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二维超声磨削纳米陶瓷表面微观不平度分析 被引量:4
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作者 闫艳燕 赵波 刘俊利 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期683-687,692,共6页
介绍了一种新型二维超声磨削方法及其磨削系统的加工特性,并以表面微观不平度分析了二维超声磨削方法对纳米氧化锆陶瓷磨削的优越性.进行了不同磨削参数下纳米氧化锆陶瓷的普通磨削和二维超声磨削对比试验,讨论了二维超声磨削纳米氧化... 介绍了一种新型二维超声磨削方法及其磨削系统的加工特性,并以表面微观不平度分析了二维超声磨削方法对纳米氧化锆陶瓷磨削的优越性.进行了不同磨削参数下纳米氧化锆陶瓷的普通磨削和二维超声磨削对比试验,讨论了二维超声磨削纳米氧化锆陶瓷过程中影响其加工表面微观不平度的主要因素及其影响规律.结果表明:采用二维超声磨削纳米氧化锆陶瓷可获得较好的加工表面,且其磨削过程不易堵塞砂轮;选用合适的加工参数,可获得纳米级超光滑加工表面. 展开更多
关键词 纳米陶瓷 超声加工 磨削 表面微观不平度 表面粗糙度
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白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究 被引量:2
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作者 孙艳 杨玉孝 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期150-152,共3页
文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚... 文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0.2~小于20μm,无横向测试范围的限制。在对SiO_2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO_3)表面的测试研究结果。 展开更多
关键词 白光干涉法 薄膜表面微观不平度 光纤 测量 钛酸铅薄膜 厚度 电容器 工作原理
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基于多晶粒尺寸分析的多晶铜切削特性研究
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作者 房君狄 李金泉 邵伟平 《制造技术与机床》 2025年第9期76-81,共6页
在超精密切削加工多晶材料工件过程中,晶粒的大小显著影响位错的产生、传播和交互作用,进而影响材料的力学性能。为研究晶粒尺寸对切削性能的影响,结合Voronoi方法和分子动力学方法,使用LAMMPS和Atomsk开源软件,模拟金刚石刀具切削不同... 在超精密切削加工多晶材料工件过程中,晶粒的大小显著影响位错的产生、传播和交互作用,进而影响材料的力学性能。为研究晶粒尺寸对切削性能的影响,结合Voronoi方法和分子动力学方法,使用LAMMPS和Atomsk开源软件,模拟金刚石刀具切削不同晶粒尺寸的多晶铜,观察切削力、微观表面不平度的变化,并通过位错分析(dislocation extraction algorithm,DXA)探讨工件内部的塑性变形。研究表明,随着晶粒尺寸的减小,切削力平均值逐渐增大;切削过程中,平均温度呈上升趋势;微观表面不平度也呈现逐渐增大的趋势。与此同时,工件内部的塑性变形引发位错反应,纳米级晶粒能够有效地抑制位错的活动。 展开更多
关键词 多晶铜 超精密切削 分子动力学 微观表面不平度 切削力
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