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UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术被引量：12: 1; 作者胡洋洋朱荻 +3 位作者李寒松曲宁松曾永彬明平美《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期670-676,共7页; 采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基... 展开更多; 关键词 UV-LIGA SU-8胶电解去胶微细阵列电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工被引量：2: 2; 作者周晓光马莹 +1 位作者韩福柱祝明德《电加工与模具》 2008年第2期1-4,共4页; 介绍了微细阵列电极的应用情况及其电火花线切割加工的特点。以硬质合金为材料,采用电火花线切割加工方法进行了微细阵列电极的加工实验,总结出了不同加工因素对加工结果的影响规律。; 关键词微细阵列电极电火花线切割加工加工能量; 在线阅读下载PDF 职称材料

采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列被引量：1: 3; 作者杨昕张斌珍 +2 位作者南雪莉崔建利王万军《科学技术与工程》北大核心 2017年第2期230-233,共4页; 针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅... 展开更多; 关键词 UV-LIGA KMPR 微细阵列电极盲孔填充技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术被引量：1: 4; 作者杨昕张斌珍 +1 位作者吕晓静王万军《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第12期99-101,97,共4页; 为了解决MEMS工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于Over-plating成型的过电铸法金属微电极阵列制备技术。在常温下,选择190 g/m L的CuSO_4·5H_2O、60 g/L的H_2SO_4、70 mg/L的氯离子以及适量的添... 展开更多; 关键词 UV-LIGAKMPR 微细阵列电极电铸液过电铸; 在线阅读下载PDF 职称材料

电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究被引量：2: 5; 作者郭永丰纵宁宁 +2 位作者白基成任宇江侯朋举《电加工与模具》 2009年第5期1-4,共4页; 针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法。此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1... 展开更多; 关键词微细阵列电极微细阵列孔摇动加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术被引量：12: 1; 作者胡洋洋朱荻李寒松曲宁松曾永彬明平美; 机构南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期670-676,共7页; 基金国家自然科学基金重点资助项目(No.50635040) 江苏省自然科学基金资助项目(BK2007530) 中国博士后科学基金特别资助项目(No.200801373); 文摘采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基底的结合力,保证去胶后电铸金属的完整性。选取优化的工艺参数:单次注射式涂胶,前烘110℃/12h,适量曝光剂量,分步后烘50℃/5min、70℃/10min、90℃/30min,反接电极电解10V/15min等,获得了高900μm、线宽300μm的金属微细阵列电极结构。试验表明,UV-LIGA技术是一种高效、经济的制造超高微细阵列电极的有效手段。; 关键词 UV-LIGA SU-8胶电解去胶微细阵列电极; Keywords UV-LIGA SU-8 resists electrochemical machining resist retnoval micro electrode array; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工被引量：2: 2; 作者周晓光马莹韩福柱祝明德; 机构清华大学精密仪器与机械学系北京邮电大学自动化学院; 出处《电加工与模具》 2008年第2期1-4,共4页; 基金北京市自然科学基金资助项目(3062011) 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716204); 文摘介绍了微细阵列电极的应用情况及其电火花线切割加工的特点。以硬质合金为材料,采用电火花线切割加工方法进行了微细阵列电极的加工实验,总结出了不同加工因素对加工结果的影响规律。; 关键词微细阵列电极电火花线切割加工加工能量; Keywords micro-electrode array WEDM machining energy; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列被引量：1: 3; 作者杨昕张斌珍南雪莉崔建利王万军; 机构中北大学电子测试技术重点实验室; 出处《科学技术与工程》北大核心 2017年第2期230-233,共4页; 基金国家自然科学基金(51475438 61401405)资助; 文摘针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅射Cu种子层,优化电铸工艺参数:电铸前采用真空润湿的方法排出孔缝内气泡,电铸液中加速剂与抑制剂浓度分别为4×10^(-6)mol/L和24×10^(-6)mol/L,电流密度为1 A/dm^2,在孔缝内电铸铜,并在胶模表面电铸出铜基底,最后获得了高180μm,线宽200μm的两种柱状金属微电极阵列。试验结果表明,盲孔填充技术是一种低成本、安全的制作金属微电极阵列的方法。; 关键词 UV-LIGA KMPR 微细阵列电极盲孔填充技术; Keywords UV-LIGA KMPR micro-electrode array blind via filling technology; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术被引量：1: 4; 作者杨昕张斌珍吕晓静王万军; 机构仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第12期99-101,97,共4页; 基金国家自然基金项目(51475438 61401405) +1 种基金山西省自然科学基金项目(2014011021-4); 文摘为了解决MEMS工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于Over-plating成型的过电铸法金属微电极阵列制备技术。在常温下,选择190 g/m L的CuSO_4·5H_2O、60 g/L的H_2SO_4、70 mg/L的氯离子以及适量的添加剂配置成的电铸液,并采用酸性镀铜工艺,设置电流密度1.5 A/dm^2,过电铸20 h,经抛光处理后,分别得到了高度200μm、900μm,线宽200μm,中心距300μm的柱金属微电极阵列。所制备的金属微电极阵列,在相邻区域金属沉积过程中相互影响形成了较深的孔缝,这些微孔极大地增加了三维微电极的表面积。可见,过电铸工艺是一种便捷、快速、低成本的微电极制备工艺。; 关键词 UV-LIGAKMPR 微细阵列电极电铸液过电铸; Keywords UV-LIGAKMPR micro-electrode array electroforming solution over-plating; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究被引量：2: 5; 作者郭永丰纵宁宁白基成任宇江侯朋举; 机构哈尔滨工业大学机电工程学院; 出处《电加工与模具》 2009年第5期1-4,共4页; 基金国家高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z345) 黑龙江省重大攻关项目(GA06A501); 文摘针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法。此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1 mm以上),然后用加工的薄平板(中间电极)作电极,电火花摇动加工微细阵列轴(电极),最后用此微细阵列电极加工阵列孔。进行了电火花摇动加工微细阵列电极试验,得到了单电极直径为50μm、长径比为16的3×3阵列电极,并用此电极在70μm厚的不锈钢板上加工出单孔直径为70μm的3×3微细阵列孔。试验结果表明,电火花摇动加工方法可实现微细阵列轴和孔的加工。; 关键词微细阵列电极微细阵列孔摇动加工; Keywords array micro electrode array micro hole orbital machining; 分类号 TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术	胡洋洋朱荻李寒松曲宁松曾永彬明平美	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	12	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工	周晓光马莹韩福柱祝明德	《电加工与模具》	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列	杨昕张斌珍南雪莉崔建利王万军	《科学技术与工程》北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术	杨昕张斌珍吕晓静王万军	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2017	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究	郭永丰纵宁宁白基成任宇江侯朋举	《电加工与模具》	2009	2	在线阅读下载PDF 职称材料