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题名镀金表面微孔腐蚀的电接触特点
被引量:17
- 1
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作者
李雪清
章继高
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机构
北京邮电大学自动化学院
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出处
《电工技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2004年第9期51-56,共6页
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文摘
镀金接触材料表面容易出现微孔。由于湿度、腐蚀性气体及尘土颗粒的影响,镀层表面在微孔处形成腐蚀,降低了连接器的可靠性。通过对长期室内自然暴露的薄镀金样片表面的形貌、腐蚀状况以及成分分析,同时对腐蚀表面不同位置处的直流接触电阻、高频接触阻抗进行测试,从而全面分析表面微孔腐蚀对电接触性能的影响。
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关键词
镀金
电接触
微孔
微孔腐蚀
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Keywords
Gold plating,electric contact,porosity,pore corrosion
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分类号
TM503.5
[电气工程—电器]
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题名超薄膜腐蚀自停止技术的缺陷分析
被引量:1
- 2
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作者
李晓波
徐晨
戴天明
邓琛
沈光地
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机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2009年第3期410-413,432,共5页
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基金
国家863计划资助项目(SQ2007AA03Z431230)
北京市人才强教计划资助项目(05002015200504)
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文摘
作为气动红外探测器密封微电容检测腔的核心部件,要求敏感薄膜必须无孔,平整。浓硼硅腐蚀自停止技术制备超薄膜时,扩散前待扩硼区经常会存在各种表面微缺陷,导致扩硼后,再进行反向腐蚀形成的超薄膜会出现微腐蚀孔。利用小孔扩散模型和流体力学中小孔的热壅塞理论详细计算了缺陷的结构尺寸对缺陷底端局部硼浓度的影响。当缺陷半径r0垲姨Dt,其底端的局部硼浓度会远远低于浓硼硅腐蚀自停止的临界浓度5×1019/cm3,从而在下一步的反向腐蚀出膜过程中,表面有缺陷的扩硼区出现微腐蚀孔的几率大大增加。最后,针对膜区域出现的微腐蚀孔,提出了几种解决方案。
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关键词
浓硼重掺杂硅薄膜
气动红外探测器
钻蚀缺陷
小孔扩散模型
微腐蚀孔
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Keywords
Boron-doped p^+-silicon free-handing diaphragm
Pneumatic infrared detector
Corrosion defects
Diffusion model in the small hole
Micro-etching holes
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分类号
TN21
[电子电信—物理电子学]
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题名镀金接触表面形成的圈状腐蚀物的SEM/EDS分析
被引量:2
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作者
林雪燕
章继高
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机构
北京邮电大学电接触科研室
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期794-795,共2页
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基金
高等学校博士学科点专项科研资助课题
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关键词
镀金
接触表面
圈状腐蚀物
SEM/EDS分析
微动接触电阻
微孔腐蚀
自然暴露
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分类号
O657.62
[理学—分析化学]
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