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题名基于海绵介质层的电容式三维力触觉传感器
被引量：2
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作者
赵智忠
张松
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机构
河北工业大学
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2021年第2期6-11,共6页
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基金
河北省自然科学基金项目(E2017202035)。
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文摘
为了提高电容式触觉传感器在较大量程范围内的灵敏度,应用PDMS(聚二甲基硅氧烷)海绵微结构作为介质层,设计了电容式三维力触觉传感器。利用有限元软件对海绵介质层和普通薄膜介质层进行性能对比,同等压力作用下,海绵微结构触觉传感器拥有更高的灵敏度。对传感器单元进行有限元分析,得到传感器在三维力作用下的形变情况和电容变化趋势。制备了传感器单元,并进行三维力加载实验,采集和分析实验数据,计算出了传感器的灵敏度。样机实测结果表明,该传感器可以实现在0~10 N法向力和0~4 N切向力较大的量程范围内的检测,且法向和切向的平均灵敏度都较高,分别可以达到0.065 pF/N、0.071 pF/N和0.076 pF/N。
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关键词
触觉传感器
三维力
微结构介质层
灵敏度
电容式
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Keywords
tactile sensor
three-dimensional force
microstructure dielectric layer
sensitivity
capacitive
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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