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MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展
被引量：
5
1
作者
姜岩峰
黄庆安
《微纳电子技术》
CAS
2003年第4期34-39,共6页
对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重...
对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重点介绍,包括其研究发展的历史、现状、发展趋势、分析模型和新近取得的主要进展等。最后对在线测量微结构机械参数的方法进行了总结。
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关键词
MEMS
微机电系统
微结构机械参数
在线测量
悬臂梁
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职称材料
题名
MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展
被引量：
5
1
作者
姜岩峰
黄庆安
机构
北方工业大学信息工程学院微电子中心
东南大学电子工程系微机电系统教育部重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第4期34-39,共6页
基金
北方工业大学校内基金资助
文摘
对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重点介绍,包括其研究发展的历史、现状、发展趋势、分析模型和新近取得的主要进展等。最后对在线测量微结构机械参数的方法进行了总结。
关键词
MEMS
微机电系统
微结构机械参数
在线测量
悬臂梁
Keywords
in-situ measurement
mechanical parameter
cantilever
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展
姜岩峰
黄庆安
《微纳电子技术》
CAS
2003
5
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职称材料
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