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用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
1
作者
王晓东
常城
宋洪侠
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第9期8-11,15,共5页
随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要。对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术———扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍。
关键词
扫描探针显微术
微观几何形状
传感器
STM
扫描光学近场显微术
原子力显微术
扫描隧道显微术
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职称材料
“粗糙度”不能粗糙说
2
作者
严龙祥
《职业技术教育》
北大核心
1995年第5期36-36,共1页
关键词
表面粗糙度
零件表面质量
规划教材
上海
高等专科教育
微观几何形状
金属切削原理
加工表面
小间距
光洁度
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职称材料
题名
用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
1
作者
王晓东
常城
宋洪侠
机构
大连理工大学微系统研究中心
哈尔滨工程大学自动化学院
大连理工大学机械工程学院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第9期8-11,15,共5页
文摘
随着微技术的发展,对微观结构的精确测量变得越来越重要。对能够用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术———扫描隧道显微术(STM)、扫描光学近场显微术(SNOM)和原子力显微术(AFM)进行了比较详细的分析和介绍。
关键词
扫描探针显微术
微观几何形状
传感器
STM
扫描光学近场显微术
原子力显微术
扫描隧道显微术
Keywords
scanning probe microscopy (SPM)
micro-geometry
sensors
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
“粗糙度”不能粗糙说
2
作者
严龙祥
机构
上海铁路成人中专学校
出处
《职业技术教育》
北大核心
1995年第5期36-36,共1页
关键词
表面粗糙度
零件表面质量
规划教材
上海
高等专科教育
微观几何形状
金属切削原理
加工表面
小间距
光洁度
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用于微观几何形状测量的扫描探针显微技术
王晓东
常城
宋洪侠
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
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职称材料
2
“粗糙度”不能粗糙说
严龙祥
《职业技术教育》
北大核心
1995
0
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职称材料
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