电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究 被引量：2

1

作者 郭永丰 纵宁宁 +2 位作者 白基成 任宇江 侯朋举 《电加工与模具》 2009年第5期1-4,共4页

针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法。此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1... 针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法。此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1 mm以上),然后用加工的薄平板(中间电极)作电极,电火花摇动加工微细阵列轴(电极),最后用此微细阵列电极加工阵列孔。进行了电火花摇动加工微细阵列电极试验,得到了单电极直径为50μm、长径比为16的3×3阵列电极,并用此电极在70μm厚的不锈钢板上加工出单孔直径为70μm的3×3微细阵列孔。试验结果表明,电火花摇动加工方法可实现微细阵列轴和孔的加工。 展开更多

关键词 微细阵列电极 微细阵列孔 摇动加工

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UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术 被引量：12

2

作者 胡洋洋 朱荻 +3 位作者 李寒松 曲宁松 曾永彬 明平美 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期670-676,共7页

采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基... 采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基底的结合力,保证去胶后电铸金属的完整性。选取优化的工艺参数:单次注射式涂胶,前烘110℃/12h,适量曝光剂量,分步后烘50℃/5min、70℃/10min、90℃/30min,反接电极电解10V/15min等,获得了高900μm、线宽300μm的金属微细阵列电极结构。试验表明,UV-LIGA技术是一种高效、经济的制造超高微细阵列电极的有效手段。 展开更多

关键词 UV-LIGA SU-8胶 电解 去胶 微细阵列电极

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采用过电铸工艺制造金属微细阵列网板 被引量：7

3

作者 胡洋洋 朱荻 李寒松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1793-1800,共8页

针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60m... 针对制作尺度<10μm的超小微细阵列网板非常困难的问题,提出了采用过电铸工艺制造超小尺寸微细阵列网板的方法。建立了过电铸工艺过程的电场模型,利用有限元分析技术对过电铸工艺过程进行模拟仿真。选取优化的工艺参数(烘胶120℃/60min,曝光3000mJ/cm2,显影2min等)利用光刻制作了高度为50μm、直径为50μm的AZEXP125nXT-10A光刻胶群柱结构,以此胶膜结构作为模具进行了过电铸工艺实验,并与仿真结果进行对比,结果证明了有限元仿真的正确性。最后,通过过电铸缩孔2h获得了厚度达70μm,孔径为4μm的微细阵列网板结构。实验表明,过电铸工艺是一种低廉、安全、可批量生产的制作超小阵列网板的方法。 展开更多

关键词 光刻 AZ胶 金属微细阵列网板 过电铸

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微细阵列型孔的冲压与电火花复合加工技术研究 被引量：2

4

作者 李勇 崔晶 +3 位作者 李向阳 鲁培 佟浩 陈旭鹏 《电加工与模具》 2005年第6期1-3,8,共4页

提出一种微细冲压加工和微细电火花加工交叉结合的微细阵列型孔复合加工方法。尺寸较大的过渡型腔采用微细冲压加工,以提高加工效率和保证加工尺寸的一致性;型孔喷口的最小特征尺寸采用微细电火花逐层扫描加工得到。设计制作了专用的微... 提出一种微细冲压加工和微细电火花加工交叉结合的微细阵列型孔复合加工方法。尺寸较大的过渡型腔采用微细冲压加工,以提高加工效率和保证加工尺寸的一致性;型孔喷口的最小特征尺寸采用微细电火花逐层扫描加工得到。设计制作了专用的微小型腔冲压实验装置,从机构设计上保证加工工艺对微小型腔冲压深度的精确控制。进行了非圆截面阵列微细型孔的加工实验,验证了所提出的工艺方法的可行性和合理性。 展开更多

关键词 微细阵列型孔 微细冲压加工 微细电火花加工

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基于电火花线切割加工的微细阵列电极加工 被引量：2

5

作者 周晓光 马莹 +1 位作者 韩福柱 祝明德 《电加工与模具》 2008年第2期1-4,共4页

介绍了微细阵列电极的应用情况及其电火花线切割加工的特点。以硬质合金为材料,采用电火花线切割加工方法进行了微细阵列电极的加工实验,总结出了不同加工因素对加工结果的影响规律。

