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基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法被引量：4: 1; 作者赵剑张淑敏高仁璟《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期656-662,共7页; 高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标。虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力。因此,如何在特定尺度约束下提升高阶模态传感器的灵敏度已成... 展开更多; 关键词微质量传感器高阶模态灵敏度谐振构型优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析被引量：2: 2; 作者高仁璟赵剑《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1349-1353,共5页; 针对微小集中质量测量问题,提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器,建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程,获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明,相对于等截面矩... 展开更多; 关键词微质量传感器梯形变截面悬臂梁灵敏度谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微流体技术的FBAR微质量传感器被引量：1: 3; 作者吕启蒙吴光敏 +2 位作者楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期686-689,693,共5页; 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。... 展开更多; 关键词薄膜体声波谐振器（FBAR）微机电系统（MEMS）微流体微质量传感器品质因数; 在线阅读下载PDF 职称材料

三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器: 4; 作者肖奇军罗忠辉郭大为《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期297-304,共8页; 为了实现对微小质量的测量,本文提出了一种基于模态局部化效应三自由度弱耦合谐振式微质量传感器,建立3个谐振器的运动方程式,获得质量扰动的系统方程,建立了三自由度耦合谐振系统的MATLAB/SIMULINK模型,得出幅值比变化相对于振幅变化... 展开更多; 关键词微质量传感器三自由度模态局部化弱耦合谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响: 5; 作者陈思宇国凤林《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期112-117,共6页; 针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力... 展开更多; 关键词微纳米质量传感器轴向预应力检测灵敏度热弹性阻尼最小检测质量; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法被引量：4: 1; 作者赵剑张淑敏高仁璟; 机构大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室汽车工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期656-662,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51575088 No.11372063 +2 种基金 No.11332004 No.11572073) 大连理工大学星海优青资助项目; 文摘高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标。虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力。因此,如何在特定尺度约束下提升高阶模态传感器的灵敏度已成为谐振式微传感器设计的前沿问题。本文在研究弹性梁几何构型、压电层尺寸与有效质量分布对振动模态影响关系的基础上,建立了压电驱动多阶梯梁式微质量传感器的灵敏度分析模型,以传感器灵敏度提升最大为目标,建立了高阶振动模态下悬臂梁几何构型优化设计模型,得到了在不同振动模态下具有最高灵敏度的悬臂梁构型,使同尺寸传感器的灵敏度提升了10.0~15.0倍。考虑驱动位置与制造成本约束,设计并研制了具有六阶梯梁结构的高阶模态微质量传感器。实验结果表明,总长度为17.6mm的六阶梯梁微质量传感器的灵敏度为18.8×10~4 Hz/g,考虑制造误差的影响,其二阶模态灵敏度为同尺寸等截面梁传感器的10.0倍,较一阶模态同尺寸传感器灵敏度提升了19.8倍,从而验证了所提出的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法的有效性和可行性。; 关键词微质量传感器高阶模态灵敏度谐振构型优化; Keywords micro mass sensor higher-order mode sensitivity resonance structural optimization; 分类号 TH701 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析被引量：2: 2; 作者高仁璟赵剑; 机构大连理工大学; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1349-1353,共5页; 基金国家重点基础研究发展计划(973)项目(2011CB610304) 教育部博士学科点基金项目(20090041110023,20100041120019); 文摘针对微小集中质量测量问题,提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器,建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程,获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明,相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器,单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提高了127.00%和263.00%。采用线切割工艺,加工制备了单压电层梯形变截面结构的微质量传感器并对传感器进行了实验测试,在误差允许范围内,仿真结果与实验结果基本一致,验证了采用梯形变截面悬臂梁式结构可以有效的提高传感器的灵敏度。; 关键词微质量传感器梯形变截面悬臂梁灵敏度谐振频率; Keywords mass sensor trapezoidal variable cross-section cantilever sensitivity resonant frequency; 分类号 TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微流体技术的FBAR微质量传感器被引量：1: 3; 作者吕启蒙吴光敏楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣; 机构昆明理工大学MEMS实验室香港城市大学机械与生物医学工程学系; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第5期686-689,693,共5页; 基金昆明理工大学MEMS学科建设基金资助项目(14078024); 文摘基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境,而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大,其品质因数Q值只有3.53。因此,该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后,针对液相环境中传感器Q值较低问题,设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器,使其Q值达到30.85,增加了近9倍,从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能。; 关键词薄膜体声波谐振器（FBAR）微机电系统（MEMS）微流体微质量传感器品质因数; Keywords FBAR MEMS microfluidic mass sensor quality factor; 分类号 TN409 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器: 4; 作者肖奇军罗忠辉郭大为; 机构肇庆学院电子与电气工程学院广东技术师范大学机电工程学院首都医科大学附属北京世纪坛医院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期297-304,共8页; 基金广东省自然科学基金资助项目(No.2016A030313846) 广东省教育厅特色创新项目(No.2017KTSCX197) 肇庆市高校重点学科-电子科学与与技术。; 文摘为了实现对微小质量的测量,本文提出了一种基于模态局部化效应三自由度弱耦合谐振式微质量传感器,建立3个谐振器的运动方程式,获得质量扰动的系统方程,建立了三自由度耦合谐振系统的MATLAB/SIMULINK模型,得出幅值比变化相对于振幅变化和谐振频率变化来说具有最高的归一化灵敏度。最后进行传感器设计和微加工,搭建质量测量系统。实验结果表明,电压幅值比的变化产生的归一化灵敏度大约是振幅变化的4倍,大约是频移变化的两个数量级,最小可检测质量值为2 ng。仿真和实验结果表明,三自由度模态局部化弱耦合谐振器能实现对微质量的测量,具有良好的生物传感应用前景。; 关键词微质量传感器三自由度模态局部化弱耦合谐振器; Keywords micro-balance 3-DoF mode localization weakly coupled resonator; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械] TN703 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响: 5; 作者陈思宇国凤林; 机构上海交通大学船舶海洋与建筑工程学院; 出处《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2020年第9期112-117,共6页; 基金国家自然科学基金面上项目(11272206)。; 文摘针对存在轴向拉力的矩形截面微梁谐振式质量传感器中的质量传感灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量等问题进行了深入的研究。推导了质量传感器在存在轴向拉力情况下的检测灵敏度、热弹性阻尼以及最小检测质量的表达式。揭示了轴向拉力对质量传感器的工作性能的影响机理。结果表明:轴向拉力会提高质量传感灵敏度;轴向拉力会降低谐振器的热弹性阻尼;轴向拉力可以使得质量传感器捕获更微小的检测质量。; 关键词微纳米质量传感器轴向预应力检测灵敏度热弹性阻尼最小检测质量; Keywords micromechanical mass sensor axial pretension mass sensitivity thermoelastic damping minimum detectable mass; 分类号 TH212 [机械工程—机械制造及自动化] TH213.3 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于构型优化的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法	赵剑张淑敏高仁璟	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	梯形变截面悬臂梁式微质量传感器设计与分析	高仁璟赵剑	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2012	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于微流体技术的FBAR微质量传感器	吕启蒙吴光敏楚合群 JOHN D Mai 陈剑鸣	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	三自由度弱耦合谐振式微质量测量传感器	肖奇军罗忠辉郭大为	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	轴向拉力对微梁质量传感器精度和热弹性阻尼的影响	陈思宇国凤林	《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料