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基于AFM的微结构加工实验研究被引量：5: 1; 作者闫永达孙涛 +2 位作者程凯赵清亮董申《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期199-201,共3页; 本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统 ,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验 ,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析 ,得出这个系统适合微结构的加工 ;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结... 展开更多; 关键词原子力显微镜微结构加工 AFM 金刚石针尖 SPI系统形貌观测单原子操作; 在线阅读下载PDF 职称材料

叶片曲面微结构加工刀位轨迹规划被引量：2: 2; 作者蔡永林高超峰《北京交通大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期111-117,共7页; 针对基于单齿刀具的叶片曲面微结构加工效率不高的问题,以小叶轮为例对叶片曲面微结构加工进行了深入研究.先根据待加工叶片曲面的曲率信息,设计一种高效的微结构侧铣加工专用刀具——多齿鼓形刀;然后以叶轮叶片曲面五轴数控加工为背景... 展开更多; 关键词叶轮加工刀轨规划叶片曲面多齿鼓形刀微结构加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

电解复合超声频振动微细加工机理与试验研究被引量：23: 3; 作者朱永伟王占和 +1 位作者李红英云乃彰《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第15期1786-1792,共7页; 进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验,分析了微电流电解过程钝化现象,研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化作用机理。分析了电解加工方式与超声频振动协调同步方法,设计和构造了微细电解复合压电式超声频振动... 展开更多; 关键词电解电化学钝化超声频振动微结构加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