关键词 微细阵列电极 电火花线切割加工 加工能量

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微细阵列孔的电解加工精度研究

6

作者 曾伟梁 王振龙 +1 位作者 刘颖 宫彦萍 《电加工与模具》 2009年第2期29-31,36,共4页

从电解加工的特点出发,对影响微细阵列孔加工精度的因素进行了分析。电解加工过程中,工具阴极和工件阳极之间存在加工间隙是导致误差的根源。微细阵列孔的电解加工误差可分为复制误差和重复误差,电场强度的分布状态和杂散腐蚀是造成复... 从电解加工的特点出发,对影响微细阵列孔加工精度的因素进行了分析。电解加工过程中,工具阴极和工件阳极之间存在加工间隙是导致误差的根源。微细阵列孔的电解加工误差可分为复制误差和重复误差,电场强度的分布状态和杂散腐蚀是造成复制误差的最重要因素,而气泡在加工区域的堆积导致了重复误差的产生。通过理论和实验分析,为实验加工提供了提高加工精度的措施和办法。 展开更多

关键词 微细阵列孔 电解加工 复制精度 重复精度

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微细孔、阵列孔及微细三维型腔的超声加工研究 被引量：6

7

作者 安成明 殷国强 +1 位作者 李剑中 余祖元 《电加工与模具》 2011年第1期23-27,共5页

利用自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置,对微孔超声加工中效率随孔深的变化、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行了实验研究,并采用恒加工力控制方式,在单晶硅100晶面实际完成了直径18μm圆孔和28μm×28μm方孔的超声加工... 利用自行开发的微细电火花与微细超声复合加工装置,对微孔超声加工中效率随孔深的变化、磨料颗粒尺寸对精度的影响等进行了实验研究,并采用恒加工力控制方式,在单晶硅100晶面实际完成了直径18μm圆孔和28μm×28μm方孔的超声加工、微细十字孔与阵列孔的超声反拷加工以及微细三维型腔的工具均匀损耗补偿分层铣削超声加工。 展开更多

关键词 微细超声加工 微细阵列孔 微细三维型腔

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微细电火花加工机床开放式数控系统开发及应用 被引量：3

8

作者 李强 朱国征 白基成 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1234-1239,共6页

为了实现我国具有微细阵列孔结构的工业级精密微喷关键部件的自主开发,围绕微细电火花加工的关键技术,在研制具有多种功能的微细电火花机床基础上,构建了基于PMAC运动控制卡和工业控制计算机的开放式数控系统。分析了工作台控制系统、... 为了实现我国具有微细阵列孔结构的工业级精密微喷关键部件的自主开发,围绕微细电火花加工的关键技术,在研制具有多种功能的微细电火花机床基础上,构建了基于PMAC运动控制卡和工业控制计算机的开放式数控系统。分析了工作台控制系统、线电极磨削控制系统、电火花脉冲电源控制系统、工作液控制系统、软件系统设计等部分的相关组成及控制方案。该系统可实现较高的机床运动精度,满足了微细电火花加工中对脉冲电源信号控制和反馈的具体加工需求,保证了微细电极的在线制作以及微细阵列孔的加工,对我国微细电火花加工技术的发展具有重要意义。 展开更多

关键词 微细电火花 微细阵列孔 PMAC卡 开放式数控系统

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采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列 被引量：1

9

作者 杨昕 张斌珍 +2 位作者 南雪莉 崔建利 王万军 《科学技术与工程》 北大核心 2017年第2期230-233,共4页

针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅... 针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅射Cu种子层,优化电铸工艺参数:电铸前采用真空润湿的方法排出孔缝内气泡,电铸液中加速剂与抑制剂浓度分别为4×10^(-6)mol/L和24×10^(-6)mol/L,电流密度为1 A/dm^2,在孔缝内电铸铜,并在胶模表面电铸出铜基底,最后获得了高180μm,线宽200μm的两种柱状金属微电极阵列。试验结果表明,盲孔填充技术是一种低成本、安全的制作金属微电极阵列的方法。 展开更多

