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题名激基激光对铜膜印刷板表面微细蚀刻的初期化过程
被引量：1
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作者
吴鼎祥
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机构
上海大学物理系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期762-764,共3页
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文摘
用 Kr F激基激光 ,在稀释的 Cl2
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关键词
激基激光
微细蚀刻
初期化过程
表面处理
铜膜印刷板
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Keywords
Excimer laser
Micro etching
Preliminary process
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分类号
TN410.57
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名模具钢微细蚀刻速率的研究
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作者
宋卿
张永俊
于兆勤
王冠
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机构
广东工业大学机电学院
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期40-43,共4页
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基金
国家自然科学基金重点资助项目(U1134003)
国家青年科学基金资助项目(51205066)
广东省自然科学基金资助项目(s2012010009022)~~
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文摘
目的研究模具钢微细蚀刻中，蚀刻速率的变化规律。方法采用蚀刻液喷淋加工方式，对掩膜的模具钢表面进行蚀刻．考察掩膜间隙、蚀刻液啧淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响。结果蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加，当掩膜尺寸大于150μm时，蚀刻速率增长较快；较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除，使得蚀刻反应充分，蚀刻速率较高；温度在一定范围内升高，蚀刻液活性增大，蚀刻效率提高，蚀刻速率增大。结论最佳工艺条件为：掩膜间隙尺寸150～200μm，蚀刻液喷淋压力1．0～1．4MPa．蚀刻液温度35～40℃。在此加工条件下．模具钢的蚀刻速率高，加工效率高．同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度。
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关键词
微细蚀刻
模具钢
蚀刻速率
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Keywords
micro-etching
die steel
etching rate
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分类号
TG176
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化
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作者
黄红光
郭钟宁
王冠
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机构
广东工业大学
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期44-47,共4页
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基金
国家自然科学基金重点资助项目(U1134003)
国家青年科学基金资助项目(51205066)~~
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文摘
目的研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律。方法设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证。结果侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小。侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50μm,蚀刻时间为2min。结论加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度。验证性试验证明最优工艺方案可行。
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关键词
模具钢
微细蚀刻
侧蚀量
正交实验
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Keywords
die steel
Micro-etching
undercut
orthogonal experiment
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分类号
TG176
[金属学及工艺—金属表面处理]
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