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题名微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展
被引量：13
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作者
杨智
朱朋
徐聪
张秋
覃新
沈瑞琪
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机构
南京理工大学化工学院
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出处
《含能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期167-176,87,共11页
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基金
江苏省自然科学基金资助(BK20151486)
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文摘
爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)工艺,极大地促进了微芯片爆炸箔起爆系统(Micro Chip Exploding Foil Initiator system,McEFIs)的发展。简要分析了两种工艺制备微芯片爆炸箔起爆器(Micro Chip Exploding Foil Initiator,McEFI)的优缺点,列举了几种平面高压开关在电容放电单元(Capacitor Discharge Unit,CDU)中的工作性能,得出了开关的设计思路和研究方法的可行性。基于MEMS工艺和LTCC工艺制备及研究McEFI、平面高压开关和平面高压开关集成McEFI,分别总结了国内外的研究进展。提出了重点研究方向:深入研究MEMS工艺制备McEFI及其平面高压开关,以达到工程化应用;采用LTCC工艺,一体化烧结可制备具有独石结构的平面高压开关和McEFI。
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关键词
微芯片爆炸箔起爆系统(mcefis)
电容放电单元
微芯片爆炸箔起爆器(mcefi)
平面高压开关
研究进展
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Keywords
Micro Chip Exploding Foil Initiator system(mcefis)
capacitor discharge unit
Micro Chip Exploding Foil Initiator(mcefi)
planar high-voltage switch
research progress
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分类号
TJ45
[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
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