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腔衰荡光谱仪器腔镜微缺陷散射模型
1
作者
任颐杰
张正涛
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025年第5期1143-1154,共12页
针对腔衰荡光谱仪器(CRDS)中的腔镜微缺陷会导致测量精度下降的问题,本文建立了基于BobbertVliegerBRDF理论的腔镜微缺陷散射模型,分析了微缺陷在不同光源波长、入射角度、缺陷量级、缺陷类型、缺陷密度、基底膜层的散射光特性。腔镜微...
针对腔衰荡光谱仪器(CRDS)中的腔镜微缺陷会导致测量精度下降的问题,本文建立了基于BobbertVliegerBRDF理论的腔镜微缺陷散射模型,分析了微缺陷在不同光源波长、入射角度、缺陷量级、缺陷类型、缺陷密度、基底膜层的散射光特性。腔镜微缺陷散射模型研究表明:微米至亚微米(100μm~0.1μm)量级缺陷会降低衰荡吸收精度。针对该量级微缺陷的检测,构建了腔镜微缺陷散射和微缺陷暗场检测的分析模型。CRDS腔镜微缺陷散射光模型的建立与分析,是实现腔镜微缺陷高精度检测和CRDS测量精度恢复的关键技术。
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关键词
腔衰荡光谱
腔镜
微
缺陷
CRDS精度
双向反射分布函数
微缺陷散射模型
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职称材料
题名
腔衰荡光谱仪器腔镜微缺陷散射模型
1
作者
任颐杰
张正涛
机构
中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司
中国科学院自动化研究所
中科(洛阳)机器人与智能装备研究院
出处
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025年第5期1143-1154,共12页
基金
新一代人工智能国家科技重大专项(No.2022ZD0119400)。
文摘
针对腔衰荡光谱仪器(CRDS)中的腔镜微缺陷会导致测量精度下降的问题,本文建立了基于BobbertVliegerBRDF理论的腔镜微缺陷散射模型,分析了微缺陷在不同光源波长、入射角度、缺陷量级、缺陷类型、缺陷密度、基底膜层的散射光特性。腔镜微缺陷散射模型研究表明:微米至亚微米(100μm~0.1μm)量级缺陷会降低衰荡吸收精度。针对该量级微缺陷的检测,构建了腔镜微缺陷散射和微缺陷暗场检测的分析模型。CRDS腔镜微缺陷散射光模型的建立与分析,是实现腔镜微缺陷高精度检测和CRDS测量精度恢复的关键技术。
关键词
腔衰荡光谱
腔镜
微
缺陷
CRDS精度
双向反射分布函数
微缺陷散射模型
Keywords
cavity ring-down spectroscopy
micro-defect of cavity mirror
CRDS accuracy
BRDF
microde-fect scattering model
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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被引量
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1
腔衰荡光谱仪器腔镜微缺陷散射模型
任颐杰
张正涛
《中国光学(中英文)》
北大核心
2025
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