关键词 UV-LIGA KMPR 微细阵列电极 盲孔填充技术

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基于Over-plating成型的金属微电极阵列制备技术 被引量：1

10

作者 杨昕 张斌珍 +1 位作者 吕晓静 王万军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第12期99-101,97,共4页

为了解决MEMS工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于Over-plating成型的过电铸法金属微电极阵列制备技术。在常温下,选择190 g/m L的CuSO_4·5H_2O、60 g/L的H_2SO_4、70 mg/L的氯离子以及适量的添... 为了解决MEMS工艺制备金属微电极阵列时,电极与基底结合力小,易脱落等问题,提出了基于Over-plating成型的过电铸法金属微电极阵列制备技术。在常温下,选择190 g/m L的CuSO_4·5H_2O、60 g/L的H_2SO_4、70 mg/L的氯离子以及适量的添加剂配置成的电铸液,并采用酸性镀铜工艺,设置电流密度1.5 A/dm^2,过电铸20 h,经抛光处理后,分别得到了高度200μm、900μm,线宽200μm,中心距300μm的柱金属微电极阵列。所制备的金属微电极阵列,在相邻区域金属沉积过程中相互影响形成了较深的孔缝,这些微孔极大地增加了三维微电极的表面积。可见,过电铸工艺是一种便捷、快速、低成本的微电极制备工艺。 展开更多

关键词 UV-LIGAKMPR 微细阵列电极 电铸液 过电铸

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微喷部件阵列孔电火花加工工艺试验研究 被引量：2

11

作者 黄永逸 白基成 +1 位作者 朱国征 李浩洲 《电加工与模具》 2012年第4期1-4,12,共5页

比较各种微细阵列孔的电火花加工方法,分析了单电极加工微细阵列孔方法的优点。以去离子水作为工作液,在已研制成功的微喷部件阵列孔电火花加工机床上进行单电极加工微细阵列孔的工艺试验,研究电源参数对微细阵列孔的孔径一致性、加工... 比较各种微细阵列孔的电火花加工方法,分析了单电极加工微细阵列孔方法的优点。以去离子水作为工作液,在已研制成功的微喷部件阵列孔电火花加工机床上进行单电极加工微细阵列孔的工艺试验,研究电源参数对微细阵列孔的孔径一致性、加工效率及电极损耗的影响规律。优化微细阵列孔加工的电参数,实现稳定的一次性加工256个直径小于50μm、偏差小于2μm的微细阵列孔。 展开更多

关键词 微细电火花加工 微细阵列孔 去离子水 电源参数

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激光诱导精密沉积铜箔实验 被引量：5

12

作者 黄志刚 李洪辉 +1 位作者 印四华 郭钟宁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第22期2990-2994,共5页

通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了... 通过改变激光脉冲能量和激光聚焦位置,进行了激光诱导向前转移铜箔的实验,并通过超景深三维显微镜和扫描电子显微镜对基片和约束层上沉积的铜箔进行了观察,探讨了激光脉冲能量和激光聚焦位置对铜沉积效果所产生的影响,在此基础上研究了激光诱导向前转移的机理。研究结果表明,在石英玻璃基片上沉积的铜箔直径最小可达10μm,远小于激光光斑直径;在约束层上也沉积有铜箔,即同时出现了激光诱导向后转移的现象;光脉冲能量增大,石英玻璃上沉积的铜箔逐渐分散,尺寸逐渐增大,而且呈环形分布;通过调节靶材离焦点距离,可以使环形消失,并使沉积尺寸降到激光光斑尺寸以下。最后成功实现了微细阵列的激光诱导沉积。 展开更多

关键词 激光诱导向前转移 脉冲能量 精密沉积 微细阵列

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