衍射元件表面粗糙度对衍射效率的影响被引量：4: 4; 作者赵丽东崔庆丰 +3 位作者毛珊赵渊明朴明旭胡洋《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期148-153,共6页; 基于多层衍射光学元件的位相延迟表达式,提出了单点金刚石车削影响下的多层衍射光学元件衍射效率和带宽积分平均衍射效率的数学模型,并给出了相应的分析表达式.以基底材料分别是硒化锌和硫化锌构成的多层衍射光学元件在近红外波段(1.4~2... 展开更多; 关键词衍射光学光学系统设计衍射效率表面粗糙度红外系统微结构加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于压电陶瓷驱动的快刀伺服系统的研制被引量：5: 5; 作者陈武李克天 +1 位作者刘洪飞赵荣丽《制造技术与机床》北大核心 2014年第6期43-47,共5页; 设计了一款基于压电陶瓷驱动、利用柔性铰链铰接的微结构加工快刀伺服系统.用理论计算和有限元分析软件对柔性铰链进行了优化和分析,并进行了实际加工和测试.测试结果表明该系统能达到最大的加工行程为60 μm;并且在0～39 μm的加工行... 展开更多; 关键词微结构加工压电陶瓷柔性铰链快刀伺服有限元分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于AFM的微结构加工实验研究被引量：5: 1; 作者闫永达孙涛程凯赵清亮董申; 机构哈尔滨工业大学精密工程研究所; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期199-201,共3页; 基金航天支撑技术基金项目和海外青年合作研究基金资助 (No .5 0 0 2 85 0 4); 文摘本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统 ,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验 ,与SPM系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析 ,得出这个系统适合微结构的加工 ;并给出了采用该方法加工的圆面及多边形面微结构 ;; 关键词原子力显微镜微结构加工 AFM 金刚石针尖 SPI系统形貌观测单原子操作; Keywords AFM micro structure diamond tip; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名叶片曲面微结构加工刀位轨迹规划被引量：2: 2; 作者蔡永林高超峰; 机构北京交通大学机械与电子控制工程学院; 出处《北京交通大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期111-117,共7页; 基金国家自然科学基金(51375040)~~; 文摘针对基于单齿刀具的叶片曲面微结构加工效率不高的问题,以小叶轮为例对叶片曲面微结构加工进行了深入研究.先根据待加工叶片曲面的曲率信息,设计一种高效的微结构侧铣加工专用刀具——多齿鼓形刀;然后以叶轮叶片曲面五轴数控加工为背景,利用多齿鼓形刀对叶片曲面微结构的加工进行刀位轨迹规划,使加工出的微结构分布均匀;最后以计算实例验证提出方法的有效性,并计算其刀位轨迹长度和加工仿真的时间,与单齿刀具进行比较.结果证明:采用多齿鼓形刀所生成的刀位轨迹长度和加工仿真时间都约为单齿刀具的1/3,加工效率得到了明显的提高,约为单齿刀具的3倍.; 关键词叶轮加工刀轨规划叶片曲面多齿鼓形刀微结构加工; Keywords machining of impeller tool-path planning blade surface multi-tooth barrel cutter machining of riblets; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电解复合超声频振动微细加工机理与试验研究被引量：23: 3; 作者朱永伟王占和李红英云乃彰; 机构扬州大学南京航空航天大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第15期1786-1792,共7页; 基金国家自然科学基金资助项目(50675192) 中国博士后科学基金资助项目(2003034382); 文摘进行了电解复合超声频振动加工微结构的基础试验,分析了微电流电解过程钝化现象,研究了超声频振动冲击波及负压空化作用消除电解钝化作用机理。分析了电解加工方式与超声频振动协调同步方法,设计和构造了微细电解复合压电式超声频振动微细加工系统。利用微细特种加工技术制作各类截面形状、尺寸的微细阴极。进行了多种材料微结构的复合加工试验,并验证了电解复合超声频振动方法实现微细加工可行性与技术优势,研究了应用该工艺进行微结构加工的工艺特性。; 关键词电解电化学钝化超声频振动微结构加工; Keywords electrochemical machlning（E（JM） electrolytic passivation ultrasonic vibration ~ micro-- structure machining; 分类号 TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名衍射元件表面粗糙度对衍射效率的影响被引量：4: 4; 作者赵丽东崔庆丰毛珊赵渊明朴明旭胡洋; 机构长春理工大学光电工程学院; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期148-153,共6页; 基金国家重大科技专项高分专项(No.51-H34D01-8358-13/16)资助~~; 文摘基于多层衍射光学元件的位相延迟表达式,提出了单点金刚石车削影响下的多层衍射光学元件衍射效率和带宽积分平均衍射效率的数学模型,并给出了相应的分析表达式.以基底材料分别是硒化锌和硫化锌构成的多层衍射光学元件在近红外波段(1.4~2.5m)的应用为例进行分析.结果表明表面粗糙度会导致多层衍射光学元件衍射效率和带宽积分平均衍射效率的明显降低,从而降低了混合成像光学系统的成像质量.因此,单点金刚石车削衍射元件时,要根据使用需求制定合理的表面粗糙度加工误差.; 关键词衍射光学光学系统设计衍射效率表面粗糙度红外系统微结构加工; Keywords Diffractive optics Optical system design Diffraction efficiency Surface roughness Infrared system Microstructure fabrication.; 分类号 O436 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于压电陶瓷驱动的快刀伺服系统的研制被引量：5: 5; 作者陈武李克天刘洪飞赵荣丽; 机构广东工业大学; 出处《制造技术与机床》北大核心 2014年第6期43-47,共5页; 文摘设计了一款基于压电陶瓷驱动、利用柔性铰链铰接的微结构加工快刀伺服系统.用理论计算和有限元分析软件对柔性铰链进行了优化和分析,并进行了实际加工和测试.测试结果表明该系统能达到最大的加工行程为60 μm;并且在0～39 μm的加工行程范围内运动频响可达到150 Hz.; 关键词微结构加工压电陶瓷柔性铰链快刀伺服有限元分析; Keywords micro structure machining piezoelectric ceramic(PZT) flexure hinge fast tool servo(FTS) finite ele-ment analysis; 分类号 TG669 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于AFM的微结构加工实验研究	闫永达孙涛程凯赵清亮董申	《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	叶片曲面微结构加工刀位轨迹规划	蔡永林高超峰	《北京交通大学学报》 CAS CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	电解复合超声频振动微细加工机理与试验研究	朱永伟王占和李红英云乃彰	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	23	在线阅读下载PDF 职称材料
4	衍射元件表面粗糙度对衍射效率的影响	赵丽东崔庆丰毛珊赵渊明朴明旭胡洋	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于压电陶瓷驱动的快刀伺服系统的研制	陈武李克天刘洪飞赵荣丽	《制造技术与机床》北大核心	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料