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方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析
1
作者
徐晨
施梦娱
+2 位作者
赵林林
李博
沈光地
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1617-1619,共3页
考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅薄膜的最大挠度...
考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅薄膜的最大挠度和极限载荷Pmax,与已报道的实验值相符.从而解释了浓硼重掺杂硅薄膜的实际断裂强度值远小于晶体理论断裂强度值的矛盾.可以得出,极限载荷Pmax不仅与薄膜的尺寸与形状有关,而且也与材料特性,特别是与制备工艺有关.
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关键词
微
机械
浓硼硅薄膜
残余应力
微蚀坑
极限载荷
Griffith裂口强度理论
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职称材料
题名
方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析
1
作者
徐晨
施梦娱
赵林林
李博
沈光地
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1617-1619,共3页
基金
北京市人才强教计划项目资助(5002015200504)
文摘
考虑残余应力的情况下,薄膜在大挠度时总应力的解析表达式.通过实验观察,深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑.考虑微蚀坑和残余应力的影响,运用总应力表达式和Griffith裂口强度理论,定量的得到方形浓硼重掺杂硅薄膜的最大挠度和极限载荷Pmax,与已报道的实验值相符.从而解释了浓硼重掺杂硅薄膜的实际断裂强度值远小于晶体理论断裂强度值的矛盾.可以得出,极限载荷Pmax不仅与薄膜的尺寸与形状有关,而且也与材料特性,特别是与制备工艺有关.
关键词
微
机械
浓硼硅薄膜
残余应力
微蚀坑
极限载荷
Griffith裂口强度理论
Keywords
MEMS
Square-shaped diaphragm
residual stress
fracture stress
load limitation
Griffith fracture criterion
分类号
TN306 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析
徐晨
施梦娱
赵林林
李博
沈光地
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
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