-jump partitioned deposition,AMJPD)方法。该方法利用扫描电化学池显微镜(Scanning electrochemical cel microscopy,SECCM)获取沉积二维平面方程,结合预沉积图像的分区扫描沉积轨迹生成基于该平面的三维沉积路径,通过提出的自适应微跳跃沉积模式,合理规避了平面生长沉积时遇到的阻碍,实现了在微米尺度上快速可控的平面制造加工。实验结果表明,AMJPD方法可进行多线段和平面图形的沉积绘制,可实现线宽6μm、长宽比17∶1微线条的稳定制造。因此,所提出的AMJPD方法可应用于各类精密金属微结构和微部件的制造,未来将在精密器件制造、生命医学传感等相关领域得到广泛应用。
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关键词
半月形液滴限制电化学沉积
微跳跃沉积模式
分区扫描
自适应平面
增材制造
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Keywords
meniscus confined electrodeposition
micro-jump deposition mode
partition scanning
adaptive planes
additive manufacturing
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分类号
TG156
[金属学及工艺—热处理]
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