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船用加速度计中硅V型槽的谱域OCT测量
1
作者
陈玉平
《舰船科学技术》
北大核心
2020年第10期115-117,共3页
加速度计是船用惯性导航和动力设备故障诊断的重要器件。用微纳技术制作的加速度计将是未来发展的方向。微机电系统是近年来发展的新型制造技术,其中的V型槽测量是重要的环节之一。光学相干层析成像也是当前光学测试领域研究的热点。本...
加速度计是船用惯性导航和动力设备故障诊断的重要器件。用微纳技术制作的加速度计将是未来发展的方向。微机电系统是近年来发展的新型制造技术,其中的V型槽测量是重要的环节之一。光学相干层析成像也是当前光学测试领域研究的热点。本文主要探索一种利用谱域光学相干层析成像技术检测硅微机械系统V型槽的新方法。测量了V型槽的深度、宽度和底宽。从而验证了用谱域光学相干层析成像技术测量硅V形槽是切实可行的。
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关键词
微结构制作
光学相干层析成像
光谱干涉法
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职称材料
题名
船用加速度计中硅V型槽的谱域OCT测量
1
作者
陈玉平
机构
西安航空职业技术学院
出处
《舰船科学技术》
北大核心
2020年第10期115-117,共3页
基金
陕西省教育厅科研专项(15JK1380)
文摘
加速度计是船用惯性导航和动力设备故障诊断的重要器件。用微纳技术制作的加速度计将是未来发展的方向。微机电系统是近年来发展的新型制造技术,其中的V型槽测量是重要的环节之一。光学相干层析成像也是当前光学测试领域研究的热点。本文主要探索一种利用谱域光学相干层析成像技术检测硅微机械系统V型槽的新方法。测量了V型槽的深度、宽度和底宽。从而验证了用谱域光学相干层析成像技术测量硅V形槽是切实可行的。
关键词
微结构制作
光学相干层析成像
光谱干涉法
Keywords
microstructure fabrication
optical coherence tomography
spectral interferometric
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
船用加速度计中硅V型槽的谱域OCT测量
陈玉平
《舰船科学技术》
北大核心
2020